扫描电子显微镜钨灯丝技术指标

扫描电子显微镜（钨灯丝）配置及技术指标

一、主要用途

1、材料显微结构的二次电子像观察

2、材料显微结构的背散射电子像观察

3、材料微区元素的定性和半定量分析

二、扫描电镜组成

1、主机+电制冷X射线能谱仪

2、计算机控制系统

3、真空系统

4、低真空系统

5、电子光学系统

6、辅助设备（变压器、稳压器、冷却装置等）

7、备品备件（包括灯丝、聚光镜光栏、物镜光栏、保险丝、密封圈、专用工具、

碳、银两种导电胶、导电胶带、真空脂、二次电子探测器等）

8、离子溅射仪

三、技术指标

1、二次电子（高真空）分辨率：3.0nm （30KV）

2、背散射电子（高真空）分辨率：4.0nm （ 30KV）

3、放大倍数：最低倍率≤6倍，最高倍率≥300,000倍

4、真空系统

4.1 具有高低真空功能；

4.2 真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵

4.4 真空系统阀门：电磁阀或气动阀（配有空压机）

5 电子光学系统

5.1 电子枪：全自动电子枪，具有自动偏压功能

5.2 聚光镜光阑完全安装在长内衬管内，用户可自行拆卸、更换聚光镜光阑

5.3 灯丝：预对中灯丝，灯丝饱和自动调节

6 样品室和样品台

6.1 最大样品尺寸：200mmx75mm

6.2 5轴自动马达驱动样品台

6.3非接触报警装置：通过输入的样品尺寸数据，自动避免样品台的危险操作6.4 具有样品室内部整体观察功能（CCD）

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7 探测器及成像系统

7.1 二次电子探测器：二次电子像

7.2 背散射电子探测器：成分像、形貌像或三维像

7.3 成像模式：同时得到二次电子像，背散射电子像，两种图像混合像

7.4 图像捕捉模式：快慢扫描捕捉、积分捕捉

7.5 电镜操作控制系统：鼠标、键盘及具有手动操作功能部件

7.6软件界面：中英文操作界面（无中文操作界面说明即可），列出标配软件和

外购软件

8 X射线能谱仪的技术指标（扫描电镜附件）

8.1 电制冷探测器

8.2 分别率：优于129eV

8.3探测器活区面积：大于或等于20

8.4元素探测范围：Be（4）—U（92）

8.5软件界面：中英文界面（无中文操作界面说明即可）

8.6软件功能：具备点、线、面分析功能，具有标准通用软件包，列出标配软件

和外购软件

8.7 配有专用电脑和显示器

四、附件、备件、特殊工具和消耗品

提供五年以上的备品备件（包括各种保险丝、密封圈、各种光栏、专用工具、样品托、金属抛光膏、银导电胶、导电胶带及预对中灯丝80支）

1 预对中灯丝：80支

2 聚光镜光阑：5套

3 物镜光阑：5套

4 银导电胶：2瓶

5 导电胶带：2卷

五、安装服务

5.1 安装、调试：厂家免费负责仪器的安装、调试，验收合格。

5.2 验收合格后，厂家提供两年的免费服务

5.3 厂家在中国设有专门的应用中心以及固定的维修站，并配有专业维修工程

师，保证提供及时优质的售后服务，并提供操作人员的免费培训。

六、说明

1、仪器上所有零部件均为进口产品，否则，请说明；

2、高低真空扫描电镜和X射线能谱仪一起报价，低真空系统和离子溅射仪单独

报价；

3、扫描电镜操作和X射线能谱操作都有独立的电脑。

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