扩散炉方阻异常处理方法
扩散常见问题及解决方法
受控状态编制审核批准生效日期版本号修订号文件编号发放号2010-08-11B1JN/JL30301-4-2010扩散常见问题及解决办法1.做气密性测试时，气密性总是达不到要求？石英门没有装好,或者尾气回收瓶漏气，检查尾气瓶是否接触紧密，校正石英门位置。
2.扩散万级间温度很高？空调温度设定值高、冷却水没有开、热排没有开、石英管隔热套安装不严。
3.POCL3恒温箱突然断电？检查线路、更换新的恒温箱。
4.R2D上下料时出现碎片问题？根据报警信息查找出问题的部位，然后调节（手柄）至合适的位置并保存、home复位、查看是否有碎片、关闭软件并重启、关闭电源并重新启动操作软件。
5.扩散过程中出现撞舟问题？调节lift放在碳化硅桨上的位置、调节传动的路线、调节石英管在扩散炉炉体中的位置。
6.扩散后方块电阻高？增加通源时间、增加POCL3的量、增加温度、实际温度达不到需要校温。
7.扩散后硅片表面发蓝或有烧焦？发蓝时因为硅片表面有水：增加制绒的风刀温度、降低制绒滚轮的速度、降低扩散千级间的空气湿度、减少制绒后硅片在扩散千级间的存放时间。
8.进出舟时出现报警而使工艺跳步？根据报警信息看什么原因造成的，根据实际情况选择继续运行工艺或者用取舟程序把石英舟从管里取出来。
9.如果R2D在运行过程中出现连接超时（LP out truck timeout）怎么办？检查传感器是否正常工作，重新调整一下位置。
10.R2D运行时，位置走不到位或者软件运行十分缓慢？在R2D不工作时，把软件进行重启，然后复位就行了。
11.工艺运行过程中，如果氮气补偿过小？调节尾瓶处的开关，使之达到工艺要求。
12.桨中途停止怎么办？查看报警信息，如果是在出料时不动，桨停留在20位置上，查看舟的位置是否正确，然后点Start，重新开始。
如在其他位置不动，查看传动装置是否松动，电机是否工作。
13.门关不严怎么办？检查门是否被挡板档住，检查电机是否完好，sensor是否松动，重新做校准。
扩散工艺及控制要点
扩散工艺及控制要点1.由于硅太阳能电池实际生产中均采用P型硅片，因此需要形成N型层才能得到PN结，这通常是通过在高温条件下利用磷源扩散来实现的。
这种扩散工艺包括两个过程：首先是硅片表面含磷薄膜层的沉积，然后是在含磷薄膜中的磷在高温条件下往P型硅里的扩散。
2.在高温扩散炉里，汽相的POCL3（phosphorus oxychloride）或PB r3(phosphorus tribromide)首先在表面形成P2O5（phosphorus pentoxide）;然后，其中的磷在高温作用下往硅片里扩散。
3.扩散过程结束后，通常利用“四探针法”对其方块电阻进行测量以确定扩散到硅片里的磷的总量，对于丝网印刷太阳电池来说，方块电阻一般控制在40-50欧姆。
4.发射结扩散通常被认为是太阳电池制作的关键的工艺步骤。
扩散太浓，会导致短路电流降低（特别是短波长光谱效应很差，当扩散过深时，该效应还会加剧）；扩散不足，会导致横向传输电阻过大，同样还会引起金属化时硅材料与丝网印刷电结之间的欧姆接触效果。
5.导致少数载流子寿命低的原因还包括扩散源的纯度、扩散炉的清洁程度、进炉之前硅片的清洁程度甚至是在热扩散过程中硅片的应力等。
6.扩散结的质量同样依赖于扩散工艺参数，如扩散的最高温度、处于最高温度的时间、升降温的快慢（直接影响硅片上的温度梯度所导致的应力和缺陷）。
当然，大量的研究表明，对于具有600mv左右开路电压的丝网印刷太阳电池，这种应力不会造成负面影响，实际上有利于多晶情况时的吸杂过程。
7.发射结扩散的质量对太阳能电池电学性能的影响反映在串联电阻从而在填充因子上：（1）光生载流子在扩散形成的N-型发射区是多数载流子，在这些电子被金属电极收集之前需要经过横向传输，传输过程中的损失依赖于N-型发射区的横向电阻；（2）正面丝网印刷金属电极与N-型发射区的电接触，为了避免形成SCHOTTKY势垒或其它接触电阻效应而得到良好的欧姆接触，要求N-型发射区的搀杂浓度要高。
扩散炉常见故障整合
检查Paddle TC接头是否接触不良
检查paddle TC是否损坏 检查CPU模块错误指示灯是亮起 在手动情况下确认各个电机和Sense是否正常 检查各个电机到DMC的电缆是否损坏
7
在制程中卡桨
检查电机是否损坏 检查传动部分是否工作正常(丝杆和轴承) 检查电机到DMC的电缆是否接触不良或断裂
qx01主断路器断开1检查线路接点有无短路重新合上r12继电器不工作2更换同型号的继电器更换同型号的5a熔断器芯4上电按扭开关接触不良检查线路重新接线温控器上显示0000热电偶开路换新热电偶或重新热电偶及导线补偿导线与温控器接触不良系统显示超温报警并自动切断加热电源更换同型号的可控硅触发板炉体不升温不能自动进出上下舟1面板上的急停按扭处于按下位置松开急停按扭2极限限位开关没复位或损坏检查平移行程开关及上下光电开关3驱动器与计算机通讯不上检查或更换同型号电机炉门不能自动开关1进气压力不够压力报警检查线路或更换同型号的继电器5电磁阀或汽缸故障检查气路或更换气管无流量显示检查线路或更换同型号流量计tempress扩散炉tube尾气压力偏高检查尾气管是否被偏磷酸堵塞检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭tube尾气压力偏低检查炉管是否存在缺口或裂口检查炉门是否关闭不良检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大各气路流量异常检查气路阀的气路气管或接头是否漏气检查气路阀气是否损坏检查气路流量计是否工作正常部分制程中paddletc温度偏高或偏低检查随温度升高加热区的输入功率是否正常如果有波动可让工艺做profiling检查spiketc是否与炉管接触良好全制程中paddletc温度较高或显示1499度检查paddletc接头是否接触不良检查paddletc是否损坏dmc通迅错误检查cpu模块错误指示灯是亮起在手动情况下确认各个电机和sense是否正常检查各个电机到dmc的电缆是否损坏检查电机是否损坏检查传动部分是否工作正常丝杆和轴承检查电机到dmc的电缆是否接触不良或断裂炉管无法升温检查温度控制器是否警报r2d机械手在自动或home中不移动检查控制y轴的保险丝是否烧断10r2d机械手在自动无法从桨上取舟检查工艺制程是否完成在r2d屏幕中检查输入输出通迅是否正常检查r2d机械手的触点开关是否工作正常检查shuttle上的触点开关是否工作正常11机械手在自动中无法从shuttle上取舟在r2d机械手屏幕中检查炉管的状态必要时清除检查r2d机械手的触点开关是否工作正常在r2d屏幕中检查输入输出通迅是否正常furnacespikefurnacespikefanfan如果压力低于当前设定值首先重新检测所有接口各路阀门以及炉门情
电阻炉的故障处理方法简述及工作原理
电阻炉的故障处理方法简述及工作原理电阻炉是利用电流加热炉内电热元件或介质，对工件或物料进行加热的工业炉。
通常在机械工业中用于金属锻压前加热、热处理加热、钎焊、粉末冶金烧结、玻璃陶瓷焙烧和退火、低熔点金属熔化、砂型和油漆膜层的干燥等。
工作原理：电阻炉是以电流通过导体所产生的焦耳热为热源的电炉，通过电热元件将电能转化为热能，在炉内对金属进行加热。
电阻炉比火焰热效率更高，热工制度简单掌控，劳动条件好，炉体寿命长，适用于要求较严的工件加热，但耗电费用高。
电阻炉分为辐射式电阻炉和对流式电阻炉。
辐射式电阻炉以辐射传热为主，对流传热作用较小；对流式电阻炉以对流传热为主，靠热空气进行加热，炉温一般低于650℃。
故障检修：一、不升温1、电源电压正常，掌控器工作正常，电流表无显示，常见故障为电炉丝断路，可用万用表检查并更换。
2、电源电压正常，掌控器不能工作，可检修掌控器内部的开关、熔断器及炉门的行程开关。
假如电炉的炉门没有关好掌控器也不能工作，掌控器故障的检修方法可参考说明书。
3、供电电源故障，不接电炉时工作正常，接电炉时不能正常工作，掌控器内发出哒哒声音，起因于供电线路的电压降太大或插座及掌控开关接触不好，可调整或更换。
二、升温慢1、电源电压正常，掌控器工作正常，常见故障为部分电炉丝断路，适时更换。
2、电源电压正常，但是电炉的工作电压低，其起因于供电线路的电压降太大或插座及掌控开关接触不好，可调整更换。
3、电源电压比正常电压低，电炉工作时加热功率不足。
三相电源缺相，可调整检修。
三、温度异常1、热电偶没有插入到炉膛内，造成炉温失控。
2、热电偶的分度号与温控仪表的分度号不一致，造成炉温与温控仪表显示的温度不同。
电阻炉的工作原理和操作步骤电阻炉是以电流通过导体所产生的焦耳热为热源的电炉。
电阻炉以电为热源，通过电热元件将电能转化为热能，在炉内对金属进行加热。
电阻炉和火焰比，热效率高，可达50－80℅，热工制度简单掌控，劳动条件好，炉体寿命长，适用于要求较严的工件的加热，但耗电费用高。
扩散电阻的控制
具体分析各个因素对片内电阻均匀性的影响
１．片内均匀性
R1 R2
R3
R4
假设理想的电阻为左图，电阻的 大小是以硅片的中心为圆心的同心圆， R4>R3>R2>R1‥‥‥, R4 、R3 、 R2 、R1的梯度▽Ｒ就越小，片内均匀 性越好。
先说结论：
1. 2. 3. 4. 小N2、干O2的浓度越高电阻均匀性越好。 扩散温度越低电阻均匀性越好。 排风越大，电阻均匀性越好。 一般来说，加大大N2的流量能提高电阻均匀性，但不能过大。
4.0 3.5
每片的stdev
3.0 2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 503# 507# 511# 515# 523# A vg=2.467333
Variability Cha rt for 排 风 风 速 （ m/s）
1.1 0.9
炉管
8
Std 排风风速（m/s）Dev
0.7 7 0.5
6 0.3
下图一个点每隔2min读的温度（设定为850）：
TEMP 850 849.8 849.6 849.4 849.2 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 32 34 36 38 40 42 44 46 48 50 52 54 56 58 60 TEMP
扩散炉常见故障及维护讲解
48所扩散炉
1 按下进舟按钮时,将不移动 1 警报灯这,显示ER.01 2 警报灯这,显示ER.03
3 警报灯这,显示ER.19（温度过升）
4 警报灯这,显示ER.20（空烧异常）
检查将是否后退太多导致限位触点压下 48所恒温槽 检查温度传感器是否断线,异常 检查恒温槽电压是否异常 检查加热丝是否断线 检查循环泵是否卡死 检查冷却器是否损坏 检查水位是否不够（适当水位是从顶部往下约3MM） 检查浮动开关是否卡死或损坏
Baratron
氮气的节流阀
保压设定
当炉管清洗并且安装完成后,重新对DMC初使化,在初使化完成后,需要对炉管的密封性进 行检测. 选择TEST程序,设置当前氮气流量为6SLM, 将排气压力设置为5Pa, 在炉门完全关闭后, 运行该程序.
这时,炉内压力会逐渐 升高，并且维持在5Pa． 如果压力无法保持稳定 或低于当前设定值，表 示炉管密封性不好，需 要重新检测所有接口， 各路阀门以及炉门情况．
也可以将当前氮气流量 为6SLM, 将排气压力设 置为5Pa,运行程序,压 力应该不低于80Ｐa
炉门的调整
如果压力低于当前设定值，首先重新检测所有接口，各路阀门以及炉门情况．在确认无 误后，这时就需要我们调整 SoftContact Loader Door.
调整 SoftContact Loader Door的目的是使用手柄将门完全打开、关闭的位置确认下来. 并且重新调整Sensor的位置,确保门可以完全关闭,没有间隙.
炉门拉紧信号：
０１１００
炉门拉紧和关闭信号：０１１１０
Loader位置的校正是依靠炉门打开和炉门关闭信号，在重新调整炉门时，我们要确保当
炉门关闭时（关闭信号感应到位），电机有足够的拉力将炉门拉紧．
扩散温度引起的一些问题
OFF转成ON, 就可以自整 定
外热电偶
自整定外偶时 需打到本地模 式
长按位移键
OFF转成ON, 就可以自整 定
跟内偶一样分两次整定
谢谢﹗
PID口诀
• 参数整定找最佳，从小到大顺序查，先是 比例后积分，最后再把微分加，曲线振荡 很频繁，比例度盘要放大，曲线漂浮绕大 湾，比例度盘往小扳，曲线偏离回复慢， 积分时间往下降，曲线波动周期长，积分 时间再加长，曲线振荡频率快，先把微分 降下来，动差大来波动慢，微分时间应加 长，理想曲线两个波，前高后低4比1。
通讯参数设置方法
• 边按SET键,边按移位键. • ADD1通讯1的设备地址 ，1～5 • BPS1通讯1的通信速度、（19.2） • BIF1通讯1的数据位构成 .(8o1) 8数 据位，无奇偶，1个停止位。 • 参数设好后需断电一次。
手动⁄自动
本地⁄远程
启动⁄停止
设置键
位移键
通讯设置 按set键+位移键
• 炉口方阻偏低: : • 1：检查温控表P值是否太小。 • 2：检查全速升温电流是否太大。
炉尾方阻偏高或偏低
• 炉尾方阻偏高 • 1：先检查是不是炉管尾部的 保温不好，如果不好需用保温棉包好。 • 2：查看历史记录里温度有没 有达到设定值。需要检查温控表的P值是不 是太小、全速升温电流是不是太小。可以 适当加大P值，加大电流。
上下键可以打开和关闭
在全速升温时测电流。控制在±85A，
电流不能超过100A，这样会对 加热点和卢丝都有影响。
用小螺丝刀顺时针调加大电流 逆时针减小电流
加大电流
如果调的时候不起作用，可以换 块触发板试下。
减小电流
自整定时不能5个 点同时整定，先整 定1.3.5点后整定 2.4点。分两次整 定
高炉炉况失常及处理
第二节高炉炉况失常及处理三、失常炉况的标志及处理1. 失常炉况的概念由于某种原因造成的炉况波动，调节得不及时、不准确和不到位，造成炉况失常，甚至导致事故产生。
采用一般常规调节方法，很难使炉况恢复，必须采用一些特殊手段，才能逐渐恢复正常生产。
2.炉况失常原因◆基本操作制度不相适应。
◆原燃料的物理化学性质发生大的波动。
◆分析与判断的失误，导致调整方向的错误。
◆意外事故。
包括设备事故与有关环节的误操作两个方面。
3.失常炉况的种类低料线、悬料、炉墙结厚、炉缸堆积、炉冷、炉缸冻结、高炉结瘤等。
4.低料线高炉用料不能及时加入到炉内，致使高炉实际料线比正常料线低0．5m或更低时，即称低料线。
◆低料线的原因：①上料设备及炉顶装料设备发生故障。
②原燃料无法正常供应。
③崩料、坐料后的深料线。
◆低料线的危害：①破坏炉料的分布，恶化了炉料的透气性，导致炉况不顺。
②炉料分布被破坏，引起煤气流分布失常，煤气的热能和化学能利用变差，导致炉凉。
③低料线过深，矿石得不到正常预热，势必降低焦炭负荷，使焦比升高。
④炉缸热量受到影响，极易发生炉冷，风口灌渣等现象，严重时会造成炉缸冻结。
⑤炉顶温度升高，超过正常规定，烧坏炉顶设备。
⑥损坏高炉炉衬，剧烈的气流波动会引起炉墙结厚，甚至结瘤现象发生。
⑦低料线时，必然采取赶料线措施，使供料系统负担加重，操作紧张。
◆低料线的处理：①由于上料设备系统故障不能拉料，引起顶温高，开炉顶喷水或炉顶蒸汽控制顶温，必要时减风。
②不能上料时间较长，要果断停风。
造成的深料线(大于4 m)，可在炉喉通蒸汽情况下在送风前加料到4m以上。
③由于冶炼原因造成低料线时，要酌情减风，防止炉凉和炉况不顺。
④低料线1 h以内应减轻综合负荷5％～l0％。
若低料线l h以上和料线超过3 m在减风同时，应补加净焦或减轻焦炭负荷，以补偿低料线所造成的热量损失。
⑤当装矿石系统或装焦炭系统发生故障时，为减少低料线，在处理故障的同时，可灵活地先上焦炭或矿石，但不宜加入过多。
四十八所扩散炉教程
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2.方块电阻的异常.
方块电阻的异常在扩散间异常中是占很大比例,方块电阻的异常的种类、可
能的原因及解决措施如下: (1)整舟方块电阻高 可能的原因：1.大氮保护开着。2.四探针测试仪没有调整好（如电流）或 故障3. 源量过少.4.扩散温度低. 解决方法：1.关闭大氮保护.2.按要求调整或让相关人员维修3. 让员工经常 检查源瓶，按要求更换源瓶.4.调整扩散温度. (2)整舟方块电阻低 可能的原因：1.换源后没有及时降低温度.2. .四探针测试仪没有调整好.3. 工艺运行完该出舟时，因其他原因没有退舟，导致扩散后的片子长时间处 在高温的管子里.4.恒温箱缺水或各种故障导致的温度升高.5. 误用方块电阻 低的工艺号.6.二次扩散.7.扩散温度高. 解决方法：1. 换源后按要求调整温度.2. 按要求调整并定时确认.3.员工应 经常关注各个扩散管的运行状态，及时发现问题.4.添水或通知设备维修.5. 让员工按流程卡上标注的工艺运行.6. 属于员工误操作.返工.7.调整扩散温 度.
按照每立方米（或每升）空气中，大于等于0.5μm的尘粒数量来划分
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人员方面 1.扩散间员工出扩散间必须穿鞋套.其他岗位、部门员工
进入扩散间必须按要求穿洁净服、戴鞋套 2.进入扩散间时要风淋30s 3.严禁同时打开传递窗及风淋门;传递窗的两边不能同时 打开 4.员工工作服穿着整洁,头发严禁露在衣服外面 5.清洗间小车禁止推入扩散间使用 6.袖子不能高挽
可能的原因：1.进舟时间设定短.2.限位开关故障.3. 丝杠故障. 处理措施： 1.设定合适的进舟时间.2.3.通知设备人 员维修.
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6.有关三氯氧磷方面的异常：
(1).有三氯氧磷的气味.(冒烟)
可能的原因：1.炉门密封不严. 2.气路部分连接不紧密.3.抽风小. 4.当有扩散管运行 到通扩散小氮时，其他管出舟，造成抽风相对小.5.石英炉门有缺口.6.源瓶的阀门装反 并且没有检查出来.导致三氯氧磷以液态进入石英管内. 处理措施： 1.通知设备人员调整.2.安装源瓶及四通等气路时要确保连接紧密.3.通知设 施人员处理.4.合理安排进出舟时间.5.通知设备人员更换后运行清洗工艺.6.换源时按要 求认真操作.
蒸汽扩散的解决方案(3篇)
第1篇一、引言蒸汽扩散是工业生产中常见的一种现象，尤其在锅炉、热交换器、蒸汽管道等设备中。
蒸汽扩散会导致设备效率降低、能耗增加、安全隐患等问题。
为了解决蒸汽扩散问题，本文将从原因分析、影响及解决方案三个方面进行探讨。
二、蒸汽扩散的原因分析1. 设备设计不合理设备设计不合理是导致蒸汽扩散的主要原因之一。
在设计过程中，若未充分考虑设备内部结构、材料选择、热交换效率等因素，将导致蒸汽在设备内部流动不畅，从而产生扩散现象。
2. 设备运行参数不当设备运行参数包括温度、压力、流量等。
若设备运行参数与设计要求不符，如温度过高、压力过低、流量过大等，将导致蒸汽在设备内部产生扩散。
3. 设备老化、磨损设备在长期运行过程中，因磨损、腐蚀等原因导致设备性能下降，进而引起蒸汽扩散。
4. 蒸汽品质差蒸汽品质差主要表现为含水量高、杂质多。
蒸汽品质差会导致蒸汽在设备内部流动不畅，从而产生扩散现象。
三、蒸汽扩散的影响1. 效率降低蒸汽扩散导致蒸汽在设备内部流动不畅，使得设备热交换效率降低，进而影响整个系统的运行效率。
2. 能耗增加蒸汽扩散导致设备热交换效率降低，使得设备在相同负荷下消耗更多的能源，从而增加能耗。
3. 安全隐患蒸汽扩散可能导致设备内部压力不稳定，甚至引发设备爆炸等安全事故。
4. 设备寿命缩短蒸汽扩散可能导致设备内部结构受损，加速设备老化，缩短设备寿命。
四、蒸汽扩散的解决方案1. 优化设备设计（1）优化设备内部结构：合理设计设备内部结构，提高蒸汽在设备内部流动的畅通性，减少蒸汽扩散。
（2）选择合适的材料：根据设备运行环境，选择具有良好耐高温、耐腐蚀性能的材料，提高设备抗蒸汽扩散能力。
（3）提高热交换效率：优化热交换器设计，提高热交换效率，减少蒸汽在设备内部的停留时间，降低蒸汽扩散。
2. 优化设备运行参数（1）根据设备设计要求，合理调整设备运行参数，确保设备在最佳工况下运行。
（2）定期检查设备运行参数，发现异常情况及时调整，避免蒸汽扩散。
扩散常见异常处理
检查是否需要更换磷源
否
是
更换磷源
正常
运行下一管观察方阻是否正常
不 正 常
无需调节
进行DLV调试
产生的片子处理方法：该组片子单独下传，观察效率情况。
工艺控制点异常
1.扩散方阻超出上限 运行记录检查方法如下：
图1：在工艺电脑上选 择上图软件，并打开， 弹出图2对话框
图2：点击红圈中按钮 弹出图3对话框
工艺控制点 检查分析
外围动力情 况检查
• 整理检查各Tube热排、废排点检数据，并作出折线图。 • 收集整理扩散车间洁净度点检情况，分别作出大/小颗粒折线图。 • 对比效率折线图，查看效率波动时间点与外围动力波动时间点是否存在关系。
物料更换情 况
• 与外围动力沟通，统计外围气体（N2、O2）更换日期。 • 整理各Tube三氯氧磷更换时间节点。 • 对比效率折线图，查看气体及POCl3更换时间与效率波动是否存在直接关系。
LWX02工艺
名称 平均方阻 炉管均匀性 单点异常 标准 75±15Ω /□ ≤13% 75±20Ω /□
扩散外围条件标准
名称 废排 热排 标准 0.8-1.0mbar 0.8-1.2mbar
工艺控制点异常
1.扩散方阻超出上限 情况1：某一炉管整体方阻或某一温区接近上限或超出上限5Ω/♢以内。 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，若无报警按如下步骤进行。
产生的片子处理方法：将均匀性严重异常温区的片子拿出，其余片子单独下传， 观察效率情况。
效率异常
电池车间出现整体效率异常，扩散工序排查方法：
• 测试分析扩散后少子寿命，对比正常时期/正常线别的少子寿命，检查是否存在异常。 • 整理检查各Tube方阻、均匀性。 • 做出各个Tube的SPC折线图（方阻、均匀性）是否存在异常。 • 查看效率异常前后SPC是否存在异常。
低压扩散炉工艺异常研究及处理
低压扩散炉工艺异常研究及处理发表时间：2018-12-06T21:01:04.877Z 来源：《电力设备》2018年第21期作者：任杰宋标[导读] 摘要：本文就我司使用捷佳伟创DS-300C四管低压扩散炉展开相关讨论，主要介绍低压扩散炉在生产中异常的研究及解决方法。
（国家电投西安太阳能电力有限公司西宁分公司青海西宁 810000）摘要：本文就我司使用捷佳伟创DS-300C四管低压扩散炉展开相关讨论，主要介绍低压扩散炉在生产中异常的研究及解决方法。
关键词：低压扩散；受控；方阻；压力偏差；流量偏差引言太阳能电池是一种取之不尽用之不竭的可再生清洁能源，所以被认为是当下最有前景的新能源，因此出现了现在各大电池组件生产、制造以及相关主工艺设备制造商百花齐放，百家争鸣的状态，这势必促使光伏行业的飞快发展。
近几年我国光伏行业发展迅猛，各家巨头企业研发和制作的高效电池更是引领着国内光伏市场，为此国内市场对光伏相关设备需求量也相应变大，进口设备价格昂贵而且技术受制于人，目前国内多数企业已经选择信任国产设备，开始批量使用国产设备扩线，扩散工序作为太阳能电池制造的核心工序，设备的使用和选型也至关重要，目前随着电池工艺向大尺寸，薄片化，低表面浓度发展，因此在产量单管产量1000pcs，方阻90-130ohm/sq之间均匀性仍优于常压设备3%的低压扩散设备成为各大公司扩散工序首选设备。
一、方阻不受控（逐渐飙高）出现此类情况排查1.进气管、排气管污染或堵塞1.1进气管污染低压扩散设备由于尾部有真空泵存在一般进行方式为炉口进气，所以较一般常扩散设备相比进气管由尾部伸至炉口部位，进气管相对较长，容易在进气管内残留偏磷酸酸液或者清洗进气管后残留水分、酸液、金属杂质造成进气管污染以至于三氯氧磷通入炉管的过程中受到污染，或被杂质反应导致反应物变少最终导致在外围动力条件不变，工艺参数不变的情况下方阻会不断飙高此种现象不会造成压力或流量偏差报警，从软件或硬件上排查起来比较困难，在确定其他方面无异常的情况下可以拆卸进气管进行清洗，一般偏磷酸液残留建议只是使用纯水清洗，若污染严重怀疑金属杂质则需要配比一定的氢氟酸溶液进行清洗然后纯水清洗，建议2%氢氟酸溶液酸洗1h，纯水鼓泡循环清洗3h1.2尾气管污染或堵塞低压设备一般采用尾部排废，尾气管较短，除长时间未清洗处理积压偏磷酸以外容易造成尾气管堵塞的有以下几种情况 a.总排废管下端积液瓶积液体积超过1/3未清理如上图所示：积液瓶偏磷酸积液超过积液瓶体积的1/3处 1/3刻度b.未增加废气纯水气化过滤系统，或纯水气化过滤系统管路连接异常，正确气路连接如下图：c.真空泵有漏，管内内压力不稳定不管因以上任何情况导致，尾气管堵塞都会导致关内压力波动，造成三氯氧磷压力波动、流量波动，以至于方阻飙高，此类现象严重情况下会造成设备压力偏差或气体流量偏差报警，即使未报警也可以通过工艺运行记录查看压力、气体流量参数来排查，排查起来比较简单出现上述情况应立即清洗尾气管，因尾气管堵塞一般情况为偏磷酸液结晶，故建议只使用纯水进行清洗2-3h，于此同时建议添加了水过滤系统的设备每15天清洗一次尾气管以及管路接头，未添加水过滤系统的每5天清洗一次尾气管以及管路接头 2.PC（压力控制）计被三氯氧磷腐蚀损坏2.1气路中未设计PC计清洗管路、或管路设计存在问题，造成通过PC计的三氯氧磷回流至PC计，将PC计腐蚀损坏，导致源瓶压力异常进而导致气体流量异常，时而会造成小氮流量终止或近似于0，最终导致方阻飙高 2.2工艺中未设置PC计清洗步骤，气路中电磁阀无法正确开关，造成通过PC计的三氯氧磷回流至PC计，将PC计腐蚀损坏，导致源瓶压力异常进而导致气体流量异常，时而会造成小氮流量终止或近似于0，最终导致方阻飙高 2.3源瓶安装时进出气接口未安装好或未紧固好，由于进行工艺时炉管内为负压且对源瓶压力要求较高，由于进出气阀连接不好导致源瓶压力波动，源瓶与炉管内压力不平衡导致三氯氧磷回流至PC计腐蚀损坏PC计正确的带有PC计清洗系统的小氮气路示意图：出现以上任何情况，只要PC计损坏，源瓶以及管内压力就会出现很大波动，导致小氮流量出现波动，严重时会有流量偏差报警，可以通过工艺运行记录参数中压力或流量记录来排查，并可以打开气源柜查看PC计是否有啪啪的响声来确定，如果确定需更换新的PC计，建议使用MKS厂家PC计，尤其出现第一二种情况，PC计被腐蚀损坏有一个过程，非正常使用的情况下大概一周左右，而且不容易报警，工艺方面就表现出方阻不受控制，不管调试气体流量，还是调试工艺温度方阻一直在升高，因为随着PC计损坏进入炉管的气体会越来越少而且波动越来越大，因此PC计的使用是低压扩散设备上最需要注意的一环；二、压力偏差报警1.真空泵异常1.1真空泵密封圈未安装好，导致真空泵有漏，造成压力波动导致设备压力偏差报警，可以通过漏率测试，一般可以设置50mbar腔室压力，查看达到设定值的时间，或达到设定值后每分钟泄压是否超过3mbar1.2真空泵膜片内有杂质，导致真空泵有漏且抽速异常，造成压力波动导致设备压力偏差报警，最终导致工艺异常，排查方法同上 1.3真空泵与炉管或与尾气系统连接的管路内有偏磷酸积液，导致泵抽出气体无法轻易排除造成压力波动，最终导致设备压力偏差报警引起工艺异常，可以直观的从气源柜观察来排查，如果有积液将积液清理后再进行检漏测试 2气路异常2.1源瓶进出气阀门未安装或紧固好，从源瓶内开始泄压，导致炉管与源瓶之间压力不平衡造成设备压力偏差报警，甚至会因回流现象损坏压力控制器，可通过查看工艺运行记录参数或通过手动侧漏来排查，也可以在不确定的情况下佩戴好防护用品检查进出气阀以及进出气管路是否有漏气或链接紧固异常情况2.2尾气中与炉管或与泵之间链接的软管接头处未紧固好漏气，测试检查方法同上 2.3尾气与总排废管道链接的软管中有偏磷酸积液或总排废管道底部积液瓶废液超过总体积的1/3，还有尾气管堵塞会造成设备压力偏差报警引起工艺异常3炉管异常3.1由于目前石英管设计，尾部除进出气、热电偶外还有多余备用的孔需要使用堵头以及石英棉封闭吃力，如果密封性差也会导致漏气，造成设备压力偏差报警3.2石英炉门密封性不好，或长期使用炉门密封圈或炉门变形，导致设备压力偏差报警，可以使用专用卡塞尺测量，也可通过手动检漏上述任何情况都与设备硬件有关，如果排查出异常需及时清理或更换，避免造成设备、工艺或生产更大的成本损失三、流量偏差报警1.前文中提到的PC计损坏以及所有会造成压力偏差报警的都可能导致流量偏差报警，由于压力波动、流量波动本来是相互影响的，因此会因为通讯延迟或优先问题本来是压力异常也优先流量偏差报警，所以大多数流量偏差报警排查方向与压力偏差报警一致2.流量计异常2.1流量计与PLC通讯异常，需要检查流量计与PLC之间通讯线连接情况，若通讯线损坏需更换通讯线 2.2检查通讯模块是否损坏，若是则更换新模块2.3检查流量是否损坏，可以先尝试初始化流量计，初始化完成后进行通气试验，若多次尝试无果，则流量计损坏需更换新流量计1.检查气动阀、手动阀、或电磁阀是否异常是否完全打开，建议配合设备方面人员共同排查2.检查气体、尾气管路是否有漏3.软件中流量偏差设置或流量偏差系数设置是否存在为题上述异常均会造成设备流量偏差报警，甚至连带工艺等待或工艺终止，如果报警需及时处理，以免产生大批量返工浪费成本总结：本文中讨论三大点低压扩散炉最容易出现的影响工艺生产的问题，研究后发现不管是工艺控制，还是设备运行都是相辅相成，而且互相影响深远，总之了解设备运行情况以及运行原理是解决工艺异常问题的最重要途径，所有的工艺异常除参数设置异常之外大多数均为设备硬件问题，而大多数设备硬件问题又都可以从工艺软件或软件中工艺运行记录中排查解决，所以任何工序任何工艺必须清楚了解设备的重要性，文章最后还是提醒各位低压扩散炉设备用户气路、流量计PC计、真空泵为低压设备重要组成部分也是最容易出问题最不容易排查的部分，设计好的气路，好的工艺，勤快保养维护是解决异常的唯一法宝。
关于扩散均匀性的问题
关于扩散均匀性的问题各位同行，大家好！小弟初入行，最近在做个项目是关于实现扩散均匀性的。
目前我们试验作出的片子，单片上方块电阻的标准偏差在5左右，同一批片子（共272片，我们选取大概100片左右测量方块电阻，同一位置的标准偏差在5以上）不同位置的片子的方块电阻差别较大，具体情况是在恒温区中部的片子方块电阻一般较小，而且比较均匀，靠近炉口的片子就不太均匀，方块电阻也比较大。
除去每一舟最靠边的片子，靠边的片子仍显不均匀。
小弟觉得这种不均匀性是由于炉口没有完全密封所以产生了冷端效应，方块电阻偏大。
还有由于扩散炉布气系统不可能使舟内每个位置的气氛完全一样，所以产生了这样的不均匀性。
不滞销地的分析是否有理，还望各位前辈不吝赐教，多给我一些具体的措施去改进我们的工艺，小弟不胜感激！！1.1.你期望的方块电阻偏差是多少？10%以内已经可以了，这个参数很大程度上由设备本身决定，应该是Tempress>Centroterm>国内设备达到的均匀性，最好的设备在增加压力控制装置下125片可达到2以内。
2.272片是不是还是开管不是闭管，闭管一般是400片一炉。
开管在炉口由于抽风问题造成不均匀是很正常的。
炉口与炉中方块电阻的情况不同主要是由于气体流量的大小决定恒温区气流在湍流和层流之间的变换，如果做论文是一定得找流体力学方面的文章了。
3.解决方法很无奈也很简单，扩大大N2和O2流量，你不怕浪费就往极限加-_-||,进出炉稳定时间加长，进出炉推舟时间加长。
2. 回复#2 schweitzer 的帖子呵呵，在这里也碰到了类似的情况，很有参考价值。
谢了先。
另外还有一个问题请教：硅片在出炉后发现有的硅片上偏磷酸滴落的情况，严重时硅片被腐蚀厉害，只得报废，投片量大时，慢慢就会没有了。
像这种情况有什么办法可以根除？3. 回复#6 schweitzer 的帖子QUOTE:原帖由xinwcai 于2006-12-27 23:01 发表呵呵，在这里也碰到了类似的情况，很有参考价值。
德国扩散炉故障处理
德国扩散炉故障处理Centrotherm德国扩散炉一．故障分析与排除1.1 Process exhaust suction high alarm level 工艺废气抽风超出上限报警（上限值3mbar）。
解决措施：(1)查看气源柜顶部排废传感器有无问题,拔出进气管道,屏幕显示流量是否变化，无变化说明传感器坏,需检修。
(2)如流量显示正常,测量其管道内抽风是否正常，有异常通知外围动力设施调节流量。
1.2 Process exhaust suction low alarm level 工艺废气抽风超出下限报警（上限值0.3mbar）。
解决措施：(1)查看气源柜顶部排废传感器有无问题,拔出进气管道,屏幕显示流量是否变化，无变化说明传感器坏,需检修。
(2)如流量显示正常,测量其管道内抽风是否正常，有异常通知外围动力设施调节流量。
1.3 Excess temp heating zone high alarm level 该加热区域温度过高,上限抱警（上限值1100度）。
解决措施：(1) 检查该区域的温度设定值显示值是否正常。
(2) 重新设定加热温度(要求设定值和显示值差值在200以下)。
(3) 检修加热系统。
1.4 Gas pocl3-out of 1 st tolerance 气体三氯氧磷源温度超出规定的公差值（3度）。
解决措施：（1）查看设备操作软件上，源温设定值和显示值，计算之间的差值，检查源温控制器设定的公差报警值是否在允许范围之中。
（2）检查三氯氧磷源瓶中的测温器在指定的位置，传感器测温正常。
（3）检查装源瓶载体盖子是否紧闭，关闭正常。
（4）检查源温控制器和设备主机是否通信（REMOTE灯亮）。
（5）检修恒温槽整体。
1.5 Handing stop 手动停止。
解决措施：（1）设备报警灯红色报警显示，设备打在手动状态（手动按钮启动）。
（2）检查设备装载区的的平移柜门是否打开。
（3）检查柜门关闭的位置传感器是否动作，调整紧固。
锅炉异常情况处置方案
锅炉异常情况处置方案前言锅炉作为一个重要的能源设备，在生产中起着不可替代的作用。
然而，由于使用时间的累积，或者是操作不当等原因，锅炉在使用过程中可能会出现一些异常情况。
这些异常情况如果无法及时得到处理，可能会对生产带来一定的损失。
因此，有一个清晰的锅炉异常情况处置方案，在处理这些异常情况的时候可以提高工作效率。
突变情况的处理前期准备熟悉锅炉每个系统的正常运行参数。
制定相应的操作规程，在事故前认真进行备案审核，保证设备的使用正常。
处理方法1.系统温度或水位异常–首先排除掉操作失误的情况，确认是否是管道堵塞等问题引发的异常。
如果属于此类情况，可以试着调整管道排气，解决问题。
–如果不是管道堵塞引发，可以先将锅炉操作关闭，检查系统是否存在漏水或漏气的情况。
如果存在，可以对漏点进行封堵。
–若检查完毕后，系统并无异常情况，则排除掉温度计或水位计的故障，更新换代相应设备。
2.意外情况引发锅炉熄火–首先排除掉系统内的气体和燃料是否充足等可供生成能源的问题。
如果可以否定这些情况，可以考虑替换故障燃煤。
–如果替换不了，就要排除掉压力开关故障，更换压力开关。
–如果压力开关故障和燃料资源替换均不能解决问题，可以参考合同，并联系相关设备制造商进行处理。
平稳情况的处理前期准备事故未发生时，严格按照规定对锅炉进行日常维护，定期对锅炉各个部分进行检查以及维护。
建议根据锅炉的使用现状，制定相应期限进行检查与维修以及保养。
处理方法1.清洗锅炉在锅炉未出现故障情况下，进行清洗锅炉的工作，可以将锅炉过滤多余的污垢，同时增加锅炉的工作效率，延长设备的使用寿命。
2.对锅炉进行维修在锅炉未出现故障情况下，进行对相应部位的日常检查。
如果发现有锅炉配件在科技时已经损坏，建议立即维修，可降低事故的发生率。
3.增加锅炉的稳定性在没有突变情况的前提下，可以考虑采用优质的燃料，增加化学品添加量来确保稳定性。
建议对汽车及配件等内容也进行检查，保证锅炉各个参数都是合理的。
给料炉排堵塞,断料处理流程
给料炉排堵塞,断料处理流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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光伏硼扩散炉管尾气堵塞处理
光伏硼扩散炉管尾气堵塞处理
光伏硼扩散炉管尾气堵塞处理方法如下：
1. 清洗炉管：在停炉期间，可以采用化学清洗或物理清洗的方法，将炉管内壁和管孔的积灰和堵塞物清除干净。
化学清洗是将炉管浸泡在酸、碱等化学药剂中，通过化学反应将沉积物溶解或疏松，然后用清洗液将沉积物冲刷干净。
物理清洗可以采用喷砂、超声波、高压水射流等技术，利用物理力将沉积物清除。
2. 疏通排气通道：如果炉管的排气通道被堵塞，可以通过疏通排气通道的方法来处理。
可以用管道疏通机或高压水射流等设备，将排气通道内的积灰和堵塞物清除干净，保证排气通道畅通无阻。
3. 加强操作管理：在生产过程中，应加强操作管理，避免产生过多的沉积物和杂质。
控制好炉温、气氛等参数，保证炉管内的反应能够顺利进行，同时定期对炉管进行检查和维护，及时发现并处理问题。
4. 更换炉管：如果炉管损坏严重或者清洗效果不佳，可以考虑更换新的炉管。
在更换炉管时，应选择质量可靠、性能稳定的品牌和型号，以保证生产的稳定性和产品的质量。
以上是光伏硼扩散炉管尾气堵塞的处理方法，具体操作需根据实际情况进行调整。
如果以上方法无法解决问题，建议咨询专业人士或厂家寻求帮助。
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扩散方块电阻正常，但填充因子偏低。
品质因子有问题，n趋向于2，J02偏大，表明结区复合严重。
方法同上
Tempress扩散过程中问题解决方案
问题
原因
解决方法
方块电阻在源一侧低，炉口处高
1.炉门与炉管的密封性不好
2.尾部排气严重
3.假片数量太少
1.调整炉门密封性
3.硅片在炉管中的位置太高
4.桨比硅片和炉管温度低
1.使用新的假片
2.使用好的校准硅片，而不是磨光
3.使用低脚的舟
4.在升温步后插入稳定温度步骤
方块电阻均匀性不连续
1.炉管和舟没有饱和
2.假片被污染
3.校准硅片不是最好的（可能被磨光）
4.石英件或硅片脏
5.沿着扩散炉通风
6.气流不足
1.预先处理炉管和舟
2.使用新的假片
3.使用好的校准硅片，而不是磨光
4.清洗炉管、舟、隔热包块和匀流挡板
5.使用干净的硅片
6.通过关闭可能的通风孔减小通风或者减小洁净室的过压。
7.增加N2和干O2流量
整管方块电阻太高
1.沉积时间过短
2.沉积温度过低
3.推进时间太短
4.推进温度太低
1.增加沉积时间
2.增加沉积温度
3.增加推进温度
3.降低沉积温度
顶部的方块电阻低，底部的高
1.舟被污染
2.校准硅片不是最好的（可能被磨光）
3.硅片在炉管中的位置太高
4.桨比硅片和炉管温度低
1.使用新的干净的舟
2.使用好的校准硅片，而不是磨光。
3.使用低脚的舟。
4.在升温步后插入回温步骤。
边缘处方块电阻低，中心高
1.假片被污染
2.校准硅片不是最好的（可能被磨光）
2.减少尾部排气气流
3.使用更多的假片
单片（交叉）方块电阻在源一侧低，炉口处高
1.炉门与炉管的密封性不好
2.尾部排气严重
3.假片数量太少
1.调整炉门密封性
2.减少尾部排气气流
3.使用更多的假片
单片（交叉）方块电阻均匀性差
1.POCl3不够
2.排气压力过高
3.沉积温度过高
1.增加小N2流量
2.降低排气压力
4.增加推进温度
整管方块电阻太低
1.沉积时间过长
2.沉积温度过高
3.推进时间太长
4.推进温度太高
1.减少沉积时间
2.减少沉积温度
3.减少推进温度
4.减少推进温度
返工处理
方块电阻不在规定范围内：1.轻微超出范围要求重新扩散，严重超出要求重新制绒。2.低于范围要求从新制绒。
氧化发蓝：去PSG工序，反面扩散。
2.源量不够，不能足够掺杂。
3.源温较低于设置20度。4.石英管饱和不够。
1.升高扩散温度，加大源量.
2.延长扩散时间。
3.增加淀积温度。
偏低。1.扩散温度偏高。
2.源温较高于20度。
1.减小扩散温度。
2.减少扩散时间。
3.减少淀积温度。
扩散片与片间方块电阻不均匀
扩散温度不均匀
重新拉扩散炉管恒温
扩散后单片上方块电阻不均匀
48所扩散过程中问题解决方案
问题
原因
解决方法
扩散不到
1.炉门没关紧，有源被抽风抽走。2.携带气体大氮量太小，不能将源带到管前。
3.管口抽风太大。
1.由设备人员将炉门重新定位，确保石英门和石英管口很好贴合。
2.增大携带气体大氮的流量。
3.将石英门旁边管口抽风减小。
扩散方块电阻偏高/偏低
偏高：1.扩散温度偏低。
扩散气流不均匀，单片上源沉积不均匀。
1.调整扩散气流量，加匀流板。2.调整扩散片与片之间距离。
扩散后硅片上有色斑
甩干机扩散前硅片没甩干
调整甩干机设备及工艺条件
扩散过程中偏磷酸滴落
长时间扩散后对扩散管定期进行HF浸泡清洗
环境湿度过大
增大除湿机功率
太阳能电池效率忽高忽低
扩散间或石英管被污染，特别是在生产线被改造时最明显。