可靠性测试项目及需求样品数量

光学防反射膜层的可靠性验证测试所需样品数量
1. 测试样品要求
a) 石英测试片，厚度为1.5毫米。

b) 晶片级硅测试片，厚度大于0.67毫米。

c) 石英测试片用于耐久性试验和耐摩擦强度试验，包括反射率测试。

d) 硅测试片用于耐久性试验和耐摩擦强度试验，不包括反射率测试。

e) 两种测试片在进行以上测试前，需要按照确定的 TOSA/ROSA PLC 芯片的ARC清洁和镀膜工艺进行镀膜加工。

1. 可靠性验证测试石英片硅片
a) 耐久性测试
i. 水煮试验——样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。

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ii. 潮湿试验——样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。

55
iii. PCT —— 样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。

55
iv. 温度循环试验——样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。

55
b) 耐摩擦强度测试
i. 高强度摩擦 —— 样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。

55
ii. 中强度摩擦 —— 样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。

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iii. 附着力 —— 样品数量为石英测试片5片，硅测试片5片。

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iv. 十字划痕，胶带测试 —— 样品数量为石英测试片3片，硅测试片3片。

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c) 组合测试
i. 温湿度循环/十字划痕试验——样品数量为石英测试片3片，硅测试片3片。

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规格：石英测试片 厚度=1.5mm 尺寸：50mmX50mm
晶片级硅测试片 厚度>0.67mm 尺寸：50mmX50mm
总数：石英测试片41pcs,硅片,41pcs.
制表：陈恒日期：2015/12/22。