硅行业术语
常见化工产品、名称、俗称、合成路线介绍

化工知识小百科v1.0(2022.12)超链接目录一、化工行业中常见热门专有名词、术语缩写(按住Ctrl+点击跳转)I BDO行业II MMA行业III 丁二酸行业IV 聚酯行业V 硅化工VI PVC行业VII 醋酸乙烯行业VIII PDO(1,3-丙二醇)行业IX 环氧树脂行业X 其他有机产品XI 各类纤维XII 常见有机污染物二、化工行业常见合成路线I BDOII PVCIII 有机硅IV氟化工三、煤化工专有名词查询四、常见塑料缩写查询五、常见矿物俗称-化学式对照表一、化工行业中常见专有名词、术语缩写化妆品等领域。
可以作为锂电池正、可称为聚酯产品链的龙头,是重要的化工原料。
工业品一般为两种对映体的外消旋混合物。
长丝卷绕成团。
制备硅橡胶、(D3、D4、D5的混合体)℃,D3D4D5曾是世界上产量最大的通用塑料,应用非常广泛。
ethenyl,纸张涂层、氯仿、醋酐、以上)称为高相对分子质量树脂。
用于收缩包装薄膜中。
℃。
丁二烯橡胶、的首字母缩写,。
,丙酮、锂电池电解质溶剂之一。
,“合成棉花”主要用于外科手术缝线。
但随张力的消失能迅速恢复到初始状态,日更新资料显示:,,Toxic Equivalency二、常见合成路线I BDO三菱工艺分两步,首先是在Ni-Re加氢催化剂条件下,顺杆通过液相加氢产生γ-丁内酯和四氢呋喃;第二部是在以Cu-Cr为主催化剂,K2O为助催化剂的条件下,GBL催化加氢生成BDO。
该法应用没有顺酐酯化加氢法广泛。
英国BP化学公司和德国鲁奇公司联合开发的BP/鲁奇Geminoxe新工艺也属于顺酐直接加氢法。
该工艺以C4为原料,从C4加氢到获得最终产品BDO,整个流程可分为三部分:顺酐生产、马来酸加氢及BDO精制。
II PVC乙烯法PVC企业盈利并不差于电石法PVC企业,相反整体情况来看,乙烯法PVC企业盈利水平或比电石法企业略好,那么为什么乙烯法PVC企业开工率现状确是明显差于电石法企业呢。
半导体制造专业英语术语

球栅阵列舞厅式布局,超净间的布局 圆桶型反应室 阻挡层金属势垒电压backing film 背膜baffle vt ・ 困惑,阻碍,为难(挡片)baffle assembly n. 集合,装配,集会,集结,汇 编 (挡片块)丨 基极,基区 batch 批 bay and chase beam blow-up离子束膨胀 beam deceleration 束流减速分类代码号双极双极技术(工艺) bird ' s beak effect 鸟嘴效应blanket deposition 均厚淀积blower增压泵boat 舟BOE 氧化层刻蚀缓冲剂Bon voyage [法]再见,一路顺风[平安]bonding pads 压点bonding wire 焊线,引线boron(B) 硼boron trichloride(BCL3) 三氯化硼boron trifluoride (B F3)三氟化硼borophosphosilicate glass(BPSG)硼磷硅玻璃borosilicate glass(BSG) 硼硅玻璃bottom antireflective coating(BARC)下减反射涂层boule单晶锭bracket n.墙上凸出的托架,括弧,支架v.括在一起breakthrough step 突破步骤,起始的干法刻蚀步骤brightfield detection 亮场检查brush scrubbing 涮洗bubbler 带鼓泡槽buffered oxide etch(BOE) 氧化层腐蚀缓冲液bulk chemical distribution 批量化学材料配送bulk gases 大批气体bulkhead equipment layout 穿壁式设备布局bumped chip 凸点式芯片buried layer 埋层burn-box 燃烧室(或盒) burn-in 老化CCA 化学放大(胶) cantilever n. 建]悬臂cantilever paddle 悬臂桨cap oxide 掩蔽氧化层capacitance 电容capacitance-voltage test(C-Vtest) 电容-电压测试capacitive coupled plasma 电容偶合等离子体capacitor 电容器carbon tetrafluoride(CF4) 四氟化碳caro ' s acid3 号液carrier 载流子carrier-depletion region 载流子耗尽层carrier gas 携带气体cassette (承)片架cation 阳离子caustic 腐蚀性的cavitation 超声波能CD 关键尺寸CD- SEM 线宽扫描电镜Celsius adj.摄氏的center of focus(COF) 焦点焦平面center slow 中心慢速central processing unit(CPU) 中央处理器ceramic substrate 陶瓷圭寸装CERDIP 陶瓷双列直插封装Channel 沟道channel length 沟道长度channeling 沟道效应charge carrier 载流子chase技术夹层chelating agent 螯合齐ijchemical amplification(CA) 化学放大胶chemical etch mechanism 化学刻蚀机理chemical mechanical planarization(CMP) 化学机械平坦化chemical solution 化学溶液chemical vapor deposition(CVD) 化学气相淀积chip 芯片chip on board(COB)板上芯片chip scale package(CSP)芯片尺寸圭寸装circuit geometries 电路几何尺寸class number 净化级另卩cleanroom 净化间cleanroom protocol 净化间操作规程Clearfield mask 亮场掩膜板Cluster tool 多腔集成设备CMOS 互补金属氧化物半导体CMP 化学机械平坦化Coater/developer track 涂胶/显影轨道Cobalt silicide 钻硅化合物coefficient n. [数]系数Coefficient of thermal expansion(CTE)热涨系数Coherence probe microscope 相干探测显微镜Coherent light 相干光coil v. 盘绕,卷Cold wall 冷壁Collector 集电极Collimated light 平行光Collimated sputtering 准直溅射Compensate v.偿还,补偿,付报酬Compound semiconductor 化合物半导体Concentration 浓度Condensation 浓缩Conductor 导体constantly adv・不变地,经常地,坚持不懈地Confocal microscope 共聚焦显微镜Conformal step coverage 共型台阶覆盖Contact 接触(孔)Contact alignment 接触式对准(光刻)Contact angle meter 接触角度仪Contamination 沾污、污染conti boat 连柱舟conticaster [冶]连铸机Continuous spray develop 连续喷雾显影Contour maps 包络图、等位图、等值图Contrast 对比度、反差contribution n.捐献,贡献,投稿Conventional-line photoresist 常规I 线光刻胶Cook' s theory库克理论Copper CVD 铜CVD Copper interconnect 铜互连Cost of ownership(COO) 业主总成本Covalent bond 共价键Critical dimension 关键尺寸Cryogenic aerosol cleaning 冷凝浮质清洗Cryogenic pump(cryopump) 冷凝泵Crystal 晶体Crystal activation 晶体激活Crystal defect 晶体缺陷Crystal growth 晶体生长Crystal lattice 晶格Crystal orientation 晶向CTE 热涨系数Current-driven current amplifier 电流驱动电流放大器CVD 化学气相淀积Cycle time 周期CZ crystal puller CZ 拉单晶设备Czochralski(CZ) method 切克劳斯基法Ddamascene 大马士革工艺darkfiled detection 暗场检测darkfiled mask 暗场掩膜版DC bias 直流偏压decompose v. 分解,(使)腐烂deep UV(DUV) 深紫外光default n.默认(值),缺省(值),食言,不履行责任,[律]缺席v.疏怠职责,缺席,拖欠,默认defects density 缺陷密度defect 缺陷deglaze 漂氧化层degree of planarity(DP) 平整度dehydration bake 去湿烘培,脱水烘培density 密度deplention mode 耗尽型degree of focus 焦深deposit n.堆积物,沉淀物,存款,押金,保证金,存放物vt ・存放,堆积vi.沉淀deposition 淀积deposited oxide layer 淀积氧化层depth of focus 焦深descum 扫底膜design for test(DFT)可测试设计desorption 解吸附作用develop inspect 显影检查development 显影developer 显影液deviation n.背离device isolation 器件隔离device technology 器件工艺DI water 去离子水Diameter n.直径diameter grinding 磨边diborane ( B2H6 )乙硼烷dichlorosilane(H2SiCL2) 二氯甲硅烷die 芯片die array 芯片阵列die attach 粘片die-by-die alignment 逐个芯片对准dielectric 介质dielectric constant 介电常数die matrix 芯片阵列die separation 分片diffraction 衍射diffraction-limited optics 限制衍射镜片diffusion 扩散diffusion controlled 受控扩散digital/analog数字/模拟digital circuit diluent direct chip attach( DCA) directionality discrete dishing dislocation dissolution ratedissolution rate monitor(DRM) 溶解率监测DNQ-novolak 重氮柰醌一酚醛树脂Donor 施主dopant profile 掺杂刨面) doped虚拟的, region 掺杂区 doping 掺杂 dose monitor剂量检测仪 dose,Q 剂量 downstream reactor 顺流法反应 drain 漏 drive-in推进 dry etch 干法刻蚀 dry mechanical pump干式机械泵 dry oxidation 干法氧化dummy n.哑巴,傀儡,假人,假货 adj. 假的,虚构的 n.[计]哑元 dynamic adj. 动力的,动力学的,动态的 E economies of scale 规模经济 edge bead removal 边缘去胶 edge die 边缘芯片edge exclusion 无效边缘区域 electrically erasable PROM 电可擦除 EPROM electrode 电极 electromigration 电迁徙 electron beam lithography 电子束光刻electron cyclotron resonance 电子共振回旋加速器 electron shower 电子簇射,电子喷淋 electron stopping 电子阻止 electronic wafer map 硅片上电性能分布图 electroplating 电镀 electropolishing 电解拋光electrostatic chuck 静电吸盘 electrostatic discharge(ESD)静电放电 ellipsometry 椭圆偏振仪,椭偏仪emitter 发射极 endpoint detection 终点检测 engineering n.工程(学) electrostatic discharge(EDX)能量弥散谱仪 enhancement mode 增强型 epi 夕卜延epitaxial layer 夕卜延层epoxy underfill 环氧树脂填充不足erasable PROM 可擦除可编程只读存储器erosion腐蚀,浸蚀establish vt・建立,设立,安置,使定居,使人民接受,确定v.建立etch 刻蚀etch bias刻蚀涨缩量etch profile 刻蚀刨面etch rate 刻蚀速率etch residue 刻蚀残渣etch uniformity 刻蚀均匀性etchant 刻蚀剂etchback planarization 返刻平坦化eutectic attach 共晶焊接eutectic temperature 共晶温度evaporation 蒸发even adj.平的,平滑的,偶数的,一致的,平静的,恰好的,平均的,连贯的adv.[加强语气]甚至(・・・也), 连…都,即使,恰好,正当vt.使平坦,使相等vi. 变平,相等n.偶数,偶校验exceed vt. 超越,胜过vi.超过其他excimer laser 准分之激光exposal n. 曝光,显露exposure 曝光exposure dose 曝光量extraction electrode 吸极extreme UV 极紫外线extrinsic silicon 掺杂硅F Fables无制造厂公司fabrication 制造facilities 设施factor n.因素,要素,因数,代理人fast ramp furnaces 快速升降温炉fault model 失效模式FCC diamond 面心立方金刚石feature size 特征尺寸FEOL 前工序Fick ' s lawsFICK 定律field-effect transistor 场效应晶体管field oxide 场氧化field-by-field alignment 逐场对准field-programmable PROM 现场可编程只读存储器film 膜film stress 膜应力final assembly and packaging 最终装配和圭寸装final test 终测first interlayer dielectric(ILD-1)第一层层间介质fixed oxide charge 固定氧化物电荷flats 定位边flip chip 倒装芯片float zone 区熔法fluorosilicate glass(FSG) 氟化玻璃focal length 焦距focal plane 焦平面focal point 焦点focus聚焦focus ion beam(FIB) 聚焦离子束footprint 占地面积formula n.公式,规则,客套语forward bias 正偏压four-point probe 四探针frenkel defect Frenkel 缺陷front-opening unified pod(FOUP)前开口盒functional test 功能测试furnace flat zone 恒温区G g-line G 线gallium(Ga)镓gallium arsenide(GaAs)砷化镓gap fill间隙填充gas 气体gas cabinet 气柜gas manifold 气瓶集装gas phase nucleation 气相成核gas purge 气体冲洗gas throughput 气体产量gate 栅gate oxide 栅氧化硅gate oxide integrity 栅氧完整性germanium(Ge) 错getter 俘获glass玻璃glazing 光滑表面global alignment 全局对准global planarization 全局平坦化glow discharge 起辉放电gray area 灰区,技术夹层gross defect 层错grove n. 小树林grown oxide layer 热氧化生长氧化层HHalogen 卤素hardbake 坚膜hardware n.五金器具,(电脑的)硬件,(电子仪器的)部件HEPA filter 高效过滤器hermetic sealing 密圭寸heteroepitaxy 异质外延heterogeneous reaction 异质反应hexamethyldisilazane(HMDS)六甲基二硅氨烷high-density plasma(HDPCVD) 高密度等离子体化学气相淀积高温扩散炉 high-density plasma etch 高密度等离子刻蚀 high-pressure oxidation 高压氧化high-temperature diffusion furnace high vacuum 高真空 high vacuum pumps 高真空泵 hillock 小丘(铝)尖刺 homoepitaxy 同质外延 homogeneous reaction 同质反应 horizontal adj.地平线的,水平的 horizontal furnace 臣卜式炉 hot electron 热电子 hot wall 热壁 hydrochloric acid(HCL)盐酸 hydrofluoric acid(HF)氢氟酸 hydrogen(H2)氢气 hydrogen chloride(HCL)氯化氢 hydrogen peroxide(H2O2)双氧水 hydeophilic 亲水性 hydrophobic 憎水性,疏水性 hyperfiltration 超过滤Ii-line I 线IC packaging 集成电路封装IC reliability 集成电路可靠性 Iddq testing 静态漏电流测试 image resolution 图象清晰度 图象分解力implant v.灌输(注入) impurity 杂质 increment n.增力口,增量 initial adj.最初的,词首的,初始的 n.词首大写 字母 in situ measurements 在线测量 index of refraction 折射率 indium 铟 inductively coupled plasma (ICP )电感耦合等离子体 inert gas惰性气体infrared interference 红外干涉ingot 锭ink mark墨水标识in-line parametric test 在线参数测试input/output(I/O)pin 输入/ 输出管脚institute n. 学会,学院,协会vt.创立,开始,制定,开始(调查),提起(诉讼) insulator 绝缘体integrate vt.使成整体,使一体化,求…的积分v.结合integrated circuit(IC)集成电路integrated measurement tool 集成电路测量仪interval n.间隔,距离,幕间休息n.时间间隔interconnect 互连interconnect delay 互连连线延迟interface-trapped charge 界面陷阱电荷interferometer 干涉仪interlayer dielectric(ILD) 层间介质interstitial 间隙(原子) intrinsic silicon 本征硅invoke v.调用ion 离子ion analyzer 离子分析仪ion beam milling or ion beam etching(IBE) 离子铣或离子束刻蚀ion implantation 离子注入ion implantation damage 离子注入损伤ion implantation doping 离子注入掺杂ion implanter离子注入机ion projection lithography(IPL) 离子投影机PVD ionization 离子化ionized metal plasma PVD 离子化金属等离子IPA vapor dry 异丙醇气相干燥isolation regions 隔离区isotropic etch profile各向同性刻蚀刨面JJEFT结型场效应管junction(pn) PN 结junction depth 结深junction spiking 结尖刺KKelvin绝对温度killer defect致命缺陷kinetically controlled reaction 功能控制效应L laminar air flow 层状空气流,层流式lapping 拋光latchup闩锁效应lateral diffusion 横向扩散law of reflection 反射定律LDD轻掺杂漏Leadframe 引线框架leakage cuttent 漏电流len透镜lens compaction 透镜收缩light 光light intensity 光强light scattering 光散射lightly doped drain(LDD) 轻掺杂漏linear 线性linear accelerator 线性加速器linear stage 线宽阶段,线性区linewidth 线宽liquid 液体lithography 光刻loaded brush沾污的毛刷loaded effect 负载效应loadlock真空锁local interconnect(LI)局部互连local planarization 局部平坦化local oxidation of silicon(LOCOS)硅局部氧化隔离法logic逻辑lot批low-pressure chemical vapor deposition (LPCVD) 低压化学气相淀积LSI大规模集成电路Mmagnetic CZ( MCZ )磁性切克劳斯基晶体生长法magnetically enhanced RIE(MERIE)磁增强反应离子刻蚀magnetron sputtering 磁控溅射Magnification n. 扩大,放大倍率magnificent adj. 华丽的,高尚的,宏伟的majority carrier 多子make-up loop补偿循环mask掩膜版n.面具,掩饰,石膏面像vt.戴面具,掩饰,使模糊vi.化装,戴面具,掩饰,参加化装舞会mask-programmable gate array 掩膜可编程门阵歹Umass flow controller(MFC) 质量流量计mass spectrometer 质谱仪mass-transport limited reaction 质量传输限制效应mathematical adj.数学的,精确的mean free path(MFP) 平均自由程medium vacuum 中真空adj. megasonic cleaning 超声清洗melt熔融membrane contactor薄膜接触器,隔膜接触器membrane filter薄膜过滤器,隔膜过滤器merchant n. 商人,批发商,贸易商,店主商业的,商人的mercury arc lamp 汞灯MESFET用在砷化镓结型场效应晶体管中的金属栅metal contact 金属接触孔metal impurities 金属杂质metal stack复合金属,金属堆叠metallization 金属化metalorganic CVD金属有机化学气相淀积metrology 度量衡学microchip微芯片microdefect 微缺陷microlithography 微光刻microloading微负载,与刻蚀相关的深宽比micron微米microprocessor n.[计]微处理器microprocessor unit 微处理器microroughness 微粗糙度Miller indices 密勒指数minienvironment 微环境minimum geometry 最小尺寸minority carrier 少子mix and match 混合与匹配mobile ionic contaminants(MIC)可动离子沾污mobile oxide charge 可动氧化层电荷module n.模数,模块,登月舱,指令舱modify vt・更改,修改v.修改molecular beam epitaxy (MBE) 分子束外延molecular flow 分子流monitor wafer(test wafer) 陪片,测试片,样片monocrystal 单晶monolithic device 单片器件Moore's law 摩尔定律MOS 金属氧化物半导体MOSFET 金属氧化物半导体场效应管motor curreant endpoint 电机电流终点检测(法) MSI中规模集成电路Multiplier n.增加者,繁殖者,乘数,增效器,乘法器multichip module(MCM) 多芯片模式multilenel metallization 多重金属化Murphy's model 墨菲模型N nanometer(nm)纳米native oxide 自然氧化层n-channel MOSFET n 沟道MOSFET negatine resist 负性光刻胶negative n.否定,负数,底片adj.否定的,消极的,负的,阴性的vt.否定,拒绝(接受) negatine resist development 负性光刻胶显影neutral beam trap 中性束陷阱next-generation lithography 下一代光刻技术nitric acid(HNO3)硝酸nitrogen(N2)氮气nitrogen trifluoride(NF3) 三氟化氮nitrous oxide (N2O) 一氧化二氮、笑气nMOS n沟道MOS场效应晶体管noncritical layer 非关键层nonvolatile memory 非挥发性存储器normality 归一化notch 定位槽novolak苯酚甲醛聚树脂材料npn npn 型(三极管) n-type silicon n 型硅nuclear stopping 离子终止nucleation 成核现象,晶核形成nuclei coalescence 核合并numericalaperture(NA) 数值孑L径n-well n 阱Oobjective (显微镜的)物镜off-axis illumination(OAI) 偏轴式曝光,离轴式曝光ohmic contact 欧姆接触op amp 运算放大器optical interferometry endpoint 光学干涉法终点检测optical lithography 光学光刻optical microscope(light microscope) 光学显微镜optical proximity correction(OPC)光学临近修正optical pyrometer 光学高温计optics 光学organic compound 有机化合物氧化诱生层积 vi.划桨,戏 out-diffusion 反扩散 outgassing 除气作用 overdrive 过压力 overetch step 过刻蚀 overflow rinser 溢流清洗 overlay accuracy 套准精度 overlay budget 套准偏差 overlay registration 套刻对准 oxidation 氧化 oxidation-induced stacking faults(OISF) 缺陷,氧化诱生堆垛层错 oxide 氧化物、氧化层、氧化膜 oxidezer 氧化齐ij oxide-trapped charge 氧化层陷阱电荷 ozone(O3)臭氧Ppackage 封装管壳 pad conditioning 垫修整 pad oxide 垫氧化膜 paddle 悬臂 n.短桨,划桨,明轮翼 水,涉水 vt ・用桨划,搅,拌parabolic stage 拋物线阶段parallel-plate(planar)reactor 平板反应parallel testing 并行测试 parameter 参数parametric test 参数测试 parasitic 寄生parasitic capacitance 寄生电容 parasiticresistance 寄生电阻 parasitic transistor 寄生电阻器 partial pressure 分压 particledensity 颗粒密度 particle per wafer perpass(PWP)每步每片上的颗粒 数passivation 钝化 passivation layer 钝化层passive components 无源元件pattern sensitivity 图形灵敏性patterned etching 图形刻蚀pattern wafer 带图形硅片patterning 图形转移,图形成型,刻印pc board 印刷电路版完成任务 p-channel MOSFETp 沟道 MOSFET PCM 工艺控制监测 PEB 曝光后烘焙 PECVD 等离子体增强化学气相淀积PEL 允许曝露极限值pellicle 贴膜 pentavalent 五价元素 perform vt ・ 履行,执行,表演,演出 v. performing adj. 表演的,履行的 perimete array 周边阵列式(圭寸装) pH scale pH 值 phase-shift mask(PSM) 相移掩膜技术 phosphine(PH3) 磷化氢 phosphoric acid(H3PO4)磷酸 phosphorus(P)磷 phosphorus oxychloride(POCL3)三氯氧磷 phosphosilicate glass(PSG)磷硅玻璃 photoacid generator(PAG)光酸产生剂 photoacoustics 光声的 photoactive compound(PAC)感光化合物 photography n.摄影,摄影术 光刻photolithography 光刻(技术) photomask 光掩膜 photoresist 光刻胶 photoresist stripping 去胶、光刻胶去除 physical etch mechanism 物理刻蚀机理 physical vapor deposition(PVD)物理气相淀积 pigtail 引出头 pin grid array(PGA) 针栅阵列式(封装)pinhole 针孑 L piranha 3 号液 pitch 间距 planar 平面 planar capacitor 平面电容 planar process 平面工艺 planarization 平坦化 plasma 等离子体 n.[解]血浆,乳浆,[物]等离子体,plasma-induced damage 等离子体诱导损伤plasma potential distribution 等离子体势分布plastic dual in-line package(DIP) 双列直插塑料圭寸装plastic leaded chip carrier(PLCC) 塑料电极芯片载体plastic packaging 塑料圭寸装plug塞,填充vt.堵,塞,插上,插栓n塞子,插头, 插销pMOS(p-channel) p 沟道MOSpn junction diode pn 结型二极管pnp pnp型三极管point defect 点缺陷Poisson's model 泊松模型polarization 极化,偏振polarized light 极化光,偏振光polish拋光polish rate 拋光速率polished wafer edge(edge grind) 倒角polishing loop 磨拋循环polishing pad 拋光(衬)垫polycide 多晶硅化物光刻胶显影post-develop inspection 显影后检查post-exposure bake(PEB) 曝光后烘焙ppb 十亿分之几ppm 百万分之几ppt 万亿分之几preamorphization 预非晶化precursor 先驱物predeposition 预淀积premetaldielectric(PMD) 金属前介质preston equation Preston 方程primary orientation flat 主定位边print bias光刻涨缩量printed circuit boade(PCB) 印刷电路板probe探针probe card 探针卡prober探针台process 工艺process chamber工艺腔,工艺反应室process chemical 工艺化学process control monitor(PCM)工艺控制监测(图形) process latitude工艺水平,工艺能力process recipe 工艺菜单programmable arraylogic(PLA) 可编程阵列逻辑programmable logic device 可编程逻辑器件programmable read-only memory 可编程只读存储器projected range 投影射程prompt n.提示,付款期限vt・提示,鼓动,促使, (给演员)提白adj.敏捷的,迅速的,即时的adv.准时地n. DOS命令:改变DOS系统提示符的风格proportion n.比例,均衡,面积,部分vt.使成比例,使均衡,分摊proportional adj. 比例的,成比例的,相称的,均衡的proportional band 比例区,比例带,比例尺范围proximityaligner 接近式光刻机p-type silicon P 型硅puddle develop搅拌式显影pump speed 抽气速率punchthrough 穿通purge (冲气)清洗purge cycle (冲气抽气)清洗循环PVD物理气相淀积p-well P 阱pyrogenic steam 热流pyrogen 热原(质)pyrolytic 热解pyrophoric 自燃的Qquad flatpack(QFP)方型管壳封装quadrupole mass analyzer (QMA)四极质量分析仪quality measure 质量测量quarz石英quarz tube 石英管quarz wafer boat 石英舟queue time排队时间R radiation damage 辐射损伤radical 激发random access memory(RAM) 随机存储器range射程rapid thremal anneal(RTA) 快速热退火rapid thermal processor(RTP)快速热处理RCA clean RCA 清洗reaction rate limited 反应速率限制reactive ion etch(RIE)反应离子刻蚀reactivity 反应性reactor反应室,反应腔read-only memory(ROM)只读存储器recombination 复合redistribution 再分布reflection spectroscopy 反射光谱仪reflective notching 反射开槽reflow回流refraction 折身寸refractory metal 难融金属regeneration 再生regeneration套准精度relative index of refraction,n removal n. 移动,免职,切除repeat n.重复,反复vt・重做,复述,向他人转述,复制,使再现vi.重复,留有味道representation n. 表示法,表现,陈述,请求,扮演,画像,继承,代表reset v.重新安排residual gas analyzer(RGA)残余气体分析器resist光刻胶resist development 光刻胶显影resistance 电阻resistivity 电阻率resolution 分辨率reticle掩膜版retrograde well 倒掺杂阱reverse bias 反偏reverse osmosis(RO)反向渗透RF射频RF sputtering射频溅射rinse v嗽口,(用清水)刷,冲洗掉,漂净n.清洗嗽洗,漂洗,漂清,冲洗RO反向渗透Roots blower罗茨(机械增压)泵roughing pump 低真空泵,机械泵RTA快速热退火RTP快速热处理Ssatisfy vt.满足,使满意,说服,使相信v.满意,确保Scaling按比例缩小SCALPEL具有角度限制分散投影电子束光刻Scanner扫描仪scanning electron microscope(SEM)扫描电子显微镜scanning projection aligner 扫描投影光刻机schottky diode 肖特基二极管screen oxide layer 掩蔽氧化层scribe line 戈H 片道scribe line monitor(SLM)戈J片线监测scumming 底膜secondary electron 二次电子secondary electron flood 二次电子流secondary ion mass spectrometry(SIMS)二次离子质谱 (法) seed' s model SEE 模型selective etching 选择性刻蚀selective oxidation 选择性氧化selectivity 选择性semiconductor grade silicon 半导体极硅semiconductor 半导体sensitivity 灵敏度shallow trench isolation(STI)浅沟槽隔离sheet resistance,RS 方块电阻sheet resistivity,方块电阻率shot size胶(点)尺寸shrinking 缩小SI units 公制Sidewall spacer 侧墙Silane(siH4)硅烷Silicide硅化合物silicon 硅silicon dioxide(SIO2)二氧化硅silicon nitride(SI3N4)氮化硅silicon on sapphire 蓝宝石伤硅silicon on insulator(SOI)绝缘体上硅silicontetrachloride(SIC4) 碳化硅silicon tetrafluoride(SIF4)四氟化硅silicon tetrachloride(SICL4)四氯化硅single crystal silicon 单晶硅silylation硅烷化(作用)SIMOX 由注入氧隔离,一种SOI材料single crystal 单晶slip滑移slurry磨料SMIF标准机械接口Sodium hydroxide(NaOH)氢氧化钠soft bake 前烘solid固体solvent 溶齐ijSOS蓝宝石上硅Source 源source drain implants 源漏注入spacer n.取间隔的装置,逆电流器spatial coherence 空间相干spatial signature analysis 空间信号分析specialty gase 特种气体species 种类specific gravity 比重specific heat 比热speckle 斑点spectroscipic ellipsometry 椭圆偏振仪spin coating光刻胶旋涂spin dryer 旋转式甩干桶spin-on-dielectric(SOD)旋转介质法spin-on-glass(SOG)旋转玻璃法spray cleaning 喷雾清洗spray rinser喷雾清洗槽spreading resistance probe 扩散电阻探测sputter n・喷溅声,劈啪声,急语,咕哝vi.唾沫飞溅,发劈啪声,急忙地讲vt.喷出,飞溅出,气急败坏地说sputtering 溅射sputter etch溅射刻蚀sputtered aluminum 溅射铝sputtering yield 溅射产额SSI小规模集成电路stacking fault层积缺陷,堆垛层错standard clean 1(SC-1) 1 号清洗液standard clean 2(SC-2) 2 号清洗液standard mechanical interface(SMIF)机械标准接口standing wave 驻波static RAM静态存储器statistical process control ( SPC)统计过程控制step coverage台阶覆盖step height台阶高度step-and-repeat aligner 分步重复光刻机step-and-scan system步进扫描光刻机stepper步进光刻机stepping motor driver步进电机驱动器电路stepper步进光刻机stoichiometry化学计量(配比) staggle投射标准偏差stress应力striation 条纹strip vt・剥,剥去n. 条,带stripping 去胶structure 结构subatmospheric CVD亚大气压化学气相淀积submicron 亚微米sub-quarter micron 亚0・25微米substrate 衬底sublimation 升华substitutional atom 替位原子subtract v (〜from)减去,减subwaverlength lithography 亚波长光刻sulfur hexafluoride(SF6)六氟化硫sulfuric acid (H2SO4 )硫酸surface profiler 表面形貌surface tension 表面张力susceptor 基座Ttarget chamber 靶室target 靶temperature ramp rate 温度斜率temperature 温度TEOS正硅酸乙脂test algorithm 测试算法test coverage 测试覆盖test structure 测试结构test vector测试向量thermal budget 热预算thermal oxide 热氧化thermocompression bonding 热压键合thermocouple 热电偶thermogravimetric analysis (TGA) 热重量分析thermosonic bonding 热超声键合thin film 薄膜thin small outline package(TSOP)薄小型圭寸装川-V compound 三/五族化合物thorough adj.十分的,彻底的Threshold 域值threshold voitage 域值电压threshold voltage adjustment implant 调栅注入,域值调整注入throughput 产量tilt [tilt] v.(使)倾斜,(使)翘起,以言词或文字抨击time of flight SIMS(TOF -SIMS) 飞行时间二次离子质谱titanium silicide 钛硅化合物TLV极限域值top surface imaging 上表面图形topography 形貌torr 托toxic有毒track system(also track) 轨道系统transient enhanced diffusion(TED)瞬时增强扩散transistor 晶体管trench 槽trench capacitor 槽电容trichlorosilane(TCS or SiHCL3)三氯氢硅triode planar reactor三真空管平面反应室triple well 三阱trivalent 三价tungsten(W)钨tungsten stch back 钨反刻tungsten hexafluoride(WF6)六氟化钨tungstenplug钨塞,钨填充turbomolecular pump(turbo pump) 涡轮分子泵twin planes(twinning) 双平面twin-well(twin-tub)双阱UULSI甚大规模集成电路ultralow penetration air(ULPA)超低穿透空气ultrafiltration 超过滤ultrafine particle 超细颗粒ultrahigh purity 超高纯度ultrahigh vacuum 超高真空ultrashallow junction 超浅结ultrashallow junction 超声键合(压焊) ultraviolet 紫外线undercut 钻蚀uniformity 均匀性unit cell元包,晶胞unpatterned etching(spripping)无图形刻蚀(剥离) unpatterned wafer 无图形硅片unplug v.拔去(塞子,插头等),去掉…的障碍物UV紫外线VVacancy 空位vacuum 真空vacuum wand真空吸片棒,真空镊子van der pauw method 范德堡法vapor phase epotaxy(VPE)气相外延vapor pressure 气压vapor prime气相熏增粘剂,气相成底膜vaporization 气化variable n.[数]变数,可变物,变量adj. 可变的,不定的,。
工厂常用专业术语(硅胶、模具企业中英文对照表)
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46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93
印刷字体斜 气泡 字体偏位 产品相混 颗粒 硫化剂 产品送错工序 键帽刮伤 不同型号的合格证相掺 资料单与产品型号不符 银粉粒 整批合格证错 漏印导电 键帽粘偏 切割图形不正 多挖KT 雾面PU 漏挖KT 粘面 挖错KT 多切KT 漏印字体 印错字体 切割方向错 漏喷消光 漏切割 漏喷PU 漏滴注 漏塞料 环绕 丝网 键 寿命 直径 电镀 剖面图 不良 参考 额外冲程 参考面 印刷置具 PU 不良 喷 粘胶 冲程 类型 修改 圆的
英语
flash;burr;galling pill overflow spots;dirty dots torn dirty mark;contaminant pill badness adhere to impurities short mold compounding NO. of pieces Material cutting silicone rubber PMS(Pantone) pin hole color overflow force defect gas mark gas bubble problem insensibility defect of KT black spot pill torn mould mark deform;distort ;deformation;distortiБайду номын сангаасn insert kt in reverse dented;recess;sink mark insert wrong kt protruding mark dimension oversize missing kt when inserting conductive pill jig post curing actuating force pressuring absence of locating hole double pill commixture of different mould not clear number mould eccentricity adhere to printing ink printing defect appearance defect electrical defect shift printing defect oil amass
半导体常用术语
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Fab厂常用术语some phrases and words in FAB cleanroom systemA.M.U 原子质量数ADI After develop inspection显影后检视AEI 蚀科后检查Alignment 排成一直线,对平Alloy 融合:电压与电流成线性关系,降低接触的阻值ARC:anti-reflect coating 防反射层ASHER: 一种干法刻蚀方式ASI 光阻去除后检查Backside 晶片背面Backside Etch 背面蚀刻Beam-Current 电子束电流BPSG: 含有硼磷的硅玻璃Break 中断,stepper机台内中途停止键Cassette 装晶片的晶舟CD:critical dimension 关键性尺寸Chamber 反应室Chart 图表Child lot 子批Chip (die) 晶粒CMP 化学机械研磨Coater 光阻覆盖(机台)Coating 涂布,光阻覆盖Contact Hole 接触窗Control Wafer 控片Critical layer 重要层CVD 化学气相淀积Cycle time 生产周期Defect 缺陷DEP: deposit 淀积Descum 预处理Developer 显影液;显影(机台)Development 显影DG: dual gate 双门DI water 去离子水Diffusion 扩散Doping 掺杂Dose 剂量Downgrade 降级DRC: design rule check 设计规则检查Dry Clean 干洗Due date 交期Dummy wafer 挡片E/R: etch rate 蚀刻速率EE 设备工程师End Point 蚀刻终点ESD: electrostatic discharge/electrostatic damage 静电离子损伤ET: etch 蚀刻Exhaust 排气(将管路中的空气排除)Exposure 曝光FAB 工厂FIB: focused ion beam 聚焦离子束Field Oxide 场氧化层Flatness 平坦度Focus 焦距Foundry 代工FSG: 含有氟的硅玻璃Furnace 炉管GOI: gate oxide integrity 门氧化层完整性Hexamethyldisilazane,经去水烘烤的晶片,将涂上一层增加光阻与晶片表面附着力的化合物,称HCI: hot carrier injection 热载流子注入HDP:high density plasma 高密度等离子体High-V oltage 高压Hot bake 烘烤ID 辨认,鉴定Implant 植入Layer 层次LDD: lightly doped drain 轻掺杂漏Local defocus 局部失焦因机台或晶片造成之脏污LOCOS: local oxidation of silicon 局部氧化Loop 巡路Lot 批Mask (reticle) 光罩Merge 合并Metal Via 金属接触窗MFG 制造部Mid-Current 中电流Module 部门NIT: Si3N4 氮化硅Non-critical 非重要NP: n-doped plus(N+) N型重掺杂NW: n-doped well N阱OD: oxide definition 定义氧化层OM: optic microscope 光学显微镜OOC 超出控制界线OOS 超出规格界线Over Etch 过蚀刻Over flow 溢出Overlay 测量前层与本层之间曝光的准确度OX: SiO2 二氧化硅P.R. Photo resisit 光阻P1: poly 多晶硅PA; passivation 钝化层Parent lot 母批Particle 含尘量/微尘粒子PE: 1. process engineer; 2. plasma enhance 1、工艺工程师2、等离子体增强PH: photo 黄光或微影Pilot 实验的Plasma 电浆Pod 装晶舟与晶片的盒子Polymer 聚合物POR Process of recordPP: p-doped plus(P+) P型重掺杂PR: photo resist 光阻PVD 物理气相淀积PW: p-doped well P阱Queue time 等待时间R/C: runcard 运作卡Recipe 程式Release 放行Resistance 电阻Reticle 光罩RF 射频RM: remove. 消除Rotation 旋转RTA: rapid thermal anneal 迅速热退火RTP: rapid thermal process 迅速热处理SA: salicide 硅化金属SAB: salicide block 硅化金属阻止区SAC: sacrifice layer 牺牲层Scratch 刮伤Selectivity 选择比SEM:scanning electron microscope 扫描式电子显微镜Slot 槽位Source-Head 离子源SPC 制程统计管制Spin 旋转Spin Dry 旋干Sputter 溅射SR Si rich oxide 富氧硅Stocker 仓储Stress 内应力STRIP: 一种湿法刻蚀方式TEOS –(CH3CH2O)4Si 四乙氧基硅烷/正硅酸四乙酯,常温下液态。
硅片行业术语大全
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EdgeProfile-Theedgesoftwobondedwafersthathavebeenshapedeitherchemicallyorme chanically. 光伏材料设备网 边缘轮廓-通过化学或机械方法连接起来的两个晶圆片边缘。 pv001·net
沾污颗粒-晶圆片表面上的颗粒。 光伏网
CrystalDefect-Partsofthecrystalthatcontainvacanciesanddislocationsthatcanha veanimpactonacircuit’selectricalperformance. pv001·net 晶体缺陷-部分晶体包含的、会影响电路性能的空隙和层错。 pv001
硅片行业术语大全(中英对照)
2010-11-1516:19:00 来源:互联网
Acceptor-Anelement,suchasboron,indium,andgalliumusedtocreateafreeholeinasem iconductor.Theacceptoratomsarerequiredtohaveonelessvalenceelectronthanthese miconductor. 光伏网 受主-一种用来在半导体中形成空穴的元素,比如硼、铟和镓。受主原子必须比半导体 元素少一价电子
Bipolar-Transistorsthatareabletousebothholesandelectronsaschargecarriers. ww
半导体术语解释小结
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第一章固体晶体结构小结1.硅是最普遍的半导体材料2.半导体和其他材料的属性很大程度上由其单晶的晶格结构决定。
晶胞是晶体中的一小块体积,用它可以重构出整个晶体。
三种基本的晶胞是简立方、体心立方和面心立方。
3.硅具有金刚石晶体结构。
原子都被由4个紧邻原子构成的四面体包在中间。
二元半导体具有闪锌矿结构,它与金刚石晶格基本相同。
4.引用米勒系数来描述晶面。
这些晶面可以用于描述半导体材料的表面。
密勒系数也可以用来描述晶向。
5.半导体材料中存在缺陷,如空位、替位杂质和填隙杂质。
少量可控的替位杂质有益于改变半导体的特性。
6.给出了一些半导体生长技术的简单描述。
体生长生成了基础半导体材料,即衬底。
外延生长可以用来控制半导体的表面特性。
大多数半导体器件是在外延层上制作的。
重要术语解释1.二元半导体:两元素化合物半导体,如GaAs。
2.共价键:共享价电子的原子间键合。
3.金刚石晶格:硅的院子晶体结构,亦即每个原子有四个紧邻原子,形成一个四面体组态。
4.掺杂:为了有效地改变电学特性,往半导体中加入特定类型的原子的工艺。
5.元素半导体:单一元素构成的半导体,比如硅、锗。
6.外延层:在衬底表面形成的一薄层单晶材料。
7.离子注入:一种半导体掺杂工艺。
8.晶格:晶体中原子的周期性排列9.密勒系数:用以描述晶面的一组整数。
10.原胞:可复制以得到整个晶格的最小单元。
11.衬底:用于更多半导体工艺比如外延或扩散的基础材料,半导体硅片或其他原材料。
12.三元半导体:三元素化合物半导体,如AlGaAs。
13.晶胞:可以重构出整个晶体的一小部分晶体。
14.铅锌矿晶格:与金刚石晶格相同的一种晶格,但它有两种类型的原子而非一种。
第二章量子力学初步小结1.我们讨论了一些量子力学的概念,这些概念可以用于描述不同势场中的电子状态。
了解电子的运动状态对于研究半导体物理是非常重要的。
2.波粒二象性原理是量子力学的重要部分。
粒子可以有波动态,波也可以具有粒子态。
半导体行业的英单词和术语
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半导体行业的英单词和术语1. Semiconductor(半导体):指一种导电性能介于导体和绝缘体之间的材料,广泛应用于电子器件中。
3. Integrated Circuit(集成电路):简称IC,将大量的微小电子元件(如晶体管、电阻、电容等)集成在一块半导体芯片上。
4. Transistor(晶体管):一种半导体器件,具有放大信号和开关功能,是现代电子设备的基础组件。
5. Diode(二极管):一种具有单向导通特性的半导体器件,常用于整流、稳压等电路。
6. MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管):一种常见的晶体管类型,广泛应用于放大器和开关电路。
7. CMOS(互补金属氧化物半导体):一种集成电路技术,采用NMOS和PMOS晶体管组合,具有低功耗、高集成度等优点。
8. Wafer(晶圆):指经过切割、抛光等工艺处理的半导体材料,用于制造集成电路。
9. Photolithography(光刻):在半导体制造过程中,利用光刻技术将电路图案转移到晶圆上的过程。
10. Etching(刻蚀):在半导体制造过程中,通过化学反应或物理方法去除晶圆表面不需要的材料。
11.掺杂(Doping):在半导体材料中引入其他元素,以改变其导电性能。
12. Chip(芯片):指经过封装的集成电路,是电子设备的核心组成部分。
13. PCB(印刷电路板):一种用于支撑和连接电子元件的板材,上面布满了导电线路。
14. Moore's Law(摩尔定律):指集成电路上可容纳的晶体管数量大约每两年翻一番,预测了半导体行业的发展趋势。
15. EDA(电子设计自动化):指利用计算机软件辅助设计电子系统,包括电路设计、仿真、验证等环节。
16. Foundry(代工厂):专门为其他公司生产半导体芯片的企业。
17. Semiconductor Equipment Manufacturer(半导体设备制造商):为半导体行业提供生产设备的公司。
半导体制造行业专业术语
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半导体词汇1. ac cepta nce t estin g (WA T: wa fer a ccept ancetesti ng) 2. ac cepto r: 受主,如B,掺入Si中需要接受电子3.ACCES S:一个E DA(En ginee ringDataAnaly sis)系统4. Acid:酸5. Act ive d evice:有源器件,如MOS FET(非线性,可以对信号放大)6. Ali gn ma rk(ke y):对位标记7. All oy:合金8.Alumi num:铝9.Ammon ia:氨水10. Ammo niumfluor ide:N H4F 11. A mmoni um hy droxi de:NH4OH 12. A morph ous s ilico n:α-S i,非晶硅(不是多晶硅)13. An alog:模拟的14. A ngstr om:A(1E-10m)埃15. A nisot ropic:各向异性(如POL Y ETC H)16. AQ L(Acc eptan ce Qu ality Leve l):接受质量标准,在一定采样下,可以95%置信度通过质量标准(不同于可靠性,可靠性要求一定时间后的失效率)17.ARC(A ntire flect ive c oatin g):抗反射层(用于METAL等层的光刻)18. Ant imony(Sb)锑19. Argo n(Ar)氩20. Ars enic(As)砷21.Arsen ic tr ioxid e(As2O3)三氧化二砷22. A rsine(AsH3)23. Ash er:去胶机24. Asp ect r ation:形貌比(ETCH中的深度、宽度比)25. A utodo ping:自搀杂(外延时SUB的浓度高,导致有杂质蒸发到环境中后,又回掺到外延层)26. Bac k end:后段(C ONTAC T以后、P CM测试前)27. Bas eline:标准流程28. Benc hmark:基准29. B ipola r:双极30.Boat:扩散用(石英)舟31. C D:(C ritic al Di mensi on)临界(关键)尺寸。
多晶硅英文术语
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多晶硅技术英语词汇(原创)
English-Chinese Glossary List for PCS Technology
多晶硅技术涉及冶金、半导体材料、化工、机械、热能、电子等各个专业的交叉,在国外多晶硅行业对其中的许多专有词汇有专门的说法,国内目前还没有多晶硅专业词汇出版,以致国内的业界人士在进行多晶硅项目国际合作时使用了很多Chinese English,造成沟通上的误解。
博主通过近几年和国外同行大量的交流,将多晶硅行业专用的英语词汇进行了整理,供业内的朋友参考使用。
由于时间关系,本词汇先粗略发布,日后会不断地充实完善。
硅片行业术语大全中英文对照I-Z讲解学习

硅片行业术语大全(中英文对照 I-Z)Ingot - A cylindrical solid made of polycrystalline or single crystal silicon from which wafer s are cut.晶锭 - 由多晶或单晶形成的圆柱体,晶圆片由此切割而成。
Laser Light-Scattering Event - A signal pulse that locates surface imperfections on a wafer.激光散射 - 由晶圆片表面缺陷引起的脉冲信号。
Lay - The main direction of surface texture on a wafer.层 - 晶圆片表面结构的主要方向。
Light Point Defect (LPD) (Not preferred; see localized light-scatterer) 光点缺陷(LPD) (不推荐使用,参见“局部光散射”)Lithography - The process used to transfer patterns onto wafer s.光刻 - 从掩膜到圆片转移的过程。
Localized Light-Scatterer - One feature on the surface of a wafer, such as a pit or a scratch that scatters light. It is also called a light point defect.局部光散射 - 晶圆片表面特征,例如小坑或擦伤导致光线散射,也称为光点缺陷。
Lot - Wafer s of similar sizes and characteristics placed together in a shipment.批次 - 具有相似尺寸和特性的晶圆片一并放置在一个载片器内。
半导体专业术语缩写
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半导体专业术语缩写
半导体专业术语缩写较多,以下列举部分供参考:
- EPI:外延
- PM:设备维护与保养
- PCW:工艺冷却水
- PMC:生产计划与物料控制
- PLC:可编程序控制控制器
- H2:氢气
- Sb:锑
- N2:氮气
- As:砷
- SiHCl3(TCS):三氯氢硅
- B:硼
- PH3:磷烷
- CMOS:互补金属氧化物半导体
- HCl:氯化氢
- CMP:化学机械抛光
- Hg:汞(水银)
- ESD:静电释放
- HNO3:硝酸
- H2O2:双氧水
- HF:氢氟酸
- MOS:金属氧化物半导体
- SPC:统计过程控制
- PCM:工艺控制监测
- MRB:异常评审委员会
- PCN:工艺变更通知单
- CAB:变更评审委员会
- ECN:工程变更通知单
- OCAP:失效控制计划
- PSG:磷硅玻璃
- TF:薄膜
- PVD:物理气相淀积
- PHO:光刻
- PCB:印刷电路板
- DIF:扩散
- RF:射频
- II:注入
- UV:紫外线
- CVD:化学气相淀积
- VPE:气相外延
- SPV:扩散长度
- Bubbler:鼓泡器
- CD:关键尺寸
- EMO:设备紧急按钮
- CD-SEM:线宽扫描电镜
- Scrubber:尾气处理器
- ETCH:刻蚀(腐蚀)
- Coat:包硅
- H2-BAKE:氢气烘烤
- SRP:外延层纵向电阻率分布
如果你还想了解其他缩写,可以继续向我提问。
芯片行业术语
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芯片行业术语
1.片上系统(SoC):将多个功能模块集成在一块芯片上,实现多种应用。
2. 集成电路(IC):将电子元器件等集成在一块芯片上,实现电路功能。
3. 硅片(Wafer):用于制造芯片的硅基材料。
4. 微处理器(Microprocessor):内置运算器、控制器和存储器的集成电路。
5. 处理器架构(Architecture):指处理器内部的结构、功能和工作方式。
6. 指令集(Instruction Set):处理器能够执行的操作指令集合。
7. 芯片制造工艺(Process):指制造芯片的各种工艺和步骤。
8. 晶体管(Transistor):用于控制电流的电子器件,是芯片的基本组成单元。
9. NMOS/PNOS/CMOS:不同种类的晶体管工作方式,影响芯片性能和功耗。
10. 时钟频率(Clock Frequency):处理器每秒钟执行指令的次数,影响处理器速度。
11. 超线程技术(Hyper-Threading):一种多线程技术,可以提高处理器的效率。
12. 缓存(Cache):用于存储处理器频繁访问的数据和指令,提
高处理器速度。
13. 硬件加速器(Hardware Accelerator):用于加速处理器特定任务的电路。
14. 图形处理器(GPU):专门用于处理图形图像和视频的处理器。
15. 半导体产业链(Semiconductor Supply Chain):指从芯片设计到终端应用的整个产业链。
以上是一些常见的芯片行业术语,它们在芯片设计、制造和应用中起着重要的作用。
半导体专业术语

1.acceptor: 受主,如B,掺入Si中需要接受电子20.Asher:去胶机21.Aspect ration:形貌比(ETCH中的深度、宽度比)Acid2.:酸22.Active device:有源器件,如MOS FET (非线性,可以对信号放大)Autodoping:自搀杂(外延时SUB的浓度高,导致有杂质蒸发到环境中后,又回掺到外延层) 3.23.Back end:后段( 4.Align mark(key):对位标记CONTACT以后、PCM测试前)24. Baseline:标准流程Alloy5.:合金25.6.Aluminum:铝Benchmark:基准26. Bipolar:双极Ammonia7.:氨水27.8.Ammonium fluoride:Boat:扩散用(石英)舟NH4F28.CD:(Ammonium hydroxide9.:NH4OH Critical Dimension)临界(关键)尺寸。
在工艺上通常指条宽,例如POLY CD 为多晶条宽。
,非晶硅(不是多晶硅)-SiAmorphous silicon10.:α29.Analog11.:模拟的Character window:特征窗口。
用文字或数字描述的包含工艺所有特性的一个方形区域。
30.)埃Chemical-mechanical polish(CMP):化学机械抛光法。
一种去掉圆片表面某种物质的方法。
1E-10mAAngstrom12.:(31.13.Chemical vapor deposition )(CVD):化学汽相淀积。
一种通过化学反应生成一层薄膜的工POLY ETCHAnisotropic:各向异性(如艺。
14. 95%AQL(Acceptance Quality Level):接受质量标准,在一定采样下,可以置信度通过质32.Chip:碎片或芯片。
量标准(不同于可靠性,可靠性要求一定时间后的失效率)33.CIM等层的光刻):抗反射层(用于15.ARC(Antireflective coating)METAL :computer-integrated manufacturing 的缩写。
硅片硅片大全(中英文对照 I-Z)
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Laser Light-Scattering Event - A signal pulse that locates surface imperfections on a wafer.
激光散射 - 由晶圆片表面缺陷引起的脉冲信号。
Lay - The main direction of surface texture on a wafer.
层 - 晶圆片表面结构的主要方向。
Light Point Defect (LPD) (Not preferred; see localized light-scatterer)
光点缺陷(LPD) (不推荐使用,参见“局部光散射”)
Lithography - The process used to transfer patterns onto wafers.
条痕 - 螺纹上的缺陷或污染。
Subsite, of a Site - An area found within the site, also rectangular. The center of the subsite must be located within the original site.
最小条件或方向 - 确定晶圆片是否合格的允许条件。
Minority Carrier - A carrier, either a hole or an electron that is not dominant in a specific region, such as electrons in a P-Type area.
Miller索指数 - 三个整数,用于确定某个并行面。这些整数是来自相同系统的基本向量。
硅片行业术语大全中英文对照I-Z

硅片行业术语大全中英文对照I-Z硅片行业术语大全(中英文对照 I-Z)Ingot - A cylindrical solid made of polycrystalline or single crystal silicon from which wafer s are cut.晶锭 - 由多晶或单晶形成的圆柱体,晶圆片由此切割而成。
Laser Light-Scattering Event - A signal pulse that locates surface imperfections on a wafer.激光散射 - 由晶圆片表面缺陷引起的脉冲信号。
Lay - The main direction of surface texture on a wafer.层 - 晶圆片表面结构的主要方向。
Light Point Defect (LPD) (Not preferred; see localized light-scatterer) 光点缺陷(LPD) (不推荐使用,参见“局部光散射”)Lithography - The process used to transfer patterns onto wafer s.光刻 - 从掩膜到圆片转移的过程。
Localized Light-Scatterer - One feature on the surface of a wafer, such as a pit or a scratch that scatters light. It is also called a light point defect.局部光散射- 晶圆片表面特征,例如小坑或擦伤导致光线散射,也称为光点缺陷。
Lot - Wafer s of similar sizes and characteristics placed together in a shipment.批次 - 具有相似尺寸和特性的晶圆片一并放置在一个载片器内。
硅胶(干燥剂)专业术语

山东辛化(集团)公司
辛化SHANDONG SINCHEM CO.,LTD.
硅胶专业术语
比表面:是指每克硅胶所具有的表面积,包括内部微孔表面积和外表面积之和
单位:平方米/克(m2/g)
孔容:每克硅胶内部孔隙的总体积。
单位:毫升/克(ml/g)
孔径:是指硅胶内部微孔的直径。
单位:埃(A 0 )或纳米(nm)1nm=10A 0
吸附量:硅胶在一定相对湿度下吸附水蒸气达到饱和,此时吸附水蒸气的量称吸附量。
单位:%
堆积密度:硅胶的质量与其所堆积空间体积之比
单位:克/升(g/l)
PH值:本身定义是氢离子浓度的负对数。
硅胶PH值是指经过一定条件处理,含有一定比例的硅胶水溶液的PH值。
比电阻:是表示硅胶纯度的一个指标。
比电阻本身定义是溶液在1cm距离的电阻。
硅
胶的比电阻是指经过一定条件处理后,硅胶中水溶性电解质的溶出,用电导
测定溶液的比电阻。
比电阻愈高则反映硅胶所含水溶性电解质量愈低。
单位:欧姆.厘米(Ω.cm)
磨耗率:是硅胶耐磨强度的一个指标。
是指在一定条件下硅胶磨耗的损失量。
单位:%
遇水不炸裂率:是指耐水硅胶耐水度的一个指标。
单位:%。
硅行业专业术语
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Acceptor - An element, such as boron, indium, and gallium used to create a free hole in a semiconductor. The acceptor atoms are required to have one less valence electron than the semiconductor.受主 - 一种用来在半导体中形成空穴的元素,比如硼、铟和镓。
受主原子必须比半导体元素少一价电子Alignment Precision - Displacement of patterns that occurs during the photolithography process.套准精度 - 在光刻工艺中转移图形的精度。
Anisotropic - A process of etching that has very little or no undercutting 各向异性 - 在蚀刻过程中,只做少量或不做侧向凹刻。
Area Contamination - Any foreign particles or material that are found on the surface of a wafer. This is viewed as discolored or smudged, and it is the res*不良词语*t of stains, fingerprints, water spots, etc.沾污区域 - 任何在晶圆片表面的外来粒子或物质。
由沾污、手印和水滴产生的污染。
Azimuth, in Ellipsometry - The angle measured between the plane of incidence and the major axis of the ellipse.椭圆方位角 - 测量入射面和主晶轴之间的角度。
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Contamination Partic*不良词语*ate - Particles found on the surface of a silicon wafer.
沾污颗粒 - 晶圆片表面上的颗粒。
Crystal Defect - Parts of the crystal that contain vacancies and dislocations that can have an impact on a circuit’s electrical performance.
名义上边缘排除(EE) - 质量保证区和晶圆片外围之间的距离。
Edge Profile - The edges of two bonded wafers that have been shaped either chemically or mechanically.
边缘轮廓 - 通过化学或机械方法连接起来的两个晶圆片边缘。
化学-机械抛光(CMP) - 平整和抛光晶圆片的工艺,采用化学移除和机械抛光两种方式。此工艺在前道工艺中使用。
Chuck Mark - A mark found on either surface of a wafer, caused by either a robotic end effector, a chuck, or a wand.
Bipolar - Transistors that are able to use both holes and electrons as charge carriers.
双极晶体管 - 能够采用空穴和电子传导电荷的晶体管。
Bonded Wafers - Two silicon wafers that have been bonded together by silicon dioxide, which acts as an ins*不良词语*ating layer.
边缘排除区域 - 位于质量保证区和晶圆片外围之间的区域。(根据晶圆片的尺寸不同而有所不同。)
Edge Exclusion, Nominal (EE) - The distance between the fixed quality area and the periphery of a wafer.
表面起伏 - 在合适的光线下通过肉眼可以发现的晶圆片表面凹陷。
Donor - A contaminate that has donated extra “free” electrons, thus making a wafer “N-Type”.
施主 - 可提供“自由”电子的搀杂物,使晶圆片呈现为N型。
Dopant - An element that contributes an electron or a hole to the conduction process, thus altering the conductivity. Dopants for silicon wafers are found in Groups III and V of the Periodic Table of the Elements.
埋层 - 为了电路电流流动而形成的低电阻路径,搀杂剂是锑和砷。
Buried Oxide Layer (BOX) - The layer that ins*不良词语*ates between the two wafers.
氧化埋层(BOX) - 在两个晶圆片间的绝缘层。
Carrier - Valence holes and conduction electrons that are capable of carrying a charge through a solid surface in a silicon wafer.
Conductivity (electrical) - A measurement of how easily charge carriers can flow throughout a material.
传导性(电学方面) - 一种关于载流子通过物质难易度的测量指标 。
Conductivity Type - The type ofபைடு நூலகம்charge carriers in a wafer, such as “N-type” and “P-type”.
载流子 - 晶圆片中用来传导电流的空穴或电子。
Chemical-Mechanical Polish (CMP) - A process of flattening and polishing wafers that utilizes both chemical removal and mechanical buffing. It is used during the fabrication process.
卡盘痕迹 - 在晶圆片任意表面发现的由机械手、卡盘或托盘造成的痕迹。
Cleavage Plane - A fracture plane that is preferred.
解理面 - 破裂面
Crack - A mark found on a wafer that is greater than 0.25 mm in length.
沾污区域 - 任何在晶圆片表面的外来粒子或物质。由沾污、手印和水滴产生的污染。
Azimuth, in Ellipsometry - The angle measured between the plane of incidence and the major axis of the ellipse.
绑定晶圆片 - 两个晶圆片通过二氧化硅层结合到一起,作为绝缘层。
Bonding Interface - The area where the bonding of two wafers occurs.
绑定面 - 两个晶圆片结合的接触区。
Buried Layer - A path of low resistance for a current moving in a device. Many of these dopants are antimony and arsenic.
掺杂 - 把搀杂剂掺入半导体,通常通过扩散或离子注入工艺实现。
Edge Chip and Indent - An edge imperfection that is greater than 0.25 mm.
芯片边缘和缩进 - 晶片中不完整的边缘部分超过0.25毫米。
Edge Exclusion Area - The area located between the fixed quality area and the periphery of a wafer. (This varies according to the dimensions of the wafer.)
硅行业英语专业术语
Acceptor - An element, such as boron, indium, and gallium used to create a free hole in a semiconductor. The acceptor atoms are required to have one less valence electron than the semiconductor.
耗尽层 - 晶圆片上的电场区域,此区域排除载流子。
Dimple - A concave depression found on the surface of a wafer that is visible to the eye under the correct lighting conditions.
Base Silicon Layer - The silicon wafer that is located underneath the ins*不良词语*ator layer, which supports the silicon film on top of the wafer.
底部硅层 - 在绝缘层下部的晶圆片,是顶部硅层的基础。
裂纹 - 长度大于0.25毫米的晶圆片表面微痕。
Crater - Visible under diffused illumination, a surface imperfection on a wafer that can be distinguished individually.
微坑 - 在扩散照明下可见的,晶圆片表面可区分的缺陷。
Anisotropic - A process of etching that has very little or no undercutting
各向异性 - 在蚀刻过程中,只做少量或不做侧向凹刻。
Area Contamination - Any foreign particles or material that are found on the surface of a wafer. This is viewed as discolored or smudged, and it is the res*不良词语*t of stains, fingerprints, water spots, etc.
椭圆方位角 - 测量入射面和主晶轴之间的角度。
Backside - The bottom surface of a silicon wafer. (Note: This term is not preferred; instead, use ‘back surface’.)
背面 - 晶圆片的底部表面。(注:不推荐该术语,建议使用“背部表面”)
搀杂剂 - 可以为传导过程提供电子或空穴的元素,此元素可以改变传导特性。晶圆片搀杂 剂可以在元素周期表的III 和 V族元素中发现。