扫描、透射电镜的基本原理及其应用

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扫描、透射电镜的基本原理及其应用

扫描、透射电镜的基本原理及其应用

扫描、透射电镜在材料科学中的应用摘要:在科学技术快速发展的今天,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界,电子显微镜的发明解决了这个问题。

电子显微镜可分为扫描电了显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类。

本文主要介绍扫描、透射电镜工作原理、结构特点及其发展,阐述了其在材料科学领域中的应用。

1扫描电镜的工作原理扫描电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。

通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。

电子束和固体样品表面作用时的物理现象:当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。

同时可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。

由电子枪发射的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成能谱仪可以获得且具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面作栅网式扫描。

聚焦电子束与试样相互作,产生二次电子发射(以及其它物理信号)。

二次电子信号被探测器收集转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,则可以得到反映试样表面形貌的二次电子像[1]。

2扫描电镜的构成主要包括以下几个部分:1.电子枪——产生和加速电子。

由灯丝系统和加速管两部分组成2.照明系统——聚集电子使之成为一定强度的电子束。

由两级聚光镜组合而成。

3.样品室——样品台,交换,倾斜和移动样品的装置。

4.成像系统——像的形成和放大。

由物镜、中间镜和投影镜组成的三级放大系统。

调节物镜电流可改变样品成像的离焦量。

调节中间镜电流可以改变整个系统的放大倍数。

5.观察室——观察像的空间,由荧光屏组成。

透射电镜的原理应用

透射电镜的原理应用

透射电镜的原理应用1. 介绍透射电镜是一种利用电磁波透射原理工作的仪器,主要用于观察和研究物质的微观结构。

它利用高能电子束通过样品,通过对电子束的散射和透射进行分析,来获得关于样品内部结构和成分的信息。

透射电镜广泛应用于材料科学、生物医学、纳米技术等领域,为科学研究和技术创新提供了强大的工具。

2. 透射电镜的原理透射电镜的原理基于电子的波粒二象性。

当高能电子束被加速至高速并通过样品时,电子会与样品中的原子发生相互作用。

根据电子与样品原子的相互作用方式,可以获得关于样品的不同信息。

透射电镜主要包括电子枪、准直系统、样品室、成像系统和探测器等部分。

电子枪产生高能电子束,并经准直系统聚焦到样品上。

样品室中的样品与电子束相互作用,电子束经过样品后分成散射电子和透射电子。

透射电子经过成像系统聚焦到探测器上,生成最终的透射电子图像。

3. 透射电镜的应用3.1 材料科学透射电镜在材料科学中扮演着重要角色。

通过透射电镜,可以观察材料的晶体结构、晶界、位错、相变等微观特征。

这些信息对于理解材料的性能、改进材料制备工艺至关重要。

透射电镜还可以用于研究纳米材料的结构和形貌,在纳米材料领域有着广泛的应用。

3.2 生物医学透射电镜在生物医学领域也有广泛的应用。

通过透射电镜,可以观察细胞、组织等生物样品的超微结构,如细胞核、线粒体、内质网等。

透射电镜对于研究细胞的生物过程、病态细胞的变化等具有重要意义,为疾病诊断和治疗提供了有力的支持。

3.3 纳米技术透射电镜在纳米技术领域的应用尤为突出。

由于透射电镜具有高分辨率和高灵敏度的特点,可以观察纳米尺度下的结构和形貌。

透射电镜可以用于研究纳米颗粒的形貌、尺寸、晶格结构等,对于纳米材料的设计、合成和性能研究起到关键作用。

透射电镜还可以用于研究纳米器件的制备和性能评估,为纳米技术的发展提供了重要支持。

4. 透射电镜的发展趋势随着科技的不断进步,透射电镜也在不断发展和改进。

未来的透射电镜将朝着更高的分辨率、更高的探测灵敏度、更快的成像速度等方向发展。

透射电镜的原理和应用

透射电镜的原理和应用

透射电镜的原理和应用透射电镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)是一种使用电子束来对物质进行成像和分析的先进仪器。

相对于光学显微镜,透射电镜的分辨率更高,可以观察到更小尺寸的物体和更细微的细节。

下文将详细介绍透射电镜的原理和应用。

一、原理透射电镜的工作原理基于电子的波粒二象性。

当高速电子束穿过薄样品时,电子与样品原子发生散射或透射,这些散射和透射电子可以通过其中一种方式被聚焦后投射到屏幕上形成影像。

透射电镜的主要组成部分包括电子源、电子透镜系统、样品台、检测器和成像系统。

2.电子透镜系统:透射电镜中使用的电子透镜系统包括凸透镜、凹透镜和电磁透镜等,用于聚焦和控制电子束的路径。

3.样品台:样品台用于固定和支持待观察的样品。

在样品台上放置薄到几十纳米的切片样品,以便电子束能够透过。

4.检测器:透射电镜中常用的检测器包括透射电子探测器(TED)、散射电子探测器(SED)和能量散射光谱仪(EDS)等。

TED用于接收透射电子并产生明亮的影像,SED用于检测和分析散射电子的信息,EDS用于分析样品中的元素组成。

5.成像系统:透射电镜的成像系统包括投影屏幕、摄像机和电子显微图像处理设备。

通过调整电子透镜系统,可以将电子束上的信息转换成实时图像并显示在投影屏幕上。

二、应用透射电镜在材料科学、生物科学、纳米科学等领域有广泛的应用。

以下是透射电镜的几个主要应用。

1.结构表征:透射电镜可以用于观察材料的结构和形貌。

它能够提供高分辨率的图像,揭示物质的晶体结构、晶体缺陷、晶界和相界等微观结构信息。

2.成分分析:透射电镜结合能量散射光谱仪(EDS)可以分析样品中元素的组成。

EDS通过测量样品上散射电子的能量,确定样品中元素的成分和含量。

3.纳米材料研究:透射电镜可以研究和制备纳米尺寸的材料。

通过观察和测量纳米材料的形貌、尺寸和结构,可以了解纳米材料的特性和性能,并指导纳米材料的设计和合成。

透射电镜的成像原理及应用

透射电镜的成像原理及应用

透射电镜的成像原理及应用1. 引言透射电镜是一种使用电子束来成像的仪器。

它的原理是利用电子束通过样品的透射来形成图像,并通过对电子束的探测和处理来获得样品的详细信息。

透射电镜在材料科学、生物学和物理学等领域中有广泛的应用。

2. 成像原理透射电镜的成像原理基于电子的波粒二象性,即电子既具备粒子特性又具备波动特性。

在透射电镜中,电子从电子枪中发射出来,经过加速和聚焦,形成一束射线。

这束射线通过样品后,与样品中原子和电子相互作用,发生散射和透射现象。

电子的散射会导致图像的模糊和失真,因此透射电镜通常使用薄样品来减小散射效应。

在样品的背面或透射电镜的显微镜中,放置有一个焦平面衍射器。

这个衍射器可以将透射电子的波动性转化为干涉和衍射现象,从而产生有关样品的结构信息。

这些信息通过探测器进行收集,然后通过图像处理算法生成成像结果。

3. 应用领域透射电镜在材料科学、生物学和物理学等领域有广泛的应用。

以下列举了一些常见的应用领域:3.1 材料科学透射电镜在材料科学中的应用主要用于研究材料的微观结构和性能。

通过透射电镜,可以观察和分析材料中的晶体结构、晶界、缺陷和纳米结构等。

这些信息对于材料的设计、开发和性能优化非常重要。

3.2 生物学透射电镜在生物学中的应用主要用于研究生物样品的内部结构和功能。

通过透射电镜,可以观察和分析细胞器、蛋白质和核酸等生物分子的结构。

透射电镜还可以用于研究病原体、病毒和细菌等微生物的形态和生命周期。

3.3 物理学透射电镜在物理学领域中的应用涵盖了多个子领域。

在凝聚态物理学中,透射电镜可用于研究材料的电子结构、能带和费米面等特性。

在量子力学领域,透射电镜可用于研究电子的量子行为,如量子隧穿、波函数干涉和波粒二象性等。

3.4 其他领域透射电镜还在化学、地球科学和纳米技术等领域中有应用。

在化学中,透射电镜可用于研究化学反应的过程和产物。

在地球科学中,透射电镜可用于分析地质样品的矿物组成和结构。

扫描电镜的基本原理及应用

扫描电镜的基本原理及应用

扫描电镜的基本原理及应用1. 简介扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种利用高能电子束进行样本表面成像的仪器。

与传统的透射电子显微镜不同,扫描电子显微镜通过扫描样本表面并测量反射电子的信号来生成图像,因此可以观察到样本表面的形貌、结构和组成。

2. 基本原理扫描电子显微镜的基本原理是利用电子的波粒二象性和电磁透镜的作用,将电子束聚焦到极小的尺寸并扫描样本表面。

主要包括以下几个步骤:2.1 电子源扫描电子显微镜的核心部件是电子枪,它通过发射电子来产生电子束。

电子源通常采用热阴极、场致发射或冷阴极等不同技术,以产生高能、高亮度的电子束。

2.2 电子聚焦电子束经过电子透镜的作用,可以实现对电子束的聚焦。

电子透镜通常由磁场或电场构成,可以调节电子束的聚焦度和放大倍数。

通过调节电子透镜的参数,可以得到所需的电子束直径和形状。

2.3 样本扫描电子束通过扫描线圈进行扫描,并在扫描过程中与样本表面发生相互作用。

扫描线圈可以控制电子束的位置和方向,将电子束在样本表面上进行扫描。

在扫描过程中,电子束与样本表面发生的相互作用产生不同的信号。

2.4 信号检测与处理样本表面与电子束相互作用时,会产生不同的信号。

扫描电子显微镜通常会检测并测量这些信号,用于生成图像。

常用的信号检测方式包括:反射电子检测、二次电子检测、原子力显微镜等。

3. 应用领域扫描电子显微镜在科学研究、工业生产和材料表征等领域有广泛的应用。

以下是扫描电子显微镜的一些常见应用:3.1 材料科学扫描电子显微镜可以观察材料的表面形貌和结构,对材料的微观结构进行分析。

在材料科学研究中,扫描电子显微镜常常用于研究材料的晶体结构、晶界、纳米颗粒和材料表面的纳米结构等。

3.2 生物学扫描电子显微镜在生物学研究中有广泛的应用。

它可以观察生物样本的细胞结构、细胞器和细胞表面的微观结构,对生物样本的形态和结构进行研究。

扫描电子显微镜也被用于病毒、细菌和其他微生物的观察和研究。

透射电镜的原理及应用摘要

透射电镜的原理及应用摘要

透射电镜的原理及应用摘要一、透射电镜的原理透射电镜是一种重要的电子显微镜技术,它能够利用电子束的透射性质来观察材料的微观结构和原子级别的细节。

透射电镜的工作原理基于电子的波粒二象性,其光学系统类似于光学显微镜。

透射电镜主要由电子源、准直系统、投射系统和探测系统等几个主要部分组成。

在透射电镜中,电子源产生的电子束通过准直系统准直后,进入投射系统。

投射系统中的透镜通过对电子束的聚焦和投射,使其经过待观察的样品。

样品会对电子束进行散射和吸收,形成投射电子束的衍射图样。

这些衍射图样经过探测系统的收集和处理后,可以得到材料的结构和成分信息。

二、透射电镜的应用1. 材料科学研究透射电镜在材料科学研究中发挥着重要作用。

通过透射电镜可以观察到材料的晶体结构、晶界、原子排列等微观细节。

借助透射电镜的高分辨率和高灵敏度,科学家们可以研究材料的相变行为、晶体生长机制、缺陷结构等,从而深入了解材料的性质和性能,并为材料的合成和改性提供科学依据。

2. 纳米技术研究透射电镜在纳米技术研究中也有广泛应用。

纳米材料具有独特的物理和化学性质,常常表现出与大尺度材料截然不同的行为。

透射电镜可以观察到纳米尺度下的材料结构和表面形态,可以直接了解纳米材料的大小、形状、分布和相界面等特征。

通过透射电镜的研究,可以揭示纳米尺度下的材料行为和性能,为纳米技术的应用提供重要支持。

3. 生物医学研究透射电镜在生物医学研究中也有广泛的应用。

生物组织和细胞结构复杂多变,透射电镜可以提供高分辨率的图像,帮助科学家们观察和研究生物样品的超微结构。

透射电镜可以用于观察生物细胞、细胞器和细胞核的内部结构,并进一步研究其功能和机制。

这些研究对于理解生物学过程、疾病诊断和治疗等具有重要意义。

三、总结透射电镜是一种强大的科学工具,它通过对电子束的透射和探测,帮助科学家们观察和研究材料的微观结构和原子级别的细节。

透射电镜在材料科学、纳米技术和生物医学等领域有着广泛的应用,为相关领域的研究和应用提供了强有力的支持。

透射电镜和扫描电镜的区别

透射电镜和扫描电镜的区别

透射电镜和扫描电镜的区别扫描电镜和透射电镜的区别在于。

1、结构差异:主要体现在样品在电子束光路中的位置不同。

透射电镜的样品在电子束中间,电子源在样品上方发射电子,经过聚光镜,然后穿透样品后,有后续的电磁透镜继续放大电子光束,最后投影在荧光屏幕上;扫描电镜的样品在电子束末端,电子源在样品上方发射的电子束,经过几级电磁透镜缩小,到达样品。

当然后续的信号探测处理系统的结构也会不同,但从基本物理原理上讲没什么实质性差别。

相同之处:都是电真空设备,使用绝大部分部件原理相同,例如电子枪,磁透镜,各种控制原理,消象散,合轴等等。

2、基本工作原理:透射电镜:电子束在穿过样品时,会和样品中的原子发生散射,样品上某一点同时穿过的电子方向是不同,这样品上的这一点在物镜1-2倍焦距之间,这些电子通过过物镜放大后重新汇聚,形成该点一个放大的实像,这个和凸透镜成像原理相同。

这里边有个反差形成机制理论比较深就不讲,但可以这么想象,如果样品内部是绝对均匀的物质,没有晶界,没有原子晶格结构,那么放大的图像也不会有任何反差,事实上这种物质不存在,所以才会有这种牛逼仪器存在的理由。

经过物镜放大的像进一步经过几级中间磁透镜的放大(具体需要几级基本上是由电子束亮度决定的,如果亮度无限大,最终由阿贝瑞利的光学仪器分辨率公式决定),最后投影在荧光屏上成像。

由于透射电镜物镜焦距很短,也因此具有很小的像差系数,所以透射电镜具有非常高的空间分辨率,0.1-0.2nm,但景深比较小,对样品表面形貌不敏感,主要观察样品内部结构。

扫描电镜:电子束到达样品,激发样品中的二次电子,二次电子被探测器接收,通过信号处理并调制显示器上一个像素发光,由于电子束斑直径是纳米级别,而显示器的像素是100微米以上,这个100微米以上像素所发出的光,就代表样品上被电子束激发的区域所发出的光。

实现样品上这个物点的放大。

如果让电子束在样品的一定区域做光栅扫描,并且从几何排列上一一对应调制显示器的像素的亮度,便实现这个样品区域的放大成像。

扫描电镜和透射电镜的原理

扫描电镜和透射电镜的原理

扫描电镜和透射电镜的原理1. 简介嘿,朋友们!今天咱们聊聊两种神奇的显微镜:扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)。

这两位显微镜界的大咖就像两位超级英雄,各有各的绝技,帮助科学家们揭开微观世界的神秘面纱。

听起来是不是很酷?嘿嘿,别着急,慢慢来,咱们先来个大概念的扫盲。

2. 扫描电镜(SEM)2.1 工作原理好,先说说扫描电镜吧。

这家伙的工作原理就像在玩“扫雷”游戏。

你知道的,它用的是一束高能电子,咔咔咔地“扫”过样品表面。

当这束电子击中样品时,样品会发出二次电子、背散射电子等信号。

接着,扫描电镜就像一位认真负责的侦探,通过这些信号来重建样品的表面图像。

是不是感觉它特别像个“高科技侦探”?2.2 图像特点而且,扫描电镜的图像可不是随随便便的,它可以让我们看到样品表面的微观细节,像个“放大镜”一样。

想象一下,细菌、细胞、纳米材料,这些平时肉眼根本看不见的东西,在它面前都变得清晰可见,简直是微观界的“明星”!更有趣的是,它还可以提供三维图像,给人一种身临其境的感觉。

哇,真是太神奇了!3. 透射电镜(TEM)3.1 工作原理说完扫描电镜,咱们来看看透射电镜。

这位“超级英雄”可是更为强大。

透射电镜的工作原理就像是在观察电影放映一样。

它把电子束打进样品,样品像幕布一样,电子在穿透过程中被样品的内部结构散射。

透过样品后的电子,再被收集起来,形成高分辨率的图像,简直就像在揭开层层面纱,让我们看到样品的“真面目”!3.2 应用领域透射电镜的分辨率非常高,可以达到原子级别的观察,真是让人叹为观止。

用它可以研究材料的微观结构,分析晶体缺陷,甚至观察生物样品的超微结构。

你能想象吗?在透射电镜下,一根头发的内部结构都能看得一清二楚,真是细致入微,简直让人不敢相信自己的眼睛!4. 比较与总结4.1 优缺点现在,咱们来聊聊这两位英雄的优缺点。

扫描电镜虽然不能像透射电镜那样观察到内部结构,但它在样品制备上要简单得多,很多时候只需把样品直接放进来就好。

扫描电镜SEM&透射电镜TEM简介

扫描电镜SEM&透射电镜TEM简介

扫描电镜SEM&透射电镜TEM简介1. 光学显微镜以可见光为介质,电子显微镜以电子束为介质,由于电子束波长远较可见光小,故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。

光学显微镜放大倍率最高只有约1500倍,扫描式显微镜可放大到10000倍以上。

2. 根据de Broglie波动理论,电子的波长仅与加速电压有关:λe=h / mv= h / (2qmV)1/2=12.2 / (V)1/2 (Å)在 10 KV 的加速电压之下,电子的波长仅为0.12Å,远低于可见光的4000 - 7000Å,所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜优越许多,但是扫描式电子显微镜的电子束直径大多在50-100Å之间,电子与原子核的弹性散射 (Elastic Scattering) 与非弹性散射(Inelastic Scattering) 的反应体积又会比原有的电子束直径增大,因此一般穿透式电子显微镜的分辨率比扫描式电子显微镜高。

3. 扫描式显微镜有一重要特色是具有超大的景深(depth of field),约为光学显微镜的300倍,使得扫描式显微镜比光学显微镜更适合观察表面起伏程度较大的样品。

4. 扫描式电子显微镜,其系统设计由上而下,由电子枪 (Electron Gun) 发射电子束,经过一组磁透镜聚焦 (Condenser Lens) 聚焦后,用遮蔽孔径 (Condenser Aperture) 选择电子束的尺寸(Beam Size)后,通过一组控制电子束的扫描线圈,再透过物镜 (Objective Lens) 聚焦,打在样品上,在样品的上侧装有讯号接收器,用以择取二次电子 (Secondary Electron) 或背向散射电子 (Backscattered Electron) 成像。

5. 电子枪的必要特性是亮度要高、电子能量散布 (Energy Spread) 要小,目前常用的种类计有三种,钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射 (Field Emission),不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。

透射电镜的成像原理

透射电镜的成像原理

透射电镜的成像原理
透射电镜(TransmissionElectronMicroscopy,TEM)是利用电磁理论设计出来的一种新型电镜,它主要用来观察生物大分子的结构,通过电子束的照射使样品表面产生各种变化,从而反映出样品表面的形貌、尺寸、元素组成等信息。

TEM还可用于观察原子和分子水平的物理和化学现象。

下面简单介绍一下TEM成像原理。

一、电子束扫描
电子束是一种很强的电磁波,当它照射到样品上时,一部分能量被反射回来,一部分能量被发射出去,在样品表面产生散射光。

散射光穿过样品后被收集起来。

通过对收集到的散射光进行测量,就可以得到样品表面的散射光强度、波长等信息。

二、成像原理
TEM的基本工作原理是:在电子束的作用下,样品表面产生周期性的振动和反弹,引起电子-声子耦合并产生电磁波,从而使样品表面产生一系列不同波长、不同振幅和不同相位的电子波,这些波通过聚焦系统聚焦到物镜的中心并通过透镜汇聚到焦点。

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扫描电镜和透射电镜的区别

扫描电镜和透射电镜的区别

扫描电镜和透射电镜的区别发布者:飞纳电镜电子显微镜已经成为表征各种材料的有力工具。

它的多功能性和极高的空间分辨率使其成为许多应用中非常有价值的工具。

其中,两种主要的电子显微镜是透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)。

在这篇博客中,将简要描述他们的相似点和不同点。

扫描电镜和透射电镜的工作原理从相似点开始,这两种设备都使用电子来获取样品的图像。

他们的主要组成部分是相同的;∙电子源;∙电磁和静电透镜控制电子束的形状和轨迹;∙光阑。

所有这些组件都存在于高真空中。

现在转向这两种设备的差异性。

扫描电镜(SEM)使用一组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子(详细了解SEM中检测到的不同类型的电子)。

而透射电镜(TEM)是使用透射电子,收集透过样品的电子。

因此,透射电镜(TEM)提供了样品的内部结构,如晶体结构,形态和应力状态信息,而扫描电镜(SEM)则提供了样品表面及其组成的信息。

而且,这两种设备最明显的差别之一是它们可以达到的最佳空间分辨率;扫描电镜(SEM)的分辨率被限制在〜0.5nm,而随着最近在球差校正透射电镜(TEM)中的发展,已经报道了其空间分辨率甚至小于50pm。

哪种电子显微镜技术最适合操作员进行分析?这完全取决于操作员想要执行的分析类型。

例如,如果操作员想获取样品的表面信息,如粗糙度或污染物检测,则应选择扫描电镜(SEM)。

另一方面,如果操作员想知道样品的晶体结构是什么,或者想寻找可能存在的结构缺陷或杂质,那么使用透射电镜(TEM)是唯一的方法。

扫描电镜(SEM)提供样品表面的3D图像,而透射电镜(TEM)图像是样品的2D投影,这在某些情况下使操作员对结果的解释更加困难。

由于透射电子的要求,透射电镜(TEM)的样品必须非常薄,通常低于150nm,并且在需要高分辨率成像的情况下,甚至需要低于30nm,而对于扫描电镜(SEM)成像,没有这样的特定要求。

这揭示了这两种设备之间的另一个主要差别:样品制备。

扫描电镜的原理与应用

扫描电镜的原理与应用

扫描电镜的原理与应用1. 扫描电镜的原理扫描电镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)是一种高分辨率、高放大倍数的显微镜,它利用电子束对样本进行扫描,通过收集样本产生的散射电子和二次电子来生成图像。

其原理主要包括以下几个步骤:1.电子发射:在扫描电子显微镜中,首先需要产生高能的电子束。

这通常通过热力发射或场致发射来实现。

对于热力发射,根据石鹢-德拜方程,利用电子枪通过加热金属丝或陶瓷发射体,使其发射出的电子能够获得足够的能量进入到显微镜的系统中。

2.电子透镜系统:扫描电子显微镜中的电子束需要通过一系列的电子透镜系统进行聚焦。

这些电子透镜包括磁透镜、电透镜和取向透镜等。

通过精确控制这些电子透镜,可以获得较小的电子束尺寸和良好的分辨率。

3.样本交互:样本位于电子束进入样品室的位置。

当电子束与样品相互作用时,会产生多种相互作用,包括透射、反射、散射等。

通过控制电子束的扫描方式,可以对不同相互作用的电子进行收集和分析。

4.信号检测和图像生成:通过探测电子束与样品相互作用产生的信号,可以获取样品表面上的丰富细节信息。

最常用的信号检测方法包括二次电子检测和散射电子检测。

通过收集这些信号,并进行信号处理和图像生成,可以获得样品的高分辨率图像。

2. 扫描电镜的应用扫描电镜在各个领域中都有广泛的应用,其高分辨率和高放大倍数的特点使其成为了研究和观察微观结构的重要工具。

以下列举了几个扫描电镜应用的领域:2.1 材料科学•纳米材料研究和观察:扫描电镜可以对纳米材料进行表面和内部结构的观察,有助于研究纳米材料的物理性质和化学反应过程。

•材料表面形貌观察:扫描电镜可以观察材料表面的形貌特征,如晶体结构、表面缺陷、孔洞分布等,有助于研究材料的结构与性能。

2.2 生物科学•细胞观察:扫描电镜可以观察细胞的形态和结构,包括细胞壁、细胞膜、细胞核、细胞器等,有助于研究细胞的功能和生理过程。

•组织结构研究:扫描电镜可以观察组织的微观结构,有助于研究组织的生物学特性和病理学变化。

扫描电镜和透射电镜在聚合物研究中的应用培训讲学

扫描电镜和透射电镜在聚合物研究中的应用培训讲学

扫描电镜和透射电镜在聚合物研究中的应用培训讲学扫描电镜(Scanning Electron Microscope, SEM)和透射电镜(Transmission Electron Microscope, TEM)是现代材料科学研究中非常重要的工具。

它们能够以高分辨率观察材料的微观结构,为聚合物研究提供了有力的支持。

下面将具体介绍SEM和TEM在聚合物研究中的应用。

首先,SEM和TEM可以用于观察聚合物的形貌结构。

聚合物作为一种高分子化合物,其分子间结构往往较为复杂,而SEM和TEM能够以高分辨率观察聚合物材料的微观形貌。

通过SEM和TEM的观察,可以得知聚合物的表面形貌、形态分布和尺寸大小等信息,为进一步的聚合物研究和应用提供基础数据。

其次,SEM和TEM可以用于研究聚合物的晶体结构。

聚合物晶体结构对其性能具有重要影响。

SEM和TEM可以通过电子衍射技术来研究聚合物的晶体结构。

电子衍射技术是通过向材料中投射高速电子束,探测反射、散射或练习的电子,得到关于材料晶体结构的信息。

通过SEM和TEM的电子衍射技术,可以确定聚合物的晶体形态、晶胞参数和晶体取向等信息,从而深入了解聚合物的结晶行为和晶态性能。

此外,SEM和TEM还可以用于研究聚合物的界面结构。

聚合物在实际应用中往往与其他材料或界面发生作用,而SEM和TEM能够观察材料的界面结构以及界面特性。

通过SEM和TEM的观察,可以了解聚合物与其他材料的接触情况、界面的结合方式和界面发生的化学反应等信息,为聚合物在不同界面条件下的应用提供基础数据。

此外,SEM和TEM还可以用于研究聚合物的纳米结构。

纳米级聚合物材料具有特殊的结构和性能,而SEM和TEM能够以高分辨率观察材料的纳米结构。

通过SEM和TEM的观察,可以得知聚合物的纳米级结构、形态分布和尺寸大小等信息,为纳米级聚合物材料的制备和应用提供基础数据。

综上所述,SEM和TEM在聚合物研究中的应用非常广泛,可以用于观察材料的形貌结构、研究晶体结构、分析界面结构和研究纳米结构等方面。

扫描电镜

扫描电镜

扫描电镜扫描电镜是一种现代科学研究中常用的一种工具,它能够以极高的分辨率和放大倍数观察样品中的微观结构,对于材料科学、生物学、药物研发等领域都具有重要的意义。

下面本文将介绍扫描电镜的基本原理、工作方式以及其应用领域。

扫描电镜是一种利用电子束代替光线的显微镜,它的基本原理是利用电子的波粒二象性,通过控制电子束的聚焦和偏转,对样品进行扫描式的观察。

相比传统光学显微镜,扫描电镜可以提供更高的放大倍数和更高的分辨率,能够观察到更细微的细节结构。

扫描电镜的工作方式是将电子束从电子枪中发射出来,经过放大和聚焦后,通过磁场的控制进行偏转,最后聚焦到样品的表面。

在样品表面,电子束与样品之间会发生相互作用,产生一系列的信号,包括二次电子、反射电子、散射电子等。

这些信号经过收集和放大后,通过探头传感器转化为电信号,并经过计算机处理后得到图像。

扫描电镜有许多不同类型,其中常见的是场发射扫描电镜(FE-SEM)和透射电镜(TEM)。

场发射扫描电镜主要用于观察样品表面的形貌和结构,其分辨率可以达到纳米级别。

透射电镜则主要用于观察样品内部的结构,能够提供更高的分辨率,可以观察到原子水平的细节。

扫描电镜在许多领域都有广泛的应用。

在材料科学中,扫描电镜可以观察材料表面的微观结构和晶体形貌,帮助研究人员了解材料的性质和特性。

在生物学中,扫描电镜可以观察细胞的形态和结构,研究细胞的功能和组织的构成。

在药物研发中,扫描电镜可以观察药物微粒的形状和尺寸,帮助优化药物的制备工艺和提高药效。

除了以上应用领域,扫描电镜还广泛应用于材料质量控制、环境监测、纳米科学等领域。

随着技术的不断进步,扫描电镜的分辨率和性能也在不断提高,为科学研究提供了更强有力的工具。

总之,扫描电镜作为一种重要的科学研究工具,具有极高的分辨率和放大倍数,可以观察到微观结构的细节,帮助研究人员深入了解材料和生物体的特性和结构。

它在材料科学、生物学、药物研发等领域发挥着重要作用,并有着广泛的应用前景。

透射电镜的结构原理与应用

透射电镜的结构原理与应用

透射电镜的结构原理与应用1. 介绍透射电镜是一种重要的科学仪器,广泛应用于物质结构表征、纳米级材料研究以及材料性能分析等领域。

本文将介绍透射电镜的基本结构原理和主要应用。

2. 结构原理透射电镜由以下几个主要组成部分构成:2.1 电子源透射电镜通过发射电子来照射样品,产生透射电子图像。

常用的电子源有热阴极电子枪和场发射电子枪。

2.2 透镜系统透镜系统用于聚焦电子束,使其尽可能细致地照射样品。

透镜系统由几个透镜组成,包括聚焦透镜和物镜透镜。

2.3 样品台样品台用于支撑和定位样品,通常由精细的机械组件构成,可以在不同角度下观察样品。

2.4 检测器检测器用于捕捉透射电子,并将其转化为图像或电子衍射图样。

常见的检测器包括二维探测器和散射探测器。

3. 应用领域3.1 材料科学透射电镜在材料科学领域中有着广泛的应用。

通过观察材料的微观结构,可以研究材料的晶体结构、晶格畸变以及材料的相变等。

同时,透射电镜还可以通过观察样品的元素分布和组分分析,来研究材料的化学成分。

3.2 纳米科学纳米科学是近年来快速发展的一个领域,透射电镜在纳米级材料研究中起到了重要的作用。

透射电镜可以观察纳米材料的尺寸、形貌以及内部结构。

通过控制纳米材料的合成和制备过程,可以实现对纳米结构的精确控制。

3.3 生物学在生物学领域,透射电镜被广泛应用于细胞学和分子生物学的研究。

透射电镜可以观察细胞的超微结构,如细胞核、质体和线粒体等。

通过观察生物样品的超微结构,可以深入了解生物体的功能和活动。

3.4 材料分析透射电镜还可以用于材料的结构和化学组成的分析。

通过透射电镜的高分辨率成像和电子衍射技术,可以对材料的微观结构进行定量分析。

同时,透射电镜还可以进行元素分析和晶体学分析等。

4. 总结透射电镜作为一种重要的科学仪器,在材料科学、纳米科学、生物学以及材料分析等领域发挥着重要作用。

通过了解透射电镜的结构原理和主要应用,可以更好地利用透射电镜进行科学研究和实验工作。

扫描电镜及透射电镜

扫描电镜及透射电镜

材料研究方法-电镜应用随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界。

细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题。

目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进人深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜[1-2]。

电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类。

1.扫描电镜扫描电镜用电子束在样品表面扫描,同时,阴极射线管内的电子束与样品表面的电子束同步扫描,将电子束在样品上激发的各种信号用探测器接收,并用它来调制显像管中扫描电子束的强度,在阴极射线管的屏幕上就得到了相应衬度的扫描电子显微像。

电子束在样品表面扫描,与样品发生各种不同的相互作用,产生不同信号,获得的相应的显微像的意义也不一样。

最主要的有以下几种。

1.1二次电子扫描电镜最基本,最有代表意义,也是分析检测用得最多的就是它的二次电子(SE)衬度像。

二次电子是样品中原子的核外电子在人射电子的激发下离开该原子而形成的,它的能量比较小(一般小于50ev),因而在样品中的平均自由程也小,只有在近表面(约十纳米量级),二次电子才能逸出表面被接收器接收并用于成像。

电子束与样品相互作用涉及的范围成“梨”形。

在近表面区域,人射电子与样品的相互作用才刚刚开始,束斑直径还来不及扩展,与原人射电子束直径比,变化还不大,相互作用发射二次电子的范围小,有利于得到比较高的分辨率。

目前,商品扫描电镜的分辨率已经达到一纳米。

加上扫描电镜的的景深大,因而可以获得高倍率的、立体感强的、直观的显微图像。

这是扫描电镜获得广泛应用的最主要原因。

射二次电子的范围小,有利于得到比较高的分辨率。

目前,商品扫描电镜的分辨率已经达到一纳米。

加上扫描电镜的的景深大,因而可以获得高倍率的、立体感强的、直观的显微图像。

这是扫描电镜获得广泛应用的最主要原因。

扫描电镜和透射电镜

扫描电镜和透射电镜

扫描电镜和透射电镜(scanning electron microscopy,SEM)扫描电子显微镜是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。

二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使用逐点成像的方法获得放大像。

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。

当一束高能的人射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。

同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动 (声子)、电子振荡 (等离子体)。

原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。

扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。

如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对x射线的采集,可得到物质化学成分的信息。

正因如此,根据不同需求,可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。

[编辑]结构扫描电子显微镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统。

以下提到扫描电子显微镜之处,均用SEM代替[编辑]真空系统真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。

真空柱是一个密封的柱形容器。

真空泵用来在真空柱内产生真空。

有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的SEM的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的SEM,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。

成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。

真空柱底端即为右图所示的密封室,用于放置样品。

之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。

电镜知识点

电镜知识点

电镜知识点电镜是一种具有高分辨率的显微镜,能够观察到微观尺度下的物质结构和特征。

它在科学研究、医学诊断和工业生产等领域起着重要作用。

本文将逐步介绍电镜的原理、类型和应用。

1.原理电镜利用电子束取代了光线束,以实现更高的分辨率。

电子束具有较短的波长,使得电镜能够观察到更小的物体和更细微的结构。

电子束通过透镜系统进行聚焦和放大,然后与物体相互作用,形成显微图像。

2.类型电镜主要分为两种类型:透射电镜和扫描电镜。

2.1 透射电镜透射电镜通过物体的透明部分传递电子束,形成投影图像。

它能够观察到物体的内部结构和成分。

透射电镜常用于研究生物样品、材料和纳米颗粒等。

2.2 扫描电镜扫描电镜通过扫描物体表面的电子反射,形成显微图像。

它能够观察到物体的表面形貌和微观结构。

扫描电镜常用于研究材料表面、昆虫结构和微电子器件等。

3.应用电镜在多个领域有广泛的应用。

3.1 生物科学电镜被广泛应用于生物科学领域,用于观察细胞结构、病毒、蛋白质和细菌等微生物。

它可以帮助科学家研究生物体的组织结构、功能和相互作用。

3.2 材料科学电镜在材料科学研究中发挥着重要作用。

它可以观察到材料的晶体结构、界面、缺陷和纳米颗粒等。

这对于改进材料的性能和开发新材料具有重要意义。

3.3 医学诊断电镜在医学诊断中也有应用。

它可以帮助医生观察和诊断病理标本中的细胞结构和病变情况,从而提供准确的诊断和治疗方案。

3.4 工业生产电镜在工业生产中被广泛使用。

它可以用于质量控制、产品检测和故障分析等方面。

通过观察材料的微观结构和表面形貌,可以提高产品质量和生产效率。

总结:电镜是一种重要的科学工具,能够观察到微观尺度下的物质结构和特征。

透射电镜和扫描电镜是常用的电镜类型。

电镜在生物科学、材料科学、医学诊断和工业生产等领域有广泛的应用。

通过电镜的使用,我们可以深入了解微观世界,推动科学研究和技术发展的进步。

透射电镜的工作原理和应用

透射电镜的工作原理和应用

透射电镜的工作原理和应用1. 介绍透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)是一种高分辨率的显微镜,可以用来观察和研究非常小的生物和物质的结构。

本文将介绍透射电镜的工作原理和应用。

2. 工作原理透射电镜的工作原理基于电子的波动性质和透射性质。

其基本组成包括电子源、减速器、透镜系统和检测器。

2.1 电子源透射电镜使用的电子源通常是热发射型阴极,通过加热阴极产生高能电子。

这些高能电子被发射到一个真空管中,形成电子束。

2.2 减速器电子束经过减速器会进一步调整电子能量,以适应样品的要求。

减速器可以利用磁场或电场控制电子束的速度和能量。

2.3 透镜系统透镜系统主要由磁透镜和电透镜组成,用于控制电子束的聚焦和定位。

透镜可以通过改变磁场或电场的强度来控制电子束的走向和聚焦效果。

2.4 检测器透射电镜的检测器通常是一个荧光屏,用于接收透过样品的电子束并转化为可见光。

这些可见光会被放大并转化为图像,可以被观察和记录。

3. 应用透射电镜在许多领域中有广泛的应用。

以下是一些常见的应用领域。

3.1 材料科学透射电镜可以用来研究各种材料的晶体结构和微观结构。

通过观察和分析材料的原子排列和组织结构,可以深入了解材料的力学性质、电子性质和热性质。

3.2 纳米技术透射电镜在纳米技术中起着重要作用。

它可以用来观察和研究纳米材料的结构、形貌和性质,帮助研究人员设计和制造更高效的纳米器件。

3.3 生物科学透射电镜在生物科学研究中也有广泛的应用。

它可以用来观察和研究生物样品的细胞结构、细胞器和分子组织,从而深入了解生物系统的功能和机制。

3.4 太空科学透射电镜在太空科学研究中发挥着重要作用。

它可以用来观察和研究来自外太空的微小颗粒、陨石和行星样品,帮助科学家了解太阳系的形成和演化过程。

3.5 医学研究透射电镜在医学研究中也有许多应用。

它可以用来观察和研究病毒、细菌和细胞的结构,从而增进对疾病的认识和治疗方法的研发。

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扫描、透射电镜在材料科学中的应用摘要:在科学技术快速发展的今天,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界,电子显微镜的发明解决了这个问题。

电子显微镜可分为扫描电了显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类。

本文主要介绍扫描、透射电镜工作原理、结构特点及其发展,阐述了其在材料科学领域中的应用。

1扫描电镜的工作原理扫描电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。

通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。

电子束和固体样品表面作用时的物理现象:当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。

同时可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。

由电子枪发射的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成能谱仪可以获得且具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面作栅网式扫描。

聚焦电子束与试样相互作,产生二次电子发射(以及其它物理信号)。

二次电子信号被探测器收集转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,则可以得到反映试样表面形貌的二次电子像[1]。

2扫描电镜的构成主要包括以下几个部分:1.电子枪——产生和加速电子。

由灯丝系统和加速管两部分组成2.照明系统——聚集电子使之成为一定强度的电子束。

由两级聚光镜组合而成。

3.样品室——样品台,交换,倾斜和移动样品的装置。

4.成像系统——像的形成和放大。

由物镜、中间镜和投影镜组成的三级放大系统。

调节物镜电流可改变样品成像的离焦量。

调节中间镜电流可以改变整个系统的放大倍数。

5.观察室——观察像的空间,由荧光屏组成。

6.照相室——记录像的地方。

7.除了上述的电子光学部分外,还有电气系统和真空系统。

提供电镜的各种电压、电流及完成控制功能。

3扫描电镜在材料科学中的应用[2]3.1铁电畴的观测压电陶瓷由于具有较大的力电功能转换率及良好的性能可调控性等特点在多层陶瓷驱动器、微位移器、换能器以及机敏材料与器件等领域获得了广泛的应用。

随着现代技术的发展,铁电和压电陶瓷材料与器件正向小型化、集成化、多功能化、智能化、高性能和复合结构发展,并在新型陶瓷材料的开发和研究中发挥重要作用。

铁电畴(简称电畴)是其物理基础,电畴的结构及畴变规律直接决定了铁电体物理性质和应用方向。

电子显微术是观测电畴的主要方法,其优点在于分辨率高,可直接观察电畴和畴壁的显微结构及相变的动态原位观察(电畴壁的迁移)。

扫描电子显微镜观测电畴是通过对样品表面预先进行化学腐蚀来实现的,由于不同极性的畴被腐蚀的程度不一样,利用腐蚀剂可在铁电体表面形成凹凸不平的区域从而可在显微镜中进行观察。

因此,可以将样品表面预先进行化学腐蚀后,利用扫描电子显微镜图像中的黑白衬度来判断不同取向的电畴结构。

对不同的铁电晶体选择合适的腐蚀剂种类、浓度、腐蚀时间和温度都能显示良好的畴图样。

扫描电子显微镜与其他设备的组合以实现多种分析功能。

3.2材料的组织形貌观察材料剖面的特征、零件内部的结构及损伤的形貌,都可以借助扫描电镜来判断,分析反射式的光学显微镜直接观察大块试样很方便,但其分辨率、放大倍数和景深都比较低而扫描电子显微镜的样品制备简单,可以实现试样从低倍到高倍的定位分析,在样品室中的试样不仅可以沿三维空间移动,还能够根据观察需要进行空间转动,以利于使用者对感兴趣的部位进行连续、系统的观察分析;扫描电子显微图像因真实、清晰,并富有立体感,在金属断口和显微组织三维形态的观察研究方面获得了广泛地应用。

3.3镀层表面形貌分析和深度检测有时为利于机械加工,在工序之间也进行镀膜处理由于镀膜的表面形貌和深度对使用性能具有重要影响,所以常常被作为研究的技术指标镀膜的深度很薄,由于光学显微镜放大倍数的局限性,使用金相方法检测镀膜的深度和镀层与母材的结合情况比较困难,而扫描电镜却可以很容易完成使用扫描电镜观察分析镀层表面形貌是方便、易行的最有效的方法,样品无需制备,只需直接放入样品室内即可放大观察[3]。

3.4显微组织及超微尺寸材料的研究钢铁材料中诸如回火托氏体、下贝氏体等显微组织非常细密,用光学显微镜难以观察组织的细节和特征在进行材料、工艺试验时,如果出现这类组织,可以将制备好的金相试样深腐蚀后,在扫描电镜中鉴别下贝氏体与高碳马氏体组织在光学显微镜下的形态均呈针状,且前者的性能优于后者。

但由于光学显微镜的分辨率较低,无法显示其组织细节,故不能区分电子显微镜却可以通过对针状组织细节的观察实现对这种相似组织的鉴别在电子显微镜下(SEM),可清楚地观察到针叶下贝氏体是有铁素体和其内呈方向分布的碳化物组成。

3.5定向合金分偏析的研究镍基高温合金是燃气轮发动机的重要材料。

其熔点高,抗蚀性好,并能融入一些其他元素以提高合金的各种性能,因而获得广泛使用。

近年来铸造新工艺,特别是定向凝固技术的发展,使定向凝固部件代替了变形部件,但是镍基合金成分复杂。

定向合金DZ-22含10种元素,每种元素在合金中都有其独特的作用,他的分布明显影响到合金的结构性能。

全面了解元素在合金各部分的分布规律是很重要的。

然而在铸造合金本身偏析较大,用其他方法测定微观偏析相当困难。

国内董玉琢等人利用JXA-733探针对DX-22合金进行了元素偏析研究主要探讨了添加不同量的Hf后元素偏析的变化,以及同一板材不同距冷却板不同距离的影响。

北京钢铁学院任允蓉在透射电镜上用x射线能谱仪研究了微量元素在晶界上的偏析。

采用沿晶界拉长束斑及分段积分法以及减少污染,提高分析精度,获得了较好的效果[4]。

4透射电镜的工作原理电子显微镜与光学显微镜的成像原理基本一样,所不同的是前者用电子束作光源,用电磁场作透镜。

另外,由于电子束的穿透力很弱,因此用于透射电镜的标本须制成厚度约50nm左右的超薄切片。

这种切片需要用超薄切片机(ultramicrotome)制作。

电子显微镜的放大倍数最高可达近百万倍、由照明系统、成像系统、真空系统、记录系统、电源系统5部分构成,如果细分的话:主体部分是电子透镜和显像记录系统,由置于真空中的电子枪、聚光镜、物样室、物镜、衍射镜、中间镜、投影镜、荧光屏和照相机。

透射电子显微镜(Transmission electron microscope,缩写TEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。

散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像将在放大、聚焦后在成像器件(如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件)上显示出来。

由于电子的德布罗意波长非常短,透射电子显微镜的分辨率比光学显微镜高的很多,可以达到0.1~0.2nm,放大倍数为几万~百万倍。

因此,使用透射电子显微镜可以用于观察样品的精细结构,甚至可以用于观察仅仅一列原子的结构,比光学显微镜所能够观察到的最小的结构小数万倍。

TEM在中和物理学和生物学相关的许多科学领域都是重要的分析方法,如癌症研究、病毒学、材料科学、以及纳米技术、半导体研究等等。

在放大倍数较低的时候,TEM成像的对比度主要是由于材料不同的厚度和成分造成对电子的吸收不同而造成的。

而当放大率倍数较高的时候,复杂的波动作用会造成成像的亮度的不同,因此需要专业知识来对所得到的像进行分析。

通过使用TEM不同的模式,可以通过物质的化学特性、晶体方向、电子结构、样品造成的电子相移以及通常的对电子吸收对样品成像透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况[5]:•吸收像:当电子射到质量、密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用。

样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。

早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。

•衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射波的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。

•相位像:当样品薄至100Å以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化5透射电镜的构成TEM系统由以下几部分组成•电子枪:发射电子,由阴极、栅极、阳极组成。

阴极管发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束,经阳极电压加速后射向聚光镜,起到对电子束加速、加压的作用。

•聚光镜:将电子束聚集,可用已控制照明强度和孔径角。

•样品室:放置待观察的样品,并装有倾转台,用以改变试样的角度,还有装配加热、冷却等设备。

•物镜:为放大率很高的短距透镜,作用是放大电子像。

物镜是决定透射电子显微镜分辨能力和成像质量的关键。

•中间镜:为可变倍的弱透镜,作用是对电子像进行二次放大。

通过调节中间镜的电流,可选择物体的像或电子衍射图来进行放大。

•透射镜:为高倍的强透镜,用来放大中间像后在荧光屏上成像。

•此外还有二级真空泵来对样品室抽真空、照相装置用以记录影像[6]6透射电镜在材料科学中的应用6.1 7055铝合金EDS分析铝合金在加工和热处理过程中,微观组织会发生一系列变化,但是有时候却很难分辨其微观组织的成分,从而很难辨别微观组织与性能之间微妙的关系。

此时我们可以借助能谱微区分析。

在时效120℃/24h状态下,利用EDS分析晶粒内部基体上微区成分。

在时效120℃/24h状态下,其基体主要化学成分为Al,Zn和Cu元素。

在时效120℃/24h状态下,利用EDS分析晶界处微区成分。

在时效120℃/24h状态下,其晶界区域主要化学成分为Al,Zn和Cu元素。

但是由对比可发现,Cu和Zn的含量在晶界处比基体高一些,从而推断出晶界处的析出相中所含Cu和Zn元素比基体上高一些。

7055铝合金是典型的热处理可强化高强铝合金,它有很高的强度和优良的力学性能。

热处理过程中,在470℃/1h固溶时晶界变细,基体形成过饱和固溶体;120℃/1h时效时基体内有球状的GP区形成;时效120℃/24h,基体内部分GP区逐渐转变为棒状η′相。

7小结在材料学领域迅速发展的今天,电子显微镜为其研究插上了飞速发展的翅膀。

在电子显微镜发展的同时,一些提高电镜的分析手段和分辨率的设备也得到了更进一步的发展,如像散器,高角度环形暗场技术,球差校正等。

虽然现在电子显微镜已经发展到了一定的高度,但是仍需要在动态技术、低真空、高电压、高分辨率以及原位场技术方向发展。

所以这给在电子显微学领域研究的科学家提出了更大的挑战,这些技术的成熟发展也需要很长一段路要走[7]。

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