万级无尘净化车间系统维护保养管理

万级净化车间系统维护保养管理

清洁要求

如何进入万级净化车间？

1、任何进入万级净化车间的人，必须先进入无尘更衣室，穿上无尘帽、无尘口罩、无尘衣、静电防尘手套、无尘裤、无尘靴（如图①所示）。经过这套外形很“酷”的防尘装备可将人们身上已有的灰尘隔离在万级净化车间之外，但这才是第一步。

2、接着就要进入风淋室。所谓风淋室是指一条“吹风的长廊”，不过在这条长廊中吹出来的强风是没有任何静电存在的离子风。这种离子风所具有的中和能力可以将人身上的正负电荷中和，而且依靠静电黏附在毛发、衣服上的灰尘也会自动脱落并粘在地板上的蓝色洗尘垫上（如图②所示）。

3、走过风淋室后，就进入万级净化车间了。如果万级净化车间生产的产品要防静电，则还要经过“静电桥”彻底地消除身上的静电。若进入百级洁净室还重复2、3步骤动作。

什么是无尘概念？

按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

如表1所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

万级净化车间安装内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。

万级净化车间安装内之生产制造设备注意之重点有三：

1.生产设备之选择、布置与保养：

a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。

b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。

c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。

d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。

e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在万级净化车间安装外面或回风区，并加装排气管线排气。

f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。

g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。

h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。

i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。

j.对于施工或维修之厂商，应告知进出万级净化车间安装之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。

k.应有万级净化车间安装专用工具组，但不得带出万级净化车间安装外使用。

l.规划空间时若能临近万级净化车间安装设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。

2.生产设备之防尘措施：

a.磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。

b.易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。

c.在操作时，尽量减少接触零件或产品。

d.不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。

e.各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。

f.为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。

3.自动化与无尘化：

a.设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。

b.建立管制项目如进入万级净化车间安装人员的资格限定，万级净化车间安装作业人员作业规则，万级净化车间安装管理规则等，这些规则已在前面章节叙述，此处不再说明。

在万级净化车间安装之维护管理方面，可分三部分加以说明：

1.建筑物之维护管理：

a.建筑物内定期检查清洁。

b.地板之清扫管理及损坏更新。

c.隔间墙及天花板检查清洁和封补。

d.窗户及门之保养等。

2.环境测定与管理：

万级净化车间安装内之运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测，以确实掌握质量，若有数据异常，可立即做紧急处理。

3.防尘空调设备之维护管理：

a.温、湿度及尘埃浓度管理，在前面以述及，唯其量测仪器应做定期校正检验，若有设备移动或施工时须做局部测量。

洁净室内禁止吃喝，禁止咀嚼口香糖或糖果。

不能把洁净服提来提去，人员不能触摸或翻动洁净服。否则手或者手套污染洁净服的危险会很大。即使搬动洁净服，也会使服装内收信到的粒子散播到周围的环境中。

要避免一切不必要的活动。增加身体的活动会增加体表散发的粒子。人员不必要的活动会使周围空气形成涡流。建议以慢动作进行生产活动。

人员卫生

高度洁净环境中工作人员卫生的重要性，是怎么强调也不为过的。可是有关人员卫生的各种规定与建议，并不是总能被很好的理解，尽管有些是非常基本的规则。与污染扩散最直接相关的是材料和部件的搬运等，因此，必须经常洗手。特别是咳嗽、打喷嚏、上厕所、吸烟（包括使用鼻烟）之后，以及休息后返回工作之前，都要洗手。手在接触受污染的材料和动物后，也应当彻底清洗。根据具体的洁净要求，在有些情况下，使用电话和计算机后也要洗手。这都是好的做法。

对药品生产质量管理规范相关人员的卫生要求，可总结如下：

每一个人员应对自己个人的清洁卫生负责。

b.过滤网之管理：定期检查及更换，表6为各种过滤网之检查及更换周期。

c.空气调节器管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况，冷热盘管是否有腐蚀现象。

d.送风机之管理：定期检查送风机运转状况。如表7所示为送风机之各项检查内容及周期。