AMC-低温探针台

AMC低温探针台

低温探针台根据测试环境需求完成设计，一般情况下需要根据用户的低温参数要求，以下为基本配置信息，请参考；

一、基本配置信息

1.探针台本体

* 4”、6“、8“真空吸附卡盘

* 消除水份及结霜真空卡盘

* 配置低温环境保护装置

* 滚珠螺杆驱动卡盘装置

* X,Y 行程：100mm(可根据需求选择其它范围)

* Z轴升降装置

* 手动卡盘360度调整

* 显微镜X,Y,Z平台移动行程25mm(可根据需求选择其它范围)

* -40℃至300℃的温度范围内，温度可控（可根据需求选择其它温度范围）

* 热传感器组件控制

* 独立真空管道适合不同晶圆卡盘的尺寸；

* 前端面板控制系统

* 10 liter 液氮瓶

2.DC 探针座 Probe Head(可选其它精度或高频应用探针座)

* 外型尺寸：70 x 50mm

* X,Y行程：12mm

* Z行程：8mm

* 精度：1um

* 仰角调节装置

* 吸附方式：磁开关吸附（真空吸附可选）

3.体式显微镜系统(可选其它倍率光学显微镜)

* Stereo type系列连续变倍体视显微镜

* Eyepiece (目镜) 20X ~ 2 pcs

* Zoom(变倍率) : 0.65X to 4.5X

* Total Mag（总倍率） :10X to 300X

* Working distance（工作距离） : 96mm

* 附加物镜: 0.5X, 1.5X, 2X

* 环型接口＋环形荧光灯8W

* 照相接口、CCD接口、数码相机接口

D 相机

* 配置 19" 监视器

* 包括图像采集卡等

5.探针夹具tip holder及电缆线

* Tube Holder/1.5m Triax cable/Triax male

6.探针 Probe Tip

* 5 um 探针

7.真空泵

8.屏蔽箱

9.防振桌

10.适配器

11.特殊转接头

* 用于探针杆与外部电测仪器连接使用，安装至屏蔽箱转接板上(Triax to Triax)

12.电学测试设备

二、探针座(Prober Head)选择，可选：直流、高频、微/大电流、高功率、高电压等…

说明：针对于探针台的选型，根据用户测试样品、测试环境、应用类别、产品级别以及操作方试可分为：

1)按测试样品分类，可分为：晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试、纳米器件测试，

2)按应用分类可分为：射频测试、高温环境测试、低温真空测试、低电流（fA 级）测试I-

v/c-v/p-iv测试、高压、大电流测试、特殊气体环境测试、磁场环境测试、辐射环境测试、双面点针测试探针台

3）按级别分类可分为：标准型、研究型、经济型、简配型

4）按操作方式可分为：手动型、半自动型、全自动型

因每个用户使用需求不同，可提供不同的配置，包括：光学显微镜、探针座、探针夹具、电缆线，探针，卡盘尺寸及卡盘功能的选择、平台行程、主体结构，真空或低温环境组件等配置；