SOPQC悬浮粒子监测操作规程

1目的

建立悬浮粒子监测操作规程，使其操作规范化、合理化。

2范围

适用于洁净区悬浮粒子监测操作。

3职责

QA、QC检验人员负责本规程的实施，质量控制部部长、质量保证部部长负责监督。

4内容

4.1测试方法

4.1.1测试用仪器：XX型激光尘埃粒子计数器。

4.1.2 仪器使用操作步骤：见《XXX型激光尘埃粒子计数器使用操作规程》。

4.2测试条件

被测试洁净室（区）温、湿度须达到规定的要求（无特殊要求时，温度控制在18~26℃，相对湿度控制在45~65%为宜），静压差、换气次数、空气流速必须控制在规定值内。

4.3测试状态

测试状态有静态和动态两种，静态是指洁净室（区）在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，生产工艺设备已安装，但洁净室（区）内没有生产人员的状态或洁净室（区）在生产操作全部结束后，生产操作人员撤离现场并经过自净后的状态；动态是指洁净室（区）已处于正常生产状态，设备在指定的方式下运行，并且有指定的人员按照规范操作的状态。

测试状态的选择必须符合生产的要求，并在报告中注明测试状态。测试人员必须穿戴符合环境洁净度级别的工作服。静态测试时，室内测试人员不得多于2人。

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4.4测试时间

对单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10分钟后开始。静态测试在操作人员撤离现场并经10分钟自净后开始；

对非单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30分钟后开始。静态测试在操作人员撤离现场并经20分钟自净后开始。

在动态测试时，须记录生产开始时间以及测试时间。

4.5悬浮粒子计数

4.5.1采样点数目及其布置

4.5.1.1最少采样点数目

按下述公式求出最少的采样点数目：

N

A

L

式中：N L ：—最少采样点数（四舍五入为整数）；

A：—洁净室或洁净区的面积，以㎡计。在单向流情况下，面积A可认为

是垂直于气流方向上的横切面积。在非单向流情况下，面积A指房

间面积。

4.5.1.2采样点位置及布置

4.5.1.2.1采样点位于工作活动的高度，一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。4.5.1.2.2各洁净级别采样点布置规则见附录1。

4.5.2采样次数：对于任何小的洁净室（区）或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。

4.5.3采样量

根据ISO14644-1规定最少采样量需同时满足以下两点规则：

(a)根据下面公式计算得到每个采样点最少采样量

式中，V S——每个采样点最少采样量，用升表示。

C n，m——为相关等级规定的最大被考虑粒径之等级限值（pc/m3空气）。

20 ——当粒子浓度处于该等级限值时，可被检测到的粒子数。

经计算得：A级：1000L

B级：静态690L，动态6.9L

C级：静态6.9L，动态0.69L

D级：静态0.69L

(b) 每个采样点的采样量至少为2升，采样时间最少为1分钟。

以采样流量为28.3L/min的Y09-310型尘埃粒子计数器采样举例，那么C级动态和D 级静态的采样量为28.3L。

4.5.4采样注意事项

4.5.4.1 在确认洁净室（区）压差达到要求后，开始进行采样。

4.5.4.2仪器自净：在测量之前及不同洁净级别的房间（采样点）之间测量时需连接自净

头对仪器进行自净。

4.5.4.3 使用测试仪器时应严格按照仪器说明书操作，采样管必须干净，严禁渗漏，采样

管的长度应根据仪器的允许长度，除另有规定外，长度不得大于1.5m。

4.5.4.4 采样时，对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流，采样管口宜向上。布置采样点时，应避开回风口，测试人员应在采样口的下风侧，并尽量减少活动。

4.5.4.5采样完毕后，需连接自净头对粒子计数器进行自净。

4.5.4.6 应采取一切措施防止采样过程的污染。

4.5结果判定

采样结束后，立即打印结果。仪器显示全部采样点的粒子浓度及平均值均值的95%置信上限UCL，要求每个采样点的平均悬浮粒子浓度及平均值均值的95%置信上限（UCL）均符合各洁净级别限度要求，各洁净级别限度要求见《洁净区（室）环境监测管理规程》（SMP-QC-04-030）。

5 参考文件及附录

5.1 附录1：洁净室（区）采样点布置

5.2 洁净区悬浮粒子测试记录（SOP-QC-XXX）

5.3 洁净区悬浮粒子测试报告（SOP-QC-XXX）

6 文件历史

版本号生效日期主要变更描述01 本文件为新订

附录1：

洁净室（区）采样点布置

1．洁净室（区）采样点布置力求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。下列采样点的图示可作参考。

注：·为采样点

图1平面采样点布置图

2．A级单向流区域，洁净工作台或局部空气净化设施的采样点布置：2.1 水平单向流

图2水平单向流气流形式

2.2 垂直单向流

图3垂直单向流气流形式

采样点一般在工作面上0.2m高度的平面上均匀布置。