涡轮分子泵抽气系统操作

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟

涡轮分子泵抽气系统操作

粗抽系统的配置随真空室的容积的大小而有所不同。对500 L/s 或更小的涡轮分子泵来说，可采用一台双级旋片泵；1000 L/s 以上的涡轮分子泵则采用以机械泵为前级泵的罗茨泵机组。在压力为100 到150 Pa 时关闭粗抽阀，把真空室切换到涡轮分子泵上。对某些泵，这样做会引起轻微而滞后的瞬时减

速，但这对抽气并无影响。正如扩散泵抽气系统那样，涡轮分子泵系统中的最

主要的物质是水蒸气，其抽气时间将受液氮冷阱抽速的支配。假如不用液氮冷阱，那么这个系统抽除水蒸气的速度就会比同样抽速的无冷阱扩散泵略慢一

些。在高真空抽气过程的起始阶段，泵的很大的未经烘烤的内表面会吸附水，

然后再在较低的压力下重新释放出来。这种效应在无阀门的系统中更为明显，

因为它可能比未暴露在压力高于150 Pa 的空气环境的有阀门的系统吸附更多的水蒸气。

系统停机时，先关闭高真空阀，假如有液氮冷阱的话，还要将冷阱加

热。在冷阱达到平衡温度后，关掉前级管道阀，再切断涡轮分子泵电动机的电

源使分子泵的转子减速。通常来说，到泵转子完全停止需要十分钟或更长的时间。在分子泵转子减速期间，来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的润滑

油蒸气会迅速地向泵的进气口上方区域扩散。为了防止机械泵油蒸气和涡轮分

子泵润滑油蒸气的返流，在切断涡轮分子泵电动机的电源后，要用一股干燥的

反向气流对分子泵进行放气。例如，应该在泵转子速度下降到最大转速的50％左右时，在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连续充入氩气或氮气，直到

泵内压力达到大气压。通过从阀门3（见无阀门系统在放气和停机时，首先关闭前级管道阀，等泵转速下降到最大转速的50％时再在泵的上方充入干燥气体。