涡轮分子泵运转时值得注意的几个问题-技术中心----自平衡多级泵
使用多级泵时的注意事项
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使用多级泵时的注意事项
1、检查多级泵管路及结合处有无松动现象。
2、向轴承体内加入轴承润滑机油,油位应在油标的中心线处,注意及时更换或补充。
3、拧下多级泵泵体的引水螺塞,灌注引水(或引浆)。
4、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。
5、点动电机,试看电机转向是否正确。
6、多级泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好。
7、多级泵在高效率点运转,获得最大的节能效果。
8、多级泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C。
9、如发现多级泵有异常声音应立即停车检查原因。
10、多级泵经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。
11、定期检查多级泵轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。
(1⒁多级泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。
防止冻裂。
12、开动电机,多级泵正常运转后,打开出口压力表和进口真空泵显示出适当压力后,逐渐打开闸阀,同时检查电机负荷情况。
水泵效率影响因素分析及改进---自平衡多级泵
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水泵效率影响因素分析及改进 水泵工作时有容积损失、机械损失和水力损失等。
一、容积损失: 包括通过大小口环的循环水流损失,填料函和平衡盘的泄漏损失,填料函和平衡盘的泄漏损失在规定的范围内是属于保证工作的正常损失。
大小口环的循环水流损失主要与大小口环的密封间隙的大小、长度以及泵的单级扬程有关。
一般情况下,密封间隙的长度及泵的单级扬程是基本不变的,因此大小口环的环流损失主要与大小口环的密封间隙的大小有关,大口环的密封间隙每增加0.2mm,效率降低4%左右;小口环的密封间隙每增加0.5mm,效率降低5%左右。
二、机械损失: 是指叶轮、平衡盘的外侧表面和水的摩擦、大小口环处的摩擦以及轴承和填料等处的损失,其中轮盘摩擦损失取决于比转数。
比转数较高时损失较小。
三、吸水口附近的水被转动的轴扰动,使进水的入口角发生变化而造成能量损失。
以上三项在水泵正常运行时基本上为常量。
四、水力损失: 水力损失将直接应影响泵的水力效率和特性,它包括摩擦损失、涡流和冲击损失。
一般情况下流量愈大的泵水力损失较小。
摩擦损失指流体在叶轮和其他过流部件中的沿程损失,它的大小约等于流量的平方。
涡流和冲击损失指流体在涡轮机全部流动过程中的转弯、扩大和收缩等造成的损失,单就叶轮来讲是指流体对叶片入口处的冲击和流量变化时叶轮内的涡流损失。
在额定流量时,叶轮中的这种损失几乎为零,当大于或小于额定流量时,这种损失开始出现并且与额定流量相差越多损失就越大,随流量的平方而增加。
这种冲击损失的分布是由于小于额定流量时,流体以大于叶轮安装角的角度冲击叶片,把流体挤到叶片工作面上并在背面上形成涡流区;当流量大于额定流量时,流体与叶片相遇时的角度小于叶片安装角,流体被压向叶片的背面,在工作面上形成密闭的涡流之故。
这种现象已被实验所证实。
水力损失主要是在叶轮和各通流部件中,以ns(比转数)=90的分段式多级泵中水力损失情况为例:在叶轮和其他通流部件中的损失,大约各占50%。
真空科学技术-涡轮分子泵
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真空科学技术-涡轮分子泵涡轮分子泵是一种常用于真空科学技术的设备,它利用涡轮旋转产生的离心力将气体抽出,从而实现高真空状态。
本文将介绍涡轮分子泵的工作原理、应用范围以及常见问题解答。
工作原理涡轮分子泵是由一个旋转的涡轮和静止的分子泵壳组成。
涡轮通过高速旋转,产生的离心力将气体从入口抽出,并将其压缩到更高的压力。
在涡轮旋转的同时,分子泵壳内的固体板上覆盖了一层分子,当气体分子进入分子泵壳时,会与分子板上的分子发生碰撞,进一步增加气体分子的能量,从而将其抽出。
通过不断重复这个过程,涡轮分子泵可以将气体抽出,实现高真空状态。
应用范围涡轮分子泵在真空科学技术中有着广泛的应用。
它主要用于以下领域:1. 实验室研究:涡轮分子泵可以提供高真空环境,用于各种实验室研究,如材料科学、物理学等领域的实验。
2. 真空设备制造:涡轮分子泵常用于制造真空设备中,如半导体加工设备、光学薄膜涂层设备等。
3. 真空工艺应用:涡轮分子泵可以用于各种真空工艺应用,如真空冷冻干燥、真空脱气等。
4. 清洁制造:涡轮分子泵在清洁制造领域有着广泛应用,如光学镀膜、医疗器械制造等。
常见问题解答涡轮分子泵的维护方法是什么?涡轮分子泵的维护方法包括:- 定期更换涡轮分子泵的油封和气密性密封件。
- 清洁涡轮分子泵壳内的分子板和滑动轴承。
- 确保涡轮分子泵的电源和冷却系统正常运行。
涡轮分子泵的工作原理是什么?涡轮分子泵利用涡轮的高速旋转产生的离心力将气体抽出,并通过不断碰撞气体分子来进一步增加气体分子的能量,从而将其抽出。
涡轮分子泵的优势是什么?涡轮分子泵具有以下优势:- 高真空:涡轮分子泵可以实现高真空状态,适用于高精度的实验和工艺应用。
- 快速抽气:涡轮分子泵具有快速抽气的特点,能够迅速将气体抽出。
- 无油污染:与其他真空泵相比,涡轮分子泵无需使用油封,避免了油污染的问题。
以上是关于涡轮分子泵的介绍,希望能对您有所帮助。
如有更多问题,请随时咨询。
涡轮分子泵使用注意事项
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涡轮分子泵使用注意事项涡轮分子泵是现代高科技制造中的一种高精度、高效率的真空泵,广泛应用于半导体、光电、化工、医药等领域。
但是,在使用涡轮分子泵的过程中,需要注意一些事项,以确保其正常运行和延长使用寿命。
1. 清洁和维护涡轮分子泵的运行需要高度洁净的环境,因此在使用前和使用后,应该对泵进行清洁和维护。
清洁时,应使用专业的清洗剂和工具,避免使用硬质刷子或金属工具,以免损坏泵的表面和部件。
维护时,应按照泵的说明书进行操作,检查泵的密封性、泵叶、轴承、电机等部件的磨损程度和工作情况,及时更换和维修。
2. 安装和调试涡轮分子泵的安装和调试需要专业技术人员进行,以确保其正确安装和正常运行。
在安装时,应根据泵的说明书进行操作,选择合适的安装位置和固定方式,并进行密封性测试。
在调试时,应根据泵的工作特性和使用要求,进行参数设置和调整,以达到最佳工作状态。
3. 保护和维护电源涡轮分子泵的电源需要稳定、可靠,应保证电源电压、电流和频率的稳定性和正常运行。
在使用时应注意防雷、防潮、防过流等措施,避免电源故障和电机损坏。
在长期不使用时,应断开电源,以免电子元件老化和损坏。
4. 注意使用环境涡轮分子泵的使用环境需要干燥、清洁、无尘、无油烟和无腐蚀性气体,应尽量避免在恶劣环境下使用。
在使用时应注意周围温度和湿度,避免过高或过低的温度和湿度对泵的影响。
在使用过程中,应及时清理泵的周围环境,保持干净整洁。
5. 注意控制气体流量涡轮分子泵的使用需要控制气体流量,以避免泵的过载和损坏。
在使用前需要计算和控制气体流量,避免过大的气体流量导致泵的过载或损坏。
在使用过程中,应根据泵的工作特性和使用要求,调整气体流量和泵的工作状态。
涡轮分子泵的使用需要注意清洁和维护、安装和调试、保护和维护电源、注意使用环境和控制气体流量等事项。
只有在遵循这些注意事项的前提下,才能保证涡轮分子泵的正常运行和延长使用寿命。
低温液体泵的故障原因以及排除方法---自平衡多级泵
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低温液体泵的故障原因以及排除方法故障原因排除方法1、泵开动后,出口压力升不上⑴叶轮旋转方向不符。
⑵泵未充分予冷,泵内有气体。
排除:⑴电机输入线两相接线对调⑵继续冷却,并打开防气阀或调整密封气压力。
2、泵的扬程或流量不足。
⑴电机转速不足。
⑵叶轮或管道淤塞。
⑶由于密封气压过大,有过量的气进入泵内。
排除:⑴增加转速。
⑵清洗。
⑶调节密封气压力。
3、液体吸不上,指示压力剧烈跳动⑴管道阀未开或管道阻力大。
⑵管道漏。
排除:⑴打开或清洗。
⑵修理4、电机温升高。
⑴电机毛病。
⑵叶轮口环已擦。
⑶迷宫密封已碰擦。
排除:⑴电工修理。
⑵调整间隙。
⑶调整间隙。
5、突然停车⑴密封气压力低连锁。
⑵轴承内卡死。
排除:⑴调整压力。
⑵清洗或更换。
6、发生振动或噪音⑴机身与转子不同心。
⑵泵进口压力过低或其它原因而产生气蚀。
⑶运动件与固定件产生摩擦⑷转子零件松动。
排除:⑴调整⑵调整压力,放气。
⑶校正⑷检修几起液体泵事故分析(1)改造投产初次调氩,开西号氩泵时,出口压力怎么也上不去,采用充分予冷,变频调速为最高,过滤网检查,穿墙进出口管隔热检查、处理等方法也没有效果,厂家现场调试人员也束手无策。
改开东号氩泵,压力很快上去,运行正常。
后检修扒塔,发现西号氩泵进口管道设计不合理,弯头太多,本来粗氩Ⅱ塔塔釜就低,这样氩泵进口NPSH达不到设计值,出口压力上不去。
对进口管改造,减少弯头。
再启动,一切正常。
(2)因氩泵出口管顶部开裂,停车检修后,再启动,发现氩泵运行不久,压力就掉下来,加温反吹后,再启动,仍是如此,把Ⅱ塔塔釜液体全排净,重新积液,氩泵仍不能正常运行。
最后扒氩泵小保冷箱,去掉进口过滤器网,问题得以解决。
分析认为,Ⅱ塔内进入珠光砂的原因是:氩泵出口管顶部开裂,停车后,漏进珠光砂,再流到粗氩Ⅰ塔顶部,加温时通过馏分气管道流进粗氩Ⅱ塔。
(3)氩泵密封气开始选用压力氮气,不久发现密封系统混合气排放管有液体排出,分析认为密封气堵塞,用微量水分析仪分析压力氮气,发现含水量近1000PPm,这些水是由于活塞氮压机冷却水钢套不严密漏进的,问题原因得以找到。
螺杆泵故障处理办法---自平衡多级泵
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螺杆泵故障处理办法 首先要确保其他的杂物不进入泵体 如果有固体杂物进入泵体会对螺杆泵的橡胶材质定子造成损坏,所以确保杂物不进入泵的腔体是很重要的,有的在泵前加装了粉碎机,也有的安装格栅装置或滤网,阻挡杂物进入螺杆泵,对于格栅应及时清捞以免造成堵塞。
第二避免螺杆泵在断料的情况下使用。
螺杆泵决不允许在断料的情形下运转,一经发生,橡胶定子由于干磨擦,瞬间产生高温而烧坏,所以,粉碎机完好,格栅畅通是螺杆泵正常运转的必要条件之一,为此,有些螺杆泵还在泵身上安装了断料停机装置,当发生断料时,由于螺杆泵其有自吸功能的特性,腔体内会产生真空,真空装置会使螺杆泵停止运转。
第三保持恒定的出口压力 螺杆泵是一种容积式回转泵,当出口端受阻以后,压力会逐渐升高,以至于超过预定的压力值。
此时电机负荷急剧增加。
传动机械相关零件的负载也会超出设计值,严重时会发生电机烧毁、传动零件断裂。
为了避免螺杆泵损坏,一般会在螺杆泵出口处安装旁通溢流阀,用以稳定出口压力,保持泵的正常运转。
第四螺杆泵转速的合理选用 螺杆泵的流量与转速成线性关系,相对于低转速的螺杆泵,高转速的螺杆泵虽然能增加了流量和扬程,但功率明显增大,高转速加速了转子与定子间的磨耗,必定使螺杆泵过早失效,而且高转速螺杆泵的定转子长度很短,极易磨损,因而缩短了螺杆泵的使用寿命。
通过减速机或无级调速机构来降低转速,使勘转速保持在每分三百转以下较为合理的范围内,与高速运转的螺杆泵相比,使用寿命能延长几倍。
当然螺杆泵的保养方法还有很多这就需要我们在平时使用的时候更加注意才好。
只要能够细心的观察会对螺杆泵有很好的保养的。
螺杆泵出现故障要如何处理呢?本文将主要介绍螺杆泵故障处理办法。
1、泵体剧烈振动或产生噪音: 产生原因:水泵安装不牢或水泵安装过高;电机滚珠轴承损坏;水泵主轴弯曲或与电机主轴不同心、不平行等。
处理方法:装稳水泵或降低水泵的安装高度;更换电机滚珠轴承;矫正弯曲的水泵主轴或调整好水泵与电机的相对位置。
自平衡多级泵安装使用保养及注意事项
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冒烟,填料寿命短
不当,或填料型号不对
料、均匀压紧或更换填料
4.填料与轴套间有杂质
4.更换填料
1.降低泵的几何安装高度,减少吸
1.泵发生汽蚀
水管阻力
5、泵震动或有噪音
2.流道有堵塞,或底阀局部堵塞 3.管路破裂跑水 4.出口阀打开启动 5.泵与电机轴不同心,或轴弯曲 1.基础刚性不足
2.清理流道,或清理底阀 3.停泵处理管路 4.关闭闸阀,重新启动 5.重新找正,或检修、换轴 1.加固基础
为了保持泵高效稳定的工作状况,泵必须经常保养、维修,维修间隔时间取决于泵的运行条 件。 2.2 运行条件及寿命 2.2.1 在清水条件下(固体颗粒含量低于 0.1%),本型泵运行 6000h 无大修,效率下降不超过 6%。 2.2.2 在固体颗粒含量 0.1%~1%污水条件下,本型泵运行 5000h 无大修,效率下降不超过 6%。 2.2.3 在固体颗粒含量 1%~1.5%污水条件下,本型泵运行 3000h 无大修,效率下降不超过 6%。 2.3 泵的维护 定期检查泵的性能(如流量、扬程、振动等)而且要做记录,按这些记录数据去分析泵是否
3.添加润滑脂要适量
3.轴承损坏,或轴承内有脏物或 4.更换或清洗轴承,并注意密封轴
进水
承
4.轴承内润滑脂或多或过少
1.穿杠螺栓紧固力不够或用力不
均
1.重新紧固穿杠
2.零件的制造精度(粗糙度,跳 2.拆泵检查
动或垂直度)未达到设计要求,
或残余应力使零件变形
3.检修结合面
3.结合面不洁或损坏
工作正常,是否需要维修,或确定要修的哪一个部位。
在一般条件下,如果坚持精确地测试,记录,定期的总结记录,那么根据运行条件就可 以得到泵是否需要维修的可靠资料。
涡轮分子泵的常见故障
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涡轮分子泵的常见故障涡轮分子泵是一种高真空泵,具有结构简单、体积小、抽速高等优点,在高真空领域得到了广泛应用。
然而,涡轮分子泵在使用过程中也会出现一些常见故障,本文将对涡轮分子泵的常见故障进行详细介绍。
一、转子磨损在涡轮分子泵的使用过程中,转子与壳体之间会产生磨损。
当磨损严重时,会导致转子与壳体之间的间隙变大,从而使抽气效率降低。
此时需要更换转子或者整个涡轮分子泵。
二、电机故障涡轮分子泵的运行需要电机提供动力支持。
当电机出现故障时,会导致涡轮分子泵无法正常工作。
常见的电机故障包括电机绕组断路、电机轴承磨损等。
此时需要更换电机或者修理电机。
三、进气口堵塞进气口是涡轮分子泵抽气的入口,如果进气口被堵塞,则无法正常抽气。
进气口堵塞通常是由于进气口过滤器堵塞或者进气口管道堵塞引起的。
此时需要清洗或更换进气口过滤器,或者清理进气口管道。
四、泄漏在涡轮分子泵的使用过程中,如果出现泄漏,则会导致抽气效率降低。
涡轮分子泵的泄漏通常是由于密封件老化、密封面损坏等原因引起的。
此时需要更换密封件或者修理密封面。
五、冷却系统故障涡轮分子泵需要通过冷却系统来保持正常工作温度。
当冷却系统出现故障时,会导致涡轮分子泵无法正常工作。
常见的冷却系统故障包括水路堵塞、水压不足等。
此时需要清洗水路或者检查水压是否正常。
六、电源故障涡轮分子泵的电源供应不稳定或者电源线路短路都会导致涡轮分子泵无法正常工作。
此时需要检查电源供应是否稳定,以及检查电源线路是否存在短路情况。
七、控制系统故障涡轮分子泵的控制系统包括启停控制、保护控制、温度控制等。
当控制系统出现故障时,会导致涡轮分子泵无法正常工作。
此时需要检查控制系统是否正常,并进行相应的维修或更换。
八、其他故障除了以上常见故障外,涡轮分子泵还可能出现其他故障,如转子脱落、转子卡死等。
这些故障通常是由于设计缺陷或者使用不当引起的。
此时需要进行相应的维修或更换。
总之,涡轮分子泵在使用过程中会出现各种各样的故障,需要及时进行维修或更换。
锅炉给水泵小知识--自平衡多级泵
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锅炉给水泵小知识
1.锅炉给水泵不吸水或不排水。
造成这种故障多数是由于底阀卡死、滤水部分淤塞,吸水高度太高或吸水管漏气等。
应逐一进行检查,分别采取修理底阀、清除淤塞物、纠正转向等进行处理。
2.锅炉给水泵电流最小的时候,是空转的时候,即泵体内什么水都没有,和大气直接连接,当然锅炉给水泵这样长时间转是会导致过热损坏的,而且即便是普通的泵,这样转也不好。
3.锅炉给水泵流最大的时候,是当进口连接源物,比如水,而出口不加以限制,比如直接和大气相连,连管道都不接,这个时候,流量最大,泵的电流将最大.
4.锅炉给水泵输送液体的种类繁多,诸如输送水(清水、污水等)、油液、酸碱液、悬浮液、和液态金属等。
在化工和石油部门的生产中,原料、半成品和成品大多是液体,而将原料制成半成品和成品,需要经过复杂的工艺过程,锅炉给水泵在这些过程中起到了输送液体和提供化学反应的压力流量的作用,此外,在很多装置中还用泵来调节温度。
分子泵产品常见故障及解决方案
![分子泵产品常见故障及解决方案](https://img.taocdn.com/s3/m/74a75a04cc1755270722085c.png)
3
分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?
1.附近有光照或其他热源
避免光照或热源
4
正常使用中,3500分子泵油池为何会变形或者碎裂?
1.冷却不良
2.负载太大
检查冷却系统
检查真空系统
5
系统无漏、真空计、规管都无问题的情况下,为什么真空度只能抽到-1或-2帕?
1.系统设计不合理
2.系统内放气量太大
29
分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?
应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
加强装配过程管理
30
用户放映分子泵油的量过少,请问将我公司提供的100ml分子泵油完全加入是否是正常油量?即加这些油是否会对分子泵的正常使用产生负面影响?
干扰造成乱码
关机后重启动
19
为什么110分子泵用110A电源可以启动,但是用110电源就无法启动?
霍尔坏一个
返厂维修
20
变频器电源空载无问题,带泵就会报警时什么问题?为什么更换变频器后,在我公司带泵无问题,而到用户处就继续报警?前提是分子泵完好。
需要看故障码,并到现场查看
21
变频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Poff”?
电压低
22
分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?
小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要专用仪器和特定的测试环境
23
分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?
注意水温和水流量,详见说明书,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
ZDG自平衡多级泵机械密封使用注意事项及维护
![ZDG自平衡多级泵机械密封使用注意事项及维护](https://img.taocdn.com/s3/m/c3ff08fbf61fb7360b4c6543.png)
长沙自平衡多级泵厂 ZDG自平衡多级离心泵水泵在选取密封形式上面,大致归于俩个选择—机械密封和填料密封。
机械密封密封性好,无滴漏。
广泛应用于化工、石化等行业。
填料密封造价低、但密封性能相对于机械密封而言要差点,但也适用于输送清水等无毒、无害的介质输送的工矿企业。
下面就ZDG自平衡多级泵的机械密封的使用与维护做个说明。
引机械密封(mechanical seal)是指由至少一对垂直于旋转轴线的端面在流体压力和补偿机构弹力(或磁力)的作用下以及辅助密封的配合下保持贴合并相对滑动而构成的防止流体泄漏的装置。
弹力加载机构与辅助密封是金属性纹管的机械密封我们称为金属波纹管密封。
在轻型密封中,还有使用橡胶波纹管作辅助密封的,橡胶波纹管弹力有限,一般需要辅以弹簧来满足加载弹力。
“机械密封”通常被人们简称为“机封”。
ZDG自平衡多级泵机械密封的使用注意事项及维护:
1.ZDG自平衡多级泵起动前应先盘动泵电机几圈,以免突然走动造成石墨环断裂损坏;
2.密封泄漏允差3滴/MIN,否则应该检修;
3.机械密封润滑应清洁无固体颗粒;
4.严禁机械密封在干磨情况下工作。
ZDG自平衡多级泵在运行中的三大维护要点:
1.进口管道必须充满液体,禁止泵在汽蚀状态下长期运行,
2.定时检查电机电流值,不得超过电机额定电流
3.ZDG自平衡多级泵进行长期运行后,由于机械磨损,使机组噪音和振动增大时,应该停车检查,必要时更换易损件,机组大修期一般为一年。
水泵运转可能的故障及处理--自平衡多级泵
![水泵运转可能的故障及处理--自平衡多级泵](https://img.taocdn.com/s3/m/79596570ddccda38376baf8f.png)
水泵运转可能的故障及处理
一、渣浆泵的运转
1、运转前的检查
水泵的事故在装置生产运转初期发生的最多,安装质量直接影响泵的运转状况,因此在试运转期间要特别慎重地进行检查。
泵安装方面的大部分事故,除因驱动机与泵对中不准外,就是吸入管配置不当。
吸入管路要求平直和缩短,长管路必须放大管径以减少管路摩擦阻力。
并应避免出现容易导致事故的高部位局部空气囊。
所以应采用上部平直的偏心变径管;管道与泵连续之前管路上设置滤网(网眼约40目),其净面积应是吸入管流通截面的3-4倍。
在滤网前后装上压力表,以便在运转中监视滤网的堵塞情况;管路各支架都应充分的发挥各自的作用,管路应进行试压,试水压力应为操作压力的1.5倍,不渗不漏。
泵基础是否牢固,螺栓、螺帽有否松动,应经得住运转中产生的歪斜和冲击,检查泵的部件,附件是否齐全,安装调整是否符合规定。
二、操作准备
1、盘车
2、核对吸入条件
3、调整填料或机械密封装置。
向冷却水夹套和密封装置中的冷却、封液系统分别通水、通液,确认流道畅通。
4、加注润滑油、脂向油箱和润滑部位加注选定的合格润滑油脂,达适当的油面高度、脂量。
5、灌泵
6、高温泵和低温泵有必要进行预热或预冷。
涡轮分子泵组安全操作及保养规程
![涡轮分子泵组安全操作及保养规程](https://img.taocdn.com/s3/m/cd9637b49f3143323968011ca300a6c30d22f178.png)
涡轮分子泵组安全操作及保养规程涡轮分子泵组作为常见的真空泵组装置,在科研、生产等领域都得到了广泛的应用。
然而,由于涡轮分子泵组拥有较高的真空度和泵速,所以如果在操作和保养过程中出现问题,将带来极高的安全风险和经济损失。
因此,本文将从安全操作和保养两个方面对涡轮分子泵组进行详细规范和介绍。
安全操作在使用涡轮分子泵组过程中, 首要保障就是人身安全。
因此,我们需要严格遵守以下操作规程,以确保我们的实验、生产过程顺利、安全进行。
1. 工艺流程在进行真空作业时,必须按照工艺流程进行操作。
涡轮分子泵组的工艺参数、流程应严格执行设计要求。
操作过程中不得随意更改工艺流程,确保系统处于稳态工作状态。
2. 设备检查在装置开启前必须对涡轮分子泵组进行全面的检查,包括:•检查泵在工作区域是否周围清洁;•检查旋转方向是否正确;•检查泵喇叭是否正常;•检查电缆是否牢固;•检查压力表的读数是否正常。
3. 真空度监测涡轮分子泵组必须配备真空度监测仪表,以实时监测系统真空度情况。
在使用过程中,当检测到系统真空度达到规定值时,可以开始进行下一步操作。
4. 停机操作当涡轮分子泵组停止工作后,必须首先切断设备电源,停机后关闭执行机构,然后通过泵上的“逆吹”功能清洗泵腔,最后打开泵上的排放口,将排放口连接至排放管道上,将泵内气体排出后再关闭排放口。
保养规程合理保养涡轮分子泵组可以有效地延长设备寿命,提高设备性能,减少设备故障。
接下来,我们将介绍如何进行涡轮分子泵组的保养。
1. 定期维护涡轮分子泵组的定期保养可有效防止系统故障和设备失效。
建议定期对涡轮分子泵组进行全面检查,包括:•检查振动情况,检查压力表的读数是否正常;•检查电机和机械密封的正常运行;•检查机械刮环状态和是否需要更换机械刮环。
2. 系统清洗涡轮分子泵组在运行过程中会产生较多的污物,如气体分子残留、腐蚀性物质、过热气体等。
这些污物会降低设备的运行效率,甚至损坏设备。
因此,我们需要定期清洗系统,包括:•最好采用高气体流量进行“逆吹”保养,将杂质物清除出系统;•清除机械刮环上的污物;•对真空阀门、气动阀门、控制仪表进行定期清洗。
使用多级泵时,哪些事项肯定要多注意
![使用多级泵时,哪些事项肯定要多注意](https://img.taocdn.com/s3/m/80082474326c1eb91a37f111f18583d049640fe3.png)
使用多级泵时,哪些事项肯定要多注意多级泵是一种高效的液体输送工具,由于其使用范围广,流量大,压力高,被广泛应用于工业生产、农业浇灌、城市供水、排水等领域。
在使用多级泵时,除了重视其运行参数的设置和维护保养外,还需要注意以下事项。
1. 泵的结构设计多级泵通常由泵体、叶轮、轴心等部件构成,不同品牌的多级泵在结构设计上也存在差异。
从整体上看,泵的结构设计应当符合以下要求:•统一标准:多级泵应符合国家相关的技术标准和质量标准,采纳的材质应具有良好的耐腐蚀和耐磨损性能。
•刚性好:泵的结构应当具有充足的刚性和强度,以保证泵在高速运转时不会显现形变和振动。
•密封性能好:泵的密封结构应当具有良好的密封性能,防止泄漏和损坏。
•操作便利:泵的结构设计应当符合操作便利、维护和修理便捷的要求。
2. 泵的安装多级泵的安装是影响泵的使用寿命、性能和安全的紧要环节。
在安装多级泵时,应注意以下事项:•泵的基础应当具有充足的稳定性和承重本领,以防止泵整体或各部件显现变形、开裂等损坏现象。
泵的基础面积应当大于泵轴心与地面的叉乘面积,深度应适当,同时应注意排水、防水、防腐等工作。
•泵的进出口应当与管道相连,连接时应注意密封性、安装角度、管道刚度和变形等问题。
a.进口管道不得存在陡峭下垂或急拐弯等现象,以免影响进口流量和压力稳定性。
b.出口管道的转弯半径应当充足泵的运行参数要求,尽量避开在转弯处加添阻力,以达到提高输送效率和节省能源的目的。
c.泵进口阻力损失应当每条管线掌控在5%以内,请避开过长给水管道、特别是过大的焊接弯头,枪接、三通等管件。
•泵的水平和垂直度应达到要求,以提高泵的运行效率和削减损耗。
在安装多级泵时,应使用水平器等工具进行定位,确保泵体垂直度误差小于0.1mm/m,水平度误差小于0.2mm。
3. 泵的运行在多级泵的运行过程中,应注意以下事项:•泵的开启前,应先检查泵的各部件是否完好、连接是否坚固、油液是否充分,排出故障因素。
自平衡多级泵注意事项
![自平衡多级泵注意事项](https://img.taocdn.com/s3/m/9ded959981eb6294dd88d0d233d4b14e84243e1b.png)
自平衡多级泵注意事项自平衡多级泵工作原理:泵轴在电动机的带动下旋转,对液体作功,使其能量加添,从而使需要数量的液体由吸入池经由泵的进水段、正叶轮、正导叶、中段、出水段的水平出水口、过渡管、次级进水段、反叶轮、反导叶、出水段的垂直出水口后,将液体源源不绝的送出。
由于无平衡装置,即无平衡盘的圆盘摩擦损失又无平衡回流损失,所以泵效率比同类别多级泵提高5—14%,同时解决因平衡装置失效而导致平衡盘和平衡盘座的磨损或转子咬死等各种故障,大大延长泵的使用寿命。
自平衡多级泵为单吸或双吸进口的卧式节段式多级离心泵,泵的吸入口可以垂直向上或水平、排出口垂直向上布置。
紧要有:进水段、中段、出水段、次级进水段、正导叶、反导叶、正叶轮、反叶轮、轴、节流、减压装置、挡套、轴承体、过渡管等零件构成;中段由高强度的穿杠螺栓和进出水段联接,泵的进水段、中段、出水段之间的密封面均采用二硫化钼润滑脂金属面硬密封;转子由装在轴上的正叶轮、节流减压装置、反叶轮、轴套等零件构成轴承采用“固—游式”干油润滑结构,驱动端采用圆柱滚子轴承,末端采用角接触球轴承;泵的工作室由进水段、中段、出水段、次级进水段、正导叶、反导叶、过渡管等构成;转子部分与固定部分之间装有密封环、导叶套等进行密封,当密封环和导叶套的磨损程度已影响泵的工作性能时应及时予以更换;轴的密封形式有机械密封和填料密封两种。
泵采用填料密封时,填料环的位置布置要正确,填料的松紧程度必需适当,以液体能一滴一滴渗出为宜。
泵各种密封元件装在密封腔内,腔内要通入确定压力的水,起水封、水冷及水润滑作用。
在轴封处装有可更换的轴套,以保护泵轴;自平衡多级泵可以在不拆卸进、出口管路的情况下更换轴承、密封。
该系列泵通过弹性柱销联轴器或膜片联轴器由原动机直接驱动。
从原动机方向看,泵为顺时针方向旋转。
注意事项1、转向。
一般自平衡卧式多级泵上都会有转向牌,注意水泵的转向是否与标定的全都;全部离心泵,一般以轴心线为基准,水泵的旋向从上往下看(不管水泵是逆转还是顺转),泵的叶轮应朝泵出口方向旋转,即叶轮时甩水而不是舀水。
伯东磁悬浮涡轮分子泵安全操作及保养规程
![伯东磁悬浮涡轮分子泵安全操作及保养规程](https://img.taocdn.com/s3/m/fc2ba62d001ca300a6c30c22590102020740f20e.png)
伯东磁悬浮涡轮分子泵安全操作及保养规程1. 引言伯东磁悬浮涡轮分子泵是一种先进的真空泵技术,广泛应用于科研实验室、半导体工业、医疗设备等领域。
为了确保其正常运行和延长其使用寿命,本文档旨在提供伯东磁悬浮涡轮分子泵的安全操作和保养规程。
2. 安全操作规程2.1 环境准备在操作伯东磁悬浮涡轮分子泵之前,请确保以下环境准备工作已经完成:•操作区域清洁整洁,没有杂物和障碍物。
•仔细读取并理解产品说明书,熟悉泵的结构和使用方法。
•确认所需的所有工具和配件可用。
2.2 基本操作步骤以下是使用伯东磁悬浮涡轮分子泵的基本操作步骤:1.确保泵的电源已正确连接,并检查电源线是否损坏。
2.打开泵的主电源开关。
3.等待一段时间,直到涡轮分子泵恢复到正常工作状态。
4.检查真空室的密封性能是否正常,确保没有泄漏现象。
5.如果需要控制泵的速度,可根据需求调整控制面板上的相关参数。
6.在使用完毕后,先关闭泵的控制面板,然后关闭主电源开关。
2.3 注意事项在操作伯东磁悬浮涡轮分子泵时,请注意以下事项:•请勿在操作过程中触摸泵的旋转部件,以免发生手部伤害。
•请勿将易燃、易爆物品放置在泵的附近,以免发生火灾或爆炸事故。
•在使用泵期间,请保持操作区域通风良好,以免吸入有害气体。
•如果发现泵有异常响声或异味,请立即停止使用并联系售后服务。
3. 保养规程3.1 清洁和维护为了保持伯东磁悬浮涡轮分子泵的正常运行,定期进行清洁和维护是必要的。
以下是保养规程的一些要点:1.定期使用吹气筒对泵进行吹扫,去除泵体表面积聚的灰尘和杂质。
2.定期清理并更换油漆SAL703,确保泵的顶部因油漆的退化而暴露。
3.每三个月检查一次轴承温度和轴承震动,确保其在正常范围内。
4.定期检查磁力轴承是否存在磨损或松动现象,并及时进行维修或更换。
5.根据使用情况,定期更换磁悬浮涡轮分子泵的油封和密封件。
3.2 备用部件和维修为了应对可能的故障,建议备有以下常用部件:•磁性轴承•涡轮叶轮•轴封和密封件•控制面板和电路板如果发现泵出现故障或异常现象,请尽快联系售后服务人员,不要自行进行维修。
气动隔膜泵操作运行时要注意几点--自平衡多级泵
![气动隔膜泵操作运行时要注意几点--自平衡多级泵](https://img.taocdn.com/s3/m/a81b6869168884868762d616.png)
气动隔膜泵操作运行时要注意几点 气动隔膜泵是以压缩空气为动力,通过膜片往复变形造成容积变化的容积泵,其工作原理近似于柱塞泵。
使用气动隔膜泵操作运行时要注意以下几点: 1、保证流体中所含的最大颗粒不超过泵的最大安全通过颗粒直径标准。
2、进气压力不要超过泵的最高允许使用压力,高于额定压力的压缩空气可能导致人身伤害和财产的损失及损坏泵的性能。
3、保证泵压的管道系统能承受所达到得最高输出压力,保证驱动气路系统的清洁和正常工作条件。
4、静电火花可能引起爆炸导致人身伤亡事故和财产的损失,根据需要使用足够大截面积的导线,把泵上的接地螺钉妥善可靠接地。
5、接地要求符合当地法规法律要求及现场的一些特殊要求的规定。
6、紧固好泵及各连接管接头,防止因振动撞击擦产生静电火花。
使用抗静电软管。
7、要周期性的检查和测试接地系统的可靠性,要求接地电阻小于100欧姆。
8、保持良好的排气和通风、远离易燃易爆和热源。
9、泵的排气中可能含有固体物,不要将排气口对着工作区或者人,以免造成人身伤害。
10、当隔膜失效时,输送的物料会从排气消声器中喷出。
11、当输送易燃和有毒的流体时,请将排口接到远离工作区的安全地方。
12、请使用至少3/8″内径内壁光滑的管道连接排气口和消声器。
13、流体的高压可能会导致严重的人身伤亡和财产损失,请不要在泵加压时,对泵及料管系统进行任何的维修工作,如要做维修时,先切断泵的进气,打开旁通的卸压机构使管路系统卸压,慢慢松开连接的各管道接头。
14、如输送的有害有毒流体泵,请不要把泵直接送到厂家来修理。
根据当地法律法规妥善处理,并使用上海旺泉泵业公司纯正配件以保证使用寿命。
15、液体输送部分使用铝合金材料的泵,请不要用来输送含有Fe3+的液体和卤代烃及其他的卤代碳氢化合物溶剂,则将会产生腐蚀引起泵体爆裂。
16、保证所有接触输送体的部件不会被输送的流体腐蚀损坏。
17、保证所有的操作人员熟悉操作使用和掌握泵的安全使用注意事项,必要的话,配给必需的防护用品。
涡轮分子泵使用注意事项
![涡轮分子泵使用注意事项](https://img.taocdn.com/s3/m/875e813403020740be1e650e52ea551810a6c9e3.png)
涡轮分子泵使用注意事项涡轮分子泵使用注意事项涡轮分子泵是一种高效、低噪音、干净的真空泵,广泛应用于半导体、光学、医疗等领域。
为了保证涡轮分子泵的正常工作和延长使用寿命,以下是一些需要注意的事项:一、安装前准备1. 确认涡轮分子泵的型号和规格是否符合实际需求,同时确认电源电压和频率是否与设备相匹配。
2. 在安装前应先检查涡轮分子泵的外观是否有损坏或变形,并检查各个接口处是否有松动或腐蚀。
3. 在安装前应清洁并擦干所有连接管路和接口,并确保所有连接件已经正确安装。
4. 安装时应将涡轮分子泵放置在平稳的地面上,并确保其与周围环境之间有足够的空间以便进行维护和散热。
二、启动前准备1. 在启动之前,应检查并确认所有电气接线已经正确连接,并检查机械部件是否紧固并无松动。
2. 启动之前必须先打开气体阀门并允许气体进入涡轮分子泵的内部,以避免因过度真空而损坏设备。
3. 启动之前必须先将气体阀门关闭,并检查并确认真空管路已经完全密封。
三、正常使用1. 在正常使用过程中,应每隔一定时间对涡轮分子泵进行清洗和维护,以保证其正常工作和延长使用寿命。
2. 在涡轮分子泵运行时,应确保其温度不超过规定范围,并避免在高温和高压环境下运行。
3. 在使用过程中,应注意避免机械部件的碰撞和损坏,并及时更换磨损严重的零部件。
4. 在停止使用之前,应先关闭所有气体阀门并等待涡轮分子泵内部压力下降到安全范围内后再进行拆卸或维护操作。
四、注意事项1. 涡轮分子泵不能用于抽取有毒、易燃、易爆或腐蚀性气体等危险气体。
2. 涡轮分子泵不能用于抽取粉尘、颗粒物质等易堵塞的气体。
3. 在使用过程中,应避免涡轮分子泵发生过热和过载现象,并及时采取措施降低温度和负载。
4. 在拆卸涡轮分子泵进行维护或清洗时,应先切断电源并等待设备冷却后再进行操作。
5. 在使用过程中,应注意保持涡轮分子泵的清洁,并及时更换油尘滤网和排气滤网等易积尘的部件。
总结:以上内容是关于涡轮分子泵使用注意事项的详细介绍。
分子泵的详细介绍
![分子泵的详细介绍](https://img.taocdn.com/s3/m/3cd887cab14e852458fb572c.png)
涡轮分子泵的抽气原理分子泵输送气体应满足二个必要条件:1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。
因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时,其中气体分子的平均自由程则随之增加。
在常压下空气分子的平均自由程只有0.06 μm ,即平均看一个气体分子只要在空间运动0.06 μm ,就可能与第二个气体分子相碰。
而在 1.3Pa 时,分子间平均自由程可达 4.4mm 。
若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时,气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。
在分子流范围内,气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。
当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时,气体分子就会较多地射向转子和定子叶片,为形成气体分子的定向运动打下基础。
2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。
具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。
分子泵的转速越高,对提高分子泵的抽速越有利。
实践表明,对不同分子量的气体分子其速度越大,泵抽除越困难。
例: H2在空气中含量甚徽,但由于 H2分子具有很大的运动速度 ( 最可几速度为 1557m /s) ,所以分子泵对 H2的抽吸困难。
通过对极限真空中残余气体的分析,可发现氢气比重可达 85 %,而分子量较大,而运动速度慢的油分子所占的比重几乎为零。
这就是分子泵对油蒸气等高分子量的气体的压缩比很高,抽吸效果好的原因。
现以涡轮分子泵的一个叶片为例说明它的抽气原理。
假设一个轴流式单叶列在分子流范围内以速度 V 运动,如图 21 所示。
图21:涡轮分子泵抽气机理图设 I 侧为吸入侧,Ⅱ侧为排气侧。
从 I 侧向Ⅱ侧运动的气体分子,可分为以下几种情况:有一部分气体分子与叶片的端部相碰返回 I 侧,一部分气体分子直接通过叶片槽到达Ⅱ侧,还有一部分气体分子在叶片槽内与叶片壁相碰,其碰撞结果将使一部分到达Ⅱ侧,而另一部分气体分子返回 I 侧。
涡轮泵工作原理的五个小贴士!
![涡轮泵工作原理的五个小贴士!](https://img.taocdn.com/s3/m/d3a60458b207e87101f69e3143323968011cf4f4.png)
涡轮泵工作原理的五个小贴士!涡轮泵的工作原理,是通过让气体分子与移动的固体表面碰撞,使其沿特定方向运动。
快速旋转的风扇转子击打气体分子,将其从泵的入口吹向出口处,从而形成并保持真空状态。
以下是了解涡轮泵工作原理的五个小贴士。
工作原理大多数涡轮泵采用多级泵。
每一级都有快速旋转的转子叶片和定子叶片。
泵就像压缩机一样工作,即赋予气体能量,而非将其排出。
当气体分子进入泵的入口时,受到转子叶片的击打,叶片的机械能被传递到气体分子上,从而赋予其动能。
气体分子利用这种动能进入定子上的气体传递孔。
气体分子与转子表面再次碰撞,进而向外运动到出口。
轴承通过两只滚珠轴承安装涡轮泵转子轴时,由于轴承中存在润滑油,需要将两个轴承都安置在前级真空侧。
转子的质量大,可实现单侧支撑。
从转子动力学角度来考虑,采用混合轴承支撑比较有利。
混合轴承要求采用双轴承概念。
在前级真空侧的轴端安装一只油润滑滚珠轴承。
真空侧的另一端则安装一只免维护、无磨损的永磁轴承,使转子径向居中。
电机╱驱动能支持高达1500HZ转动频率的无刷直流电机,对于驱动转子较为理想。
这样的频率可使叶片达到泵送气体所要求的速度。
驱动器直接连接到泵上,应使用24V、48V或72V直流电。
既可使用外部电源,也可使用与泵的电子单元集成的电源装置。
形成清洁真空涡轮泵可产生10 hPa以内的清洁真空。
由于其压缩比高,可防止油进入入口区域。
可以采用不锈钢罩盖,让这些泵更适宜于研发应用。
也可以用涡轮泵为大型容器抽真空,以旋转叶片泵作为后备泵。
如果涉及到涡轮拖式泵,则必须使用两级隔膜泵作为后备泵。
但由于泵送速度低,排空大型容器需要很长时间。
抽真空负载锁止舱在真空流程中处理传输物质时,抽真空负载锁止舱必须清洁运行。
如果选择在大气压下进行传输,那就应通过旁路管道预先将舱室抽真空。
最后,利用阀门将运转中的涡轮泵连接到后备泵与腔室之间。
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涡轮分子泵运转时值得注意的几个问题-技术中心-中联机械
知识
1、返流涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力,故常被用户选用。
然而,用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。
经调查发现碳氢化合物的来源,50%是操作失误所带来的问题,如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时,没有控制返流的安全阀,不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流,不合要求的安全阀也会引起油污染。
为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求,在前级泵不是干式泵的情况下,有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。
2、压缩比涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。
由于被抽气体的分子量不同,泵对各种气体的压缩比也不同。
气体分子量M的平方根与压缩比K的关系如图6所示,泵对氢的压缩比很小,一般为1000左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为1×10-7Torr(13.33μPa),那么进气口处氢的压力则小1000倍,即为1×10-10Torr(13.33nPa)。
由于氢是超高真空系统中主要的残余气体,所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。
涡轮分子泵对于大分子量的气体,如对那些碳氢化合物分子的压缩比是相当大的,一般高于1012。
这个比值根据不同泵,以及不同分子量而不同,由于前级泵的不同和其它因素,涡轮分子泵的前级管道中的碳氢化合物的分压力在10-4Torr(13.33mPa)~10-6Torr(133.3μPa)之间,在这种条件下,在泵的入口处碳氢化合物的分压力将低了1012倍,即为10-16Torr(13.33fPa)或更低。
这样几乎是无限小的压力,已超出了可测量的范围,即使最灵敏的质谱仪也难以测出。
3、充气措施(1)为什么要充气当涡轮分子泵关闭或运转极慢时,泵将不再有足够大的压缩比(泵内压力梯度)来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流。
这种现象称作反扩散或分子返流。
在静态条件下,整个系统的压力均衡时,在前级管道侧,油的分压力通常为10-4~10-6Torr(或13.33mPa~133.3μPa)最后也会波及到泵的入口处。
当泵关闭时,适当地给泵内充气是控制油分子返流,保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。
当停泵后,碳氢化合物返流很快通过泵进入真空室内,如果系统仍保持在真空状态下,碳氢化合物将会粘在清洁的叶片和真空室的表面上。
在随后再运转该系统时,将极难抽除粘着的碳氢化合物。
另一方面,在涡轮分子泵停止运转时,如果给泵充入干燥氮气或干燥空气,则该干燥气体将给暴露的表面提供一层气体保护层,而且在系统充气后,返流的碳氢化合物由于与充入的气体混合起来,从而它的粘着能力很弱,在混合气体中碳氢化合物所占比例极小,在下一次抽空时也很快就能被抽走。
(2)延迟充气虽然在泵断开电源后就应给泵充气已被大家所接受,且很平常,但是,涡轮分子泵在切断电源后,泵要渐渐地减速,若延迟几秒或几分钟再充气会更好一些。
在泵减速到它平时速度的30%~50%期间,此时泵仍能起到抽气和压缩作用。
能有效地使真空室处在真空状态下且能防止碳氢化合物的返流。
延迟充气也能使阀门有足够的时间关闭,在经常停电的情况下,延迟充气是很有用的。
为了延迟充气,前级真空必须维持在1~
1000μmHg(1×10-3mmHg~1mmHg或133.3mPa~133.3Pa)范围之内,所以在涡轮分子泵与前级泵之间必须有一个真空阀,或者在前级泵内部装一个控制阀,该阀应在电源中断时,使涡轮分子泵与前级泵隔离开来。
否则,通过前级泵、前级管道被充气,并导致了油的污染。
(3)在何处充气在涡轮分子泵的前级侧充气,能强制使碳氢化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。
另一方面,若在涡轮分子泵吸入侧充气,能达到以清洁气体覆盖表面的目的。
并使气流流向涡轮分子泵(自上而下),能暂时阻止、延迟碳氢化合物的返流,也有些涡轮分子泵在压缩级之间进行中间充气,它和在吸入侧充气控制碳氢化合物返流几乎同样有效。
在超高真空系统中,在压缩级充气尤其优越。
因为中间充气不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀。
(4)怎样充气如果涡轮分子泵置于一个清洁、干燥的周围环境中,就可以充室内的空气。
然而充气入口的位置必须仔细选择。
如果充气入口位置靠近油封式旋片泵的排气口位置之上,则充入的气体中会含有油蒸汽势必会对真空系统造成污染,而且如果空气是湿的,为了减少以后再抽气的时间,于是要充入干燥氮气或经过干燥器过滤的空气。
另外也不一定总是充入大气压力下的气
体,若充入气体的压力为几Torr(几hpa)的干燥气体就足以能控制碳氢化合物的返流。
4、前级管道设安全阀如果不采用一个操作合理的前级管道安全阀,就有可能即污染涡轮分子泵又污染真空室。
当前级泵断电停车时,前级泵就会给自己充气反向通到涡轮分子泵的排气口。
这种前级泵充气会输送前级管道返流的泵油,之后通过涡轮分子泵进入真空室,这种现象称为油污染,被污染后涡轮分子泵的叶片就必须在厂家的指导下用氟利昂来清洗。
在涡轮分子泵与前级泵之间装上一个真空阀,可以防止反向充气,当停电时立刻关上此阀。
理想的情况是,它即能对前级泵入口充气又不致于使泵油返流浸入安全阀。
另外,只有当它的压力基本均衡时才能打开安全阀,否则就有可能出现压力冲击前级管道的问题,例如,在断电瞬间前级泵压力将为大气压力,然而前级管道仍可能处于真空状态下。
若阀门的两侧压力差很大,一旦通电阀门会立刻打开,含污染油的大气压下的气体将由前级泵冲向前级管道,从而会污染系统。
所以安全阀需要一定的延迟开启的时间,以便让前级泵将阀门后的管道内抽成真空,阀前后的压差均衡时才可打开安全阀,总之采取办法来控制阀门的两侧的压力差,不使气流返冲。
现在许多直联式旋片泵,在泵内装有安全阀,但阀门密封性能一定要保证,一旦阀门关不上后果相当严重,涡轮分子泵系统就会被油污染,这种问题是可能通过检测事先发现的。
在运转的前级泵上安装一个前级真空规管,将泵关闭如果前级压力增加值在10~1000μmHg(1×10-2~1torr或1.333~133.3Pa)之间并不再增加,则阀门有效如果压力继续上升很快,直接达到大气压力说明阀门失效。
如果阀门的密封良好,检查阀门是否立即开启还是等压力均衡后再开启,观察规管并开前级泵,如果规管马上就跳到几乎是大气压力,说明有返流的蒸汽的冲击。
5、操作程序由于涡轮分子泵的种类和型号是多种多样的,每种泵的操作方式由制造厂家提供,涡轮分子泵的操作最简单、最便宜的方法是同时启动涡轮分子泵和前级泵,当涡轮分子泵加速到正常转速时,同时也预抽完了该系统,在此初始高压强预抽阶段,油蒸汽的返流是不可能的。
因为这时系统内气体处于粘滞流或层流状态,排出气体的密度大,可阻挡任何碳氢化合物的分子向涡轮分子泵方向返流。
当达到分子流态时,涡轮分子泵已进入正常速度运转,在泵高压缩比的情况下运转时,就可防止了油蒸汽的返流。
涡轮分子泵的前级泵由一个电纽开关控制,两泵可同时启动和停车。
在某些快速循环的系统中,也没有足够的时间,使涡轮分子泵在每一个循环周期内,由于时间短来不及达到正常的运转速度。
在这种情况下,就不能随工作循环去周期性地开启涡轮分子泵。
此时涡轮分子泵就不得不连续的运转,前级泵粗抽真空室,很快就能达到涡轮分子泵的启动压力,就可以很快打开主阀,涡轮分子泵可以在相对高的压力下工作(节约了时间)也可使粗抽管道返流降到最低程度。
如果系统需要有粗抽管道,操作不当也有可能出现返流问题,若是将系统粗抽到太低的压力,粗抽管道内就会出现分子流态。
则粗抽泵的油蒸汽就有可能返流到真空室。
当压力低于100~200μmHg(13.33~26.66Pa)时,就会出现这种返流。
当真空室粗抽适度后就关闭粗抽阀门,而粗抽泵还在继续运转时,粗抽管道内的压力降低了会出现分子流状态。
碳氢化合物会出现返流,并凝结在粗抽阀盖上或阀的密封处。
当粗抽阀再打开时,这些凝结物就有可能离开阀盖或密封处而返流向真空室一侧。
在下一个高真空循环周期中这些油蒸汽就会迁移到真空室内而遭到污染。
为了解决粗抽造成的返流问题,主要是在前级管道中避免分子流态的发生,以防油蒸汽返流。
当前级管道中达到前级压力时,关闭粗抽阀对粗抽管道内充气(用一个充气阀和一个可控漏孔),然后关闭粗抽泵。
因而粗抽管道内就不可能出现分子流态,防止了返流。
使用涡轮分子泵时,通常可不用粗抽管道。
如在快速循环的系统中,不设粗抽管道,可以选用那些耐大气冲击的涡轮分子泵。
能直接从大气压力下对真空室进行抽真空。
上述讨论是涡轮分子泵选用有油的前级泵工作时应注意的事项。
在当前研制成功的不同型的干式前级泵可作为涡轮分子泵的前级泵时就解决了有油系统的返流问题,实现清洁的真空获得,如能选用当前出现的那种从大气压一直抽到高真空的新型分子泵工作就更好了。