电子显微镜原理及构造

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激發大量二次電子訊號 樣品表面電流 電子束誘發電流 散射穿透電子 穿透電子
電子束 樣品深層訊號 樣品表面訊號
背向散射電子 樣品 二次電子激發層 二次電子
電子束
鍍鋁層 磷
閃爍器 影像放大器
二次電子
樣品
訊號 光子 光導管 螢幕
修正前 電子束直徑 電子來源 修正後 接物鏡 像散 電子束直徑 電子來源 電子束 接物鏡 電子束
Harvest Scientific Corporation
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电 子 显 微 镜 原 理
T h e o r y o f E l e c t r o n M i c r o s c o p e
OM , TEM & SEM成像原理
OM ,TEM & SEM比较表
各 种 灯 丝 比 较 表
钨丝/场效灯丝比較表
冷/热场效电子显微镜灯丝构造
高压 电子枪 阳极 集束透镜 偏向线圈 接物透镜 样品室 真空帮浦 样品 偏向放大器 扫描电子束 灯丝 灯丝盖 倍率控制 偏向线圈
影像讯号 二次电子侦测器 讯号放大器
掃描式电子显微镜的透镜系統
掃描式電子顯微鏡放大原理
主電源 鍵盤 滑鼠
THE END
Presented by Patrick Lee Harvest Scientific Corporation
水冷管路
噴氣塔
排氣口
擴散油 加熱器
渦輪幫浦構造
(Turbo Molecular Pump) 進氣口
渦輪葉片
排氣口
離子幫浦構造 (Ion Pump)
氣體離子化
外加磁場
鈦板 高壓
真空幫浦工作範圍比較表
電子槍剖面圖
魚 眼 模 式
環 境 模 式
景深模式
高解析模式
電子槍 操作器 樣品室
螢幕 LVSTD
T E M 樣 品 製 作 過 程
Ion Milling原理構造
Focus Ion Beam樣品處理
T E M 的 電 子 繞 射 圖
Au
二次電子偵測器
激發大量二次電子訊號
電子束
二次電子偵測器
激發大量二次電子訊號
電子束 二次電子 二次電子偵測器
激發大量二次電子訊號
特性X-Ray
電子束 二次電子 二次電子偵測器
像散
Low Vacuum Secondary Tescan Detector
低真空影像比較圖(BSE)
50 pa
1000 pa
1500 pa
2000 pa
真空系統剖面圖
油迴轉式幫浦原理 (Oil Rotary Pump)
油擴散式幫浦構造
(Oil Diffusion Pump)
進氣口
特性X-Ray 背向散射電子 陰極冷光
電子束 二次電子 二次電子偵測器
激發大量二次電子訊號 樣品表面電流
穿透電子
特性X-Ray 背向散射電子 陰極冷光
電子束 二次電子 二次電子偵測器
激發大量二次電子訊號 樣品表面電流
散射穿透電子
穿透電子
特性X-Ray 背向散射電子 陰極冷光
電子束 二次電子 二次電子偵測器
激發大量二次電子訊號
特性X-Ray 背向散射電子
電子束 二次電子 二次電子偵測器
激發大量二次電子訊號
特性X-Ray 背向散射電子 陰極冷光
電子束 二次電子 二Βιβλιοθήκη Baidu電子偵測器
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