干涉仪的操作方法
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6.标准镜头的保养 6.标准镜头的保养
5. 安装及取下标准镜头时要规范操作; 6. 干涉仪标准镜头由专职人员清洁,其它任何单 位或个人禁止对其进行清洁; 7. 清洁都会很容易损坏标准镜头。我们必须正确 拿取标准镜头,在不使用时应将它们放回包装 盒内,并保护环境清洁,以最大限度减少清洁 的次数。
5.干涉仪的保养事项 5.干涉仪的保养事项 1. 在主体的非润滑面、光学器件和除标准镜头外的各附 件表面使用一块软布,擦去指印和灰尘等;
2. 显示器除了日常擦拭外壳及屏幕外,无需其它 维护; 3. 对干涉仪主机之螺丝、旋钮、螺杆、导轨用润 滑油或防锈油进行擦拭; 4. 检查干涉仪各紧固元件是否有松动,滑丝等现 象,保证其牢固可靠;
1.干涉仪的结构图 1.干涉仪的结构图
增益 激光器固定螺母
显示器开关
基准板调整钮
把柄
上下移动螺母
工作台
防震气垫
电源开关
1.干涉仪的结构图 1.干涉仪的结构图
观察 - 调整 聚焦 增益 柔和 – 鲜明
GAJN (增益):增减照射样品的激光的亮度。 FOCUS(聚焦):调整监视器画面焦点。 VIEW (观察)- ALIGNMENT(调整): 用来切换显示器的画面,从观察条纹时的画面切换到调整样口、基准板之前的倾角时 的画面。 SOFT (柔和)- SHARP(鲜明): 用来切换显示器的画面,从适合观察条的通常画面切换到适合观察样品细部构造的画面。
2.干涉仪镜头选用标准 2.干涉仪镜头选用标准
F N0 0.6 0.7 1 1.5 2 3 6 最终R 16 26 45 75 105 163 347 可测定的曲率 凸 1~16 2~26 2~45 2~75 2~105 2~163 16~347 凹 1~196 2~286 2~283.5 2~251.5 2~221 2~160 -----可测定的外径 凸 25.8 34.6 44.2 49.8 59.2 54.4 57.8 凹 200 200 200 104.6 63.5 23 ------
干涉仪标准镜头选用计算公式: 干涉仪标准镜头选用计算公式: (R:镜片 镜片R ,D:镜片外径 镜片外径) F=R/D (R:镜片R值,D:镜片外径) 若已知镜片R值为16,镜片外径为25.8,求出可选用标准镜头? 16,镜片外径为25.8,求出可选用标准镜头 例:若已知镜片R值为16,镜片外径为25.8,求出可选用标准镜头? 解:F=16/25.8=0.62 注:若无0.62的镜头时,只能选取比0.62小的镜头. 若无0.62的镜头时,只能选取比0.62小的镜头. 0.62的镜头时 0.62小的镜头 公式:D=R/F 公式:D=R/F
3.干涉仪的操作方法( F601为例 为例) 3.干涉仪的操作方法(以F601为例) 干涉仪的操作方法
4. 把控制杆1调到右测(先不放镜片) ALIGNMENT(调整),调整 标准镜头调节旋钮,显示器上出现亮点,将亮点移到显 示器画面的中央位置,再调节GAIN(增益)和FOCUS(聚 焦),使亮点明亮清晰。 5. 放置镜片,为了防止镜片与标准镜头相互碰撞,所以把工作 台调到下面,再上下移动工作台(将镜片的球心和标准镜头 焦点保持一致)。被测球面是凸面时工作台向标准镜头方 向移动,凹面时反向标准镜头移动,利用五个工作台上 的微调节器拉直条纹进行判定. 6. 测量完毕,先关闭显示器及显示器电源,最后半闭主体电源, 取下标准镜头,放入装置标准镜头的箱子里。
5.干涉仪的保养事项 5.干涉仪的保养事项
5. 点检者按规定定期负责气垫旋钮,气垫水 准,恒扭力弹簧,平衡微调旋钮,工作台 锁紧旋钮,X\Y轴微调旋钮的检查; 6. 对每项保养工作,予以如实记录TPM点检 保养状况。由担当者签名,管理人员作确 认。
6.标准镜头的保养 6.标准镜头的保养 1. 标准镜头属高精密元件,温度变化、振动、冲击都会 造成性能上的影响,因此使用时需特别小心,不要弄 脏和碰伤标准表面; 2. 上下移动工作台或Βιβλιοθήκη Baidu标准镜头时,应避免标准镜头被 碰伤; 3. 安装标准镜头时,应带上干净的手套或手指套将镜头 从箱子里取出旋转装到主机上,取下时应及时放入箱 内; 4. 不可将镜片掉入镜头中,操作时应杜绝标准镜头的任 何磕碰伤。
3.干涉仪的操作方法( F601为例 为例) 3.干涉仪的操作方法(以F601为例) 干涉仪的操作方法 1. 确认所接电源的否与使用的电源相符(一般情况显 示器为220V,主机为100V). 2. 打开电源开关,确认电源指示灯点亮后,开启显示 器、激光器大约需15分钟的稳定时间,待稳定后 开始测定作业. 3. 安装合适的被测镜片治具及标准镜头,治具必须安 装平稳、固定,若有晃动则很难顺利测量。
4.干涉仪的注意事项 4.干涉仪的注意事项
1. 必须先接好电源后再打开开关。干涉仪需安装 在牢固平坦的工作台上,不可受到较大的振动, 不能随意进行搬动。 2. 工作台锁紧旋钮在测量时需锁紧,否则会造成 振动,测量不稳定,上下移动工作台时注意不 要碰到镜头。 3. 不可随意将干涉仪主体及电源进行分解及改造。 任何人严禁进行干涉仪及附件包含电 脑、显示器及打印机等部件的内部维护。
4.干涉仪的注意事项 4.干涉仪的注意事项
4. 操作人员如发现仪器异常应及时通知相关维护 单位,不可擅自调整处理。 5. 干涉仪使用Ⅱ类低功率激光器,辐射输出是很低 的,虽然它不会伤害皮肤,但必须保护眼睛, 不要直视光束和明亮的反射点。 6. 因为接激光器的电源为高压电(瞬间高电太可达 2500V),接电源时需特别注意,要避免接线错 误。