某电子级磷酸生产厂房的净化空调设计
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洁 净面 积 为 ８ ｍ Ｓ ｌｓ６ 洁净 区 洁净 面积 为 ０ ，ＩＯＣ ａｓ
ａｒ ｃ ｎ ｉ ｏ ｉ ｇ ｓ ｓｅ ，ｉ ｔｒｏ ｅ ｉ ｎ ｔ ｅ ｅ ｍｉ ｅ ｔ ｅ ｐ ｒ ｍｅ ｅ ｓ ｖ ｎ ｉ ｔ ｎ ｆ ｑ ｅ ｃ ｆｕ ｅ ｏ ｄ ｔｒ ｉ ｅ ｔ ｅ ｖ ｌ ｍｅ ｏ ｉ ｏ ｄ ｔ ｎ ｎ ｙ ｔｍｓ ｎ ｅ ｉ ｒ ｄ ｓｇ ｏ ｄ ｔ ｒ ｎ ｈ ａ ａ ｔｒ ， ｅ ｔｌ ｉ ｅ ｕ ｎ ｙ ｏ ｓ ，ｔ ｅｅ ｉ ａｏ ｒ ｍ ｎ ｈ ｏ ｕ ｆ ｏ ｔ ｏ ｒａｒ ｎΒιβλιοθήκη Baiduｏ ｒｐ ｅ ｓ ｒ ｅｅ ｍｉ ａ ｉ ｎ ｔ ｅ ｆ ｒ ｏ ｉ ｄ ｓｒｂ ｔ ｎ ａｒｈ ｎ ｌ ｇ ｐ ｏ ｅ ｓ Ｔｈ ｔｃ ｎ ｂ ｈ ｓ ｎ ａ ｃ ｒ ｉ ｇ ｔ ｈ ｕ ｄ ｏ ｉ ，ｉ ｄ ｏ ｒ ｓｕ ｅ ｄ ｔ ｒ ｎ ｔ ， ｈ ｏ ｍ ｆ ｒ ｉ ｉ ｕ ｉ ， ｉ ａ ｄ ｉ ｒ ｃ ｓ ． ａ ａ ｅｃ ｏ ｅ ｃ ｏ ｄｎ ｏ ｔ ｅ ｏ ａ ｔ ｏ ｎ
况 选 择 正 压控 制 措 施 。 【 键 词 】 电子 级磷 酸 ； 净化 ； 空 调 ； 气 流 组 织 关
中图分类号 Ｔ ３ Ｕ８ ４
文献标识码
Ｂ
Ｃｌ ａ ｎｇ Ａｉ － ｏｎｄ ｔｏ ｎｇＤｅ ｉ ｎ ｆ ｅ ｔ ｏｎ ｃ Ｇｒ ｄｅＰｈｏｓ ｏｒｃＡｃ ｄ Ｗ ｏｒ ｈｏ ｅ ｎｉ ｒ ｃ ｉｉ ｎｉ ｓｇ ｏｒａ Ｅｌｃ ｒ ｉ ａ ｐｈ ｉ ｉ ｋｓ ｐ
Ｏ 引 言
电子级 磷酸 属 于高 纯磷 酸 ， 电子行业 使 用 的 是
一
和 分析 检测 过程 中， 对各个 环 节可 能接触 的污 染空 气 进行 洁净 化处 理 ，达 到相 应 的洁净度 要 求 。 文 本
种超 高纯 化 学试 剂 ， 于 电子化 学 品系列 产 品之 属
，
将对其生产厂房的洁净空调设计进行介绍。
一
是 电子工 业不 可替 代 的无 机化 工产 品。电子级
磷酸广泛用于大规模集成电路、 薄膜液 晶显示器等
微 电子 工业 ，主要 用 于芯 片 的清 洗 和蚀 刻 ，其 纯度 和 洁净 度对 电子 、元器 件 的成 品率 、电性 能及 可靠
１ 工 程 概 况
本 项 目为 １０ｔ 结 晶法 电子 级磷 酸 示 范 装 ００／ ａ 置， 其生 产厂 房利 用 公司 内闲 置厂房 及场 地进行 建 设 ，装 置主 厂房 为新 建建 筑 ，局部 三层 ，厂房 为框
污染， 因此必 须 在产 品制 备过 程 中和 分析检 测 过程 中， 对各 个环 节 可 能接触 的污 染 空气进 行 洁净 化处 理 ， 到 相应 的洁 净度 要求 。除工 艺 空气 必须 经物 达
级 结 晶 生 产洁 净 区及 其 配套 楼 梯 间洁 净级 别 为
ＩＯ Ｃａｓ，二级 结 晶生产 洁 净区及 其配 套楼梯 间 Ｓ ｌｓ７ 洁 净级 别 为 Ｉ０Ｃａｓ，二级 结 晶生产洁 净 区的灌 Ｓ ｌｓ６ 装 间 内含有 局部 ＩＯ Ｃｌ ｓ 洁净级 别 。其 中一 层 Ｓ ａ ５ ｓ ＩＯ Ｃａｓ 净 区洁净 面积 为 １０ ，ＩＯ Ｃａｓ Ｓ ｌｓ７洁 ２ｍ Ｓ ｌｓ６ 洁 净 区洁净 面积 为 ２ ５ ； 层 ＩＯＣａｓ ７ｍ 二 Ｓ ｌｓ７洁净 区
Ｗｅ ａ ｉ ｎ ｎｕ Ｙ
（ ｕ ｚ ｏ ａｔ ｈｎ ｎ ｉｅ ｒ ｇＣ ． ｔ ， ｕｙ ｎ ， ５ ０ ２） Ｇ ｉ ｕＥ ｓ Ｃ ｉａ ｇｎ ｅｉ ｏ Ｌ ｄ Ｇ ｉａ ｇ ５ ０ ０ ｈ Ｅ ｎ ，
［ ｂ ｔａ ｔ Ｗｉ ｘｍｐｅ， ｅｃｉｅ ｅ ｒｄ ｃｉｎｏ ｅｅｔ ｎ ｒｄ ｈ ｓｈ ｒ ｃｄ ｕｉｃｔ ｎｐａｔ ｅｉｎｐｉ ｉｌ ｆ Ａ ｓｒ ｃ］ ｔ ｅ ａ ｌｓｄｓｒ ｓｈ ｏ ｕｔ ｆ ｌ ｒ ｉ ｇａｅｐ ｏｐ ｏｉ ａｉ ｒ ａ ｏ ｌｎ ｓ ｒ ｃｐｅ ｏ ｈ ｂ ｔ ｐ ｏ ｃｏ ｃ ｃ ｐ ｆ ｉ ｉ ｄ ｇ ｎ ｓ
某 电子级磷酸生产 厂房 的净化空调设计
文 炎 菊
（ 贵州东华工程股份有限公司 贵 阳 ５００ ） ５０２
【 摘 要 】 结合实例 ，介绍 了电子级磷酸生产车 间净 化空调系统设计原则 、室 内设计参数 的确 定、换气 次数
的选用 、新风量 的确定 、室内正压的确定 、气流组 织形式、空气处理过程 。指 出，可根据实 际情
第 ２ 卷 增 刊 ５ ２１年 １ ０１ Ｏ月
制 冷 与 空 调
Ｒｅｒｇ ｒｔｏ ｎ ｒ ｎ ｉ ｏ ｉ ｇ ｆｉ ｅ ａｉ ｎ ａ ｄ Ａｉ Ｃｏ ｄ ｔ ｎｎ ｉ
Ｖ １ ５ Ｓ ｐ ｏ． ｕ ． ２ ０ｃ ． ０ １ １ ９ １ １ ｔ２ １ ．７ ～ ８
文章编号：１ ７ ．６ ２ （０ １ ６ １６ １ ２ １）增刊一７ ．３ １ ９０
ａ ｔ ｌｐ ｅ ｓ ｅｃ ｔｏ ｅ ｓ ｅ ． ｃｕａ ｒ ｓ ｕｒ ｏｎ ｒ ｌｍ ａ ｕｒ ｓ
［ ｙ ｒ ｓ Ｅｅｔ ｎｃｇａ ｅ ｈ ｓｈ ｒ ｉ； ｌ ｎｎ ； ｒ ｏ ｄｔ ｎｎ ； ｒ ｉｕｉｎ Ｋｅｗｏ ｄ ］ ｌ ｒ ｉ ｒｄ ｏｐ ｏｉ ａ ｄ Ｃｅ ｉ Ａｉｃ ｎ ｉｏ ｉｇ Ａｉｄｆ ｓ ｃｏ ｐ ｃｃ ａ ｇ ＿ ｉ ｏ
架 结 构 。根据 工艺 生 产 要 求 生产 厂 房 分 为非 洁 净 区、一 级 结 晶生产 洁净 区和 二级 结晶 生产洁 净 区。
一
性有很大影 响。 而环境控制是 电子级磷酸项 目的质 量 保 障体系 之 一 ，具有 十分 重 要作 用 。大气 中所含 尘 埃和 多杂 质 ， 会对 高纯 度 的 电子 级 磷酸 产 品造成
ａｒ ｃ ｎ ｉ ｏ ｉ ｇ ｓ ｓｅ ，ｉ ｔｒｏ ｅ ｉ ｎ ｔ ｅ ｅ ｍｉ ｅ ｔ ｅ ｐ ｒ ｍｅ ｅ ｓ ｖ ｎ ｉ ｔ ｎ ｆ ｑ ｅ ｃ ｆｕ ｅ ｏ ｄ ｔｒ ｉ ｅ ｔ ｅ ｖ ｌ ｍｅ ｏ ｉ ｏ ｄ ｔ ｎ ｎ ｙ ｔｍｓ ｎ ｅ ｉ ｒ ｄ ｓｇ ｏ ｄ ｔ ｒ ｎ ｈ ａ ａ ｔｒ ， ｅ ｔｌ ｉ ｅ ｕ ｎ ｙ ｏ ｓ ，ｔ ｅｅ ｉ ａｏ ｒ ｍ ｎ ｈ ｏ ｕ ｆ ｏ ｔ ｏ ｒａｒ ｎΒιβλιοθήκη Baiduｏ ｒｐ ｅ ｓ ｒ ｅｅ ｍｉ ａ ｉ ｎ ｔ ｅ ｆ ｒ ｏ ｉ ｄ ｓｒｂ ｔ ｎ ａｒｈ ｎ ｌ ｇ ｐ ｏ ｅ ｓ Ｔｈ ｔｃ ｎ ｂ ｈ ｓ ｎ ａ ｃ ｒ ｉ ｇ ｔ ｈ ｕ ｄ ｏ ｉ ，ｉ ｄ ｏ ｒ ｓｕ ｅ ｄ ｔ ｒ ｎ ｔ ， ｈ ｏ ｍ ｆ ｒ ｉ ｉ ｕ ｉ ， ｉ ａ ｄ ｉ ｒ ｃ ｓ ． ａ ａ ｅｃ ｏ ｅ ｃ ｏ ｄｎ ｏ ｔ ｅ ｏ ａ ｔ ｏ ｎ
况 选 择 正 压控 制 措 施 。 【 键 词 】 电子 级磷 酸 ； 净化 ； 空 调 ； 气 流 组 织 关
中图分类号 Ｔ ３ Ｕ８ ４
文献标识码
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Ｃｌ ａ ｎｇ Ａｉ － ｏｎｄ ｔｏ ｎｇＤｅ ｉ ｎ ｆ ｅ ｔ ｏｎ ｃ Ｇｒ ｄｅＰｈｏｓ ｏｒｃＡｃ ｄ Ｗ ｏｒ ｈｏ ｅ ｎｉ ｒ ｃ ｉｉ ｎｉ ｓｇ ｏｒａ Ｅｌｃ ｒ ｉ ａ ｐｈ ｉ ｉ ｋｓ ｐ
Ｏ 引 言
电子级 磷酸 属 于高 纯磷 酸 ， 电子行业 使 用 的 是
一
和 分析 检测 过程 中， 对各个 环 节可 能接触 的污 染空 气 进行 洁净 化处 理 ，达 到相 应 的洁净度 要 求 。 文 本
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，
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一
是 电子工 业不 可替 代 的无 机化 工产 品。电子级
磷酸广泛用于大规模集成电路、 薄膜液 晶显示器等
微 电子 工业 ，主要 用 于芯 片 的清 洗 和蚀 刻 ，其 纯度 和 洁净 度对 电子 、元器 件 的成 品率 、电性 能及 可靠
１ 工 程 概 况
本 项 目为 １０ｔ 结 晶法 电子 级磷 酸 示 范 装 ００／ ａ 置， 其生 产厂 房利 用 公司 内闲 置厂房 及场 地进行 建 设 ，装 置主 厂房 为新 建建 筑 ，局部 三层 ，厂房 为框
污染， 因此必 须 在产 品制 备过 程 中和 分析检 测 过程 中， 对各 个环 节 可 能接触 的污 染 空气进 行 洁净 化处 理 ， 到 相应 的洁 净度 要求 。除工 艺 空气 必须 经物 达
级 结 晶 生 产洁 净 区及 其 配套 楼 梯 间洁 净级 别 为
ＩＯ Ｃａｓ，二级 结 晶生产 洁 净区及 其配 套楼梯 间 Ｓ ｌｓ７ 洁 净级 别 为 Ｉ０Ｃａｓ，二级 结 晶生产洁 净 区的灌 Ｓ ｌｓ６ 装 间 内含有 局部 ＩＯ Ｃｌ ｓ 洁净级 别 。其 中一 层 Ｓ ａ ５ ｓ ＩＯ Ｃａｓ 净 区洁净 面积 为 １０ ，ＩＯ Ｃａｓ Ｓ ｌｓ７洁 ２ｍ Ｓ ｌｓ６ 洁 净 区洁净 面积 为 ２ ５ ； 层 ＩＯＣａｓ ７ｍ 二 Ｓ ｌｓ７洁净 区
Ｗｅ ａ ｉ ｎ ｎｕ Ｙ
（ ｕ ｚ ｏ ａｔ ｈｎ ｎ ｉｅ ｒ ｇＣ ． ｔ ， ｕｙ ｎ ， ５ ０ ２） Ｇ ｉ ｕＥ ｓ Ｃ ｉａ ｇｎ ｅｉ ｏ Ｌ ｄ Ｇ ｉａ ｇ ５ ０ ０ ｈ Ｅ ｎ ，
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某 电子级磷酸生产 厂房 的净化空调设计
文 炎 菊
（ 贵州东华工程股份有限公司 贵 阳 ５００ ） ５０２
【 摘 要 】 结合实例 ，介绍 了电子级磷酸生产车 间净 化空调系统设计原则 、室 内设计参数 的确 定、换气 次数
的选用 、新风量 的确定 、室内正压的确定 、气流组 织形式、空气处理过程 。指 出，可根据实 际情
第 ２ 卷 增 刊 ５ ２１年 １ ０１ Ｏ月
制 冷 与 空 调
Ｒｅｒｇ ｒｔｏ ｎ ｒ ｎ ｉ ｏ ｉ ｇ ｆｉ ｅ ａｉ ｎ ａ ｄ Ａｉ Ｃｏ ｄ ｔ ｎｎ ｉ
Ｖ １ ５ Ｓ ｐ ｏ． ｕ ． ２ ０ｃ ． ０ １ １ ９ １ １ ｔ２ １ ．７ ～ ８
文章编号：１ ７ ．６ ２ （０ １ ６ １６ １ ２ １）增刊一７ ．３ １ ９０
ａ ｔ ｌｐ ｅ ｓ ｅｃ ｔｏ ｅ ｓ ｅ ． ｃｕａ ｒ ｓ ｕｒ ｏｎ ｒ ｌｍ ａ ｕｒ ｓ
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架 结 构 。根据 工艺 生 产 要 求 生产 厂 房 分 为非 洁 净 区、一 级 结 晶生产 洁净 区和 二级 结晶 生产洁 净 区。
一
性有很大影 响。 而环境控制是 电子级磷酸项 目的质 量 保 障体系 之 一 ，具有 十分 重 要作 用 。大气 中所含 尘 埃和 多杂 质 ， 会对 高纯 度 的 电子 级 磷酸 产 品造成