磁悬浮涡轮分子泵故障分析

磁悬浮涡轮分子泵故障分析

磁悬浮涡轮分子泵的工作原理

1）Alcatel 磁悬浮涡轮分子泵配备了能对马达进行五维控制的磁性轴承.

2）通过电磁线圈产生的磁力，加上位置传感器的协助，从而控制转子的定位，确保不会发生任何摩擦

3）温度传感器监视泵体参考温度

基于泵体温度以及设置，冷却水阀和加热装置轮流开关

本系统温度非常稳定 (变化 < 1°C)温度可在 31 到 75°C间设定，此范围涵盖了半导体工艺中所有苛刻条件的工艺，温度可在 31 到 75°C间设定，此范围涵盖了半导体工艺中所有苛刻条件的工艺

2、常见故障现象

1）D00: Pump Seized

故障原因：转子卡死。

解决办法：更换同型号泵

故障分析：转子卡死的原因是泵内部有大量的粉尘凝结在转子表面''''''''转子与驱动马达的联结出造成。

预防措施：使用带加热带的泵，并使温度控制在65℃-75℃；机台停机保养前先用Ｎ２做长时间的吹扫，时间为３0 分种左右。

2）D14:V13'''''''' D15:W13'''''''' D16:V24 D17:W24'''''''' D18:Z12

故障原因：转子五维系统失衡

解决办法：尝试重新启动泵的运转，观察是否有震动和噪音，如有此现象，建议更换控制器。如再次出现错误代码，考虑更换泵。

故障分析：很多时候是５坐标系统的传感器或是连接电缆失效。

预防措施：避免外部的震动和干扰

3）D26: No Connect

故障原因：控制器和泵之间的连接出现问题

解决办法：检查控制器和泵之间的连接，主要是检查电缆接头处是否有松动，接头是否有异样，如烧焦的痕迹．

故障分析：此问题多是由接头处连接不良引发

预防措施：确保安全的连接