真空钎焊设备操作说明---杨成刚

第一章真空高温钎焊炉操作说明

一、准备工作：

1、将车间总控断路器合闸，确认控制柜与晶闸管电源处于允许供电状态后，将

两路断路器分别合闸。观察设备控制柜上方A相、B相、C相指示灯全部亮

起，否则检查进线三相是否缺相。

2、将压缩空气干燥机供电断路器合闸，压缩空气干燥机自动运行开始工作，设

备正常工作需要压力≥0.6MPa。

3、控制柜上电后处于“工作停止”状态，按下控制柜“工作允许”按钮（当“急

停”处于触发状态时，“工作允许”不能启动），指示灯亮起后进入操作准备

状态。

4、检查冷却系统各个阀门处于正常工作状态，水位充足，将冷却系统电源打开。

5、确认设备所有电机、真空泵、电磁阀、手动充/放气阀门处于关闭到位状态；

若采取充气冷却，需提前检查工艺气体储气罐压力是否充足。

6、若设备装料完毕，准备进行抽真空工作，确认操作工艺后，将工艺曲线输入

至DCP31温控仪（最上面的温控表），输入完毕后再进行确认。

二、手动操作步骤

1、通过真空计/电接点压力表确认，如加热室内为真空状态，需要对炉内进行

平衡大气（放入空气），以便开启炉门；关闭真空计电源，点击“炉门开”

按钮，观察炉门松到位后，点击“放气阀”按钮，通过声音及电接点压力表

判断是否平衡大气过程结束；手动将炉门打开后，关闭“放气阀”，进行装

料/取料。抽真空准备工作完毕后，操作人员将炉门推至关闭位置后，开启

“旋片泵”，随即开启“低真空阀”，点击“炉门关”按钮，观察炉门关到位

后，打开真空计电源，待加热室压力（真空计读数）≤7.0E+2（700） Pa时，

开启“罗茨泵”，待加热室压力（真空计读数）≤6.0E+2（600）Pa时，开启“高真空阀”，观察高真空阀开启到位，5s后开启“扩散泵”，对扩散泵进行 45分钟预热至275℃以上；预热结束后，关闭“低真空阀”，观察“低真空阀”关闭到位后，开启“主抽阀”，主抽阀开启到位后，加热室进入完全抽

空状态。

2、根据工艺要求，在达到允许加热的真空度条件下，按下“加热”按钮（此时

充放气阀门应全部置于关闭状态），晶闸管调压器启动（请操作人员检查调

压器上方3组风扇是否处于工作状态），会根据预先设定的曲线自动升温并

控温，直至曲线执行完毕。

3、自然冷却：加热停止后（晶闸管加热电源会自动关闭），保持对加热室抽真

空状态，直至加热室温度降至工艺要求允许出炉温度后（350℃以下），依次

关闭“主阀”、“扩散泵”，待扩散泵冷却至150℃以下时，依次关闭“高真空

阀”、“罗茨泵”、等待60s后（罗茨泵电机叶片停止快速转动），关闭“旋片

泵”。

4、充气冷却：加热停止后，依次关闭“主抽阀”、“扩散泵”，进行扩散泵的油

冷降温。

注：关闭真空计电源，锁紧炉门，随后检查连接至充气管路的保护气体压力是否充足，确认充足后，将储气瓶减压阀开启，并将充气管路中手动充气阀开启，点击“充气阀”按钮，迅速充气，在压力达到0MPa时开启风机，进行快速冷却（最大充气压力为0.02MPa，最小充气压力为-0.02MPa，充气阀将自动开关使压力保持在两者之间，充气时操作人员务必要注意设备运转情况，如果调节出现异常，请手动控制充气阀和风机，以免发生事故），温度下降至工艺要求允许出炉温度后，风机自动关闭，并手动关闭充气阀。

此时若需要进行取料，待60s风机停转后，开启“放气阀”，对炉内进行平衡大气，过程结束后关闭“放气阀”、“高真空阀”、“罗茨泵”。开启“低真空阀”、真空计电源，对炉体重新抽空，然后根据对应真空度，依次开启“罗茨泵”，““高真空阀”，

继续对扩散泵进行冷却抽空。此时点击“炉门开”按钮，使炉门松开到位，关闭“低真空阀”，点击“放气阀”按钮，对炉内进行平衡大气，关闭“放气阀”，此时炉门与齿圈摩擦力较大，无法松开炉门，需要打开旋片泵，对炉体抽空一会后，才能松开炉门，打开放气阀，待炉内外气压平衡后，手动打开炉门，进行取料/装料。待扩散泵油冷降温结束后，依次关闭“高真空阀”、“罗茨泵”及“旋片泵”。

三、设备操作注意事项

1、设备运行前，检查水、电、气，确保工作条件准备好。

2、抽空前检查手动放气阀及手动充气阀是否关闭到位。

3、罗茨泵工作条件为“真空度≤7.0 E2 Pa”。

4、扩散泵与主阀开启条件为“真空度≤6.0 E2 Pa”，防止炉体内真空度过低，导

致扩散泵油氧化。

5、粗抽阀与主阀不可同时开启，避免扩散泵工作时对加热室抽空失效。

6、主阀的开启条件为“真空度≤7.0 E0 Pa”，保证充放气系统所有阀门处于关闭

状态。

7、充气阀工作压力为≤0.01MPa，当炉体内压力达到≥0.04MPa时，设备执行超压报

警，放气阀自动开启，当压力低于充气压力上限值时，放气阀自动关闭。

8、充气时保证炉门锁紧圈处于锁紧到位状态，避免造成事故。

9、分压阀根据工艺要求进行对炉内压力的较小范围调节。

10、风机工作压力范围为“-0.03MPa—0.03MPa”，压力过小会导致风机在真空下放

电，极容易造成电机烧毁，炉内压力不在此范围时，风机自动停止。

11、风机启动采用星/三角启动方式，考虑到减小启动电流，转换时间为15s。

12、炉门锁紧/松开均有5s延时，用于一名操作人员装料准备时间。

13、加热时炉门必须锁紧到位，充放气系统处于关闭状态。

14、水压过低会造成设备缺水报警，同时停止当前正在进行的加热/风冷等过程，中

断自动程序运行。

15、水压过低3min，会停止扩散泵工作。

16、自动程序中断后不可恢复，避免误操作。

四、设备维护及易出现问题小结

1、手动/自动程序在运行中依靠各个到位指示开关做到动作互锁，设备运行一段时

间，由于震动等其他原因会出现到位信号脱落或偏移，通过指示灯可观察并进行相应信号的归位。

2、设备在非人为操作的状态下，阀门及各机构出现的由开至关的动作，是由程序的

互锁对机构进行的保护，原因可能为某些到位信号的丢失或是单个机构的停止工作，或是真空度发生的突然变化（一般为真空度突然降低）。

3、考虑到晶闸管电源的使用寿命，在设备调试完毕后一般将设备加热输出功率控制

在≤80%，若影响正常工艺使用，可进行功率限制解除。

4、温控仪的排列顺序从上到下对应热偶的位置依次为：中、前、后。热电偶类型为： B偶，0-1600℃。该类热偶在600℃下误差较大，属正常现象。

记录仪数据保存时间为每分钟一次，可以将记录仪中数据下载到CF卡，再拷贝到电脑中，打印历史数据。

编辑温控仪升温曲线

在仪表基本运行显示状态，首先按“PROG”键或“↓”键选择一条曲线号，同时按下“FUNC”和“PROG”键，仪表进入程序设定状态，（若之前此条曲线未被编辑）仪表两个显示窗均显示----，同时SP和TM的LED指示灯点亮，表示仪表该曲线为空，按ENT键可进入修改状态；如此时，显示器已经有数值显示，则次操作可察看原来的设定，按ENT建可进入修改状态。

1、目标值与运行时间设定

进入程序设定状态后，按“ENT”键可进行修改，以“↑”、“↓”、“←”、“→”修改完后，按ENT键确认修改。

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