四探针方法测电阻率资料

退出电流开关，数字显示恢复到零位.
实验数据
通过修正公式修正后，得到：
与实验预期结果相吻合，因 此该验证公式较为理想。
<五> 注意事项
1、电流量程开关与电压量程开关必须放在 下表所列的任一组对应的量程
电压 量程 2V 200m 20mV 2mV V 0.2m V
电流 100m 10mA 1mA A 量程
100μ 10μA A
2、 电阻（V/I）测量，用四端测量夹换下回探 针测试架，按下图接好样品，选择合适的电压 电流量程，电流值调到10.00数值，读出数值 为实际测量的电阻值。
3、方块电阻测量，电流调节在4.53时，读出数值 10倍为实际的方块电阻值。 4、薄片电阻率测量：当薄片厚度>0.5mm时，按 公式（ 3 ）进行；当薄片厚度 <0.5mm 时，按 公式（4）进行。 5、仪器在中断测量时应将工作选择开 关置于“短路”；电流开关置于弹出
断开位置。
<六>心得体会
一、通过对四探针法的研究，我们探索到了测 电阻率时需要的修正函数（厚度修正函数以及 形状和测量位置的修正函数）。 二、体会了研究性实验的探索过程，感悟了科 学研究历程的愉悦。 三、推广了四探针法的测量范围，可以对不规 则硅晶片进行测量计算。
于“短路”，拨动电流和电压量程开关，置
于样品测量所合适的电流、电压量程范围。 调节电压表的粗调细调调零，使显示为零。
1.显示板 2、单位显示灯 3、电流量程开关 4、工作 选择开关（短路、测量、调节、自校选择）5、电 压量程开关6、输入插座7、调零细调8、调零粗调9、 电流调节10、电源开关11、电流选择开关 12、极性 开关
四探针方法测量不规则半导体
的电阻率
〈一〉实验目的
〈二〉实验原理
〈三〉实验步骤
〈四〉注意事项
〈五〉心得体会
<一> 实验目的
1、测量不规则半导体电阻率 2、验证四探针法修正公式
<二> 实验原理
理想情况下，四根探针 位于样品中央，电流从探 针1流入，从探针4流出， 则可将1和4探针认为是点 电流源。2、3探针的电位 差为：
半无穷大样品点电流源 的半球等位面
由此可得出样品的电阻率为：
簿片电阻率测量 簿片样品因为其厚度与探针间距比较， 不能忽略，测量时要提供样品的厚度形 状和测量位置的修正系数。
下面考虑一般情况下的修正：
当圆形硅片的厚度满足W/S＜0.5时，电阻率为：
W 1 d 0 D( ) S 2 ln 2 S
6、工作状态选择开关置于“测量”，按下电流开关 输出恒定电流，即可由数字显示板和单位显示灯 直接读出测量值。再将极性开关拨至下方（负极 性），按下电流开，读出测量值，将两次测量值 取平均，即为样品在该处的电阻率值。关如果 “±”极性发出闪烁信号，则测量数值已超过此电 压量程，应将电压量程开关拨到更高档，读数后
这就是我们实验时用到的公式
下面通过实验数据验证该修正公式的正确性：
<三> 实验步骤
1、测试准备：电源开关置于断开位置，工作 选择置于“短路”，电流开关处于弹出切断 位置。将测试样品放在样品架上，调节高度 手轮，使探针能与其表面保持良好接触。
2、打开电源并预热１小时。
3wk.baidu.com极性开关置于上方，工作状态选择开关置