关于MEMS三分量数字检波器施工使用的几点思考

０ 引 言
检波 器 是地 震 数 据采 集 的 核心 部件 之 一 ， 它 直
接决 定 了地震 资料 的 品质 。近 年 来 ， 随着 油气 勘 探 的逐 步深 入和勘 探 难 度 的不 断 加 大 ， 多 波 地震 勘 探 技术 越来 越受 到重 视 ， 而 多 波 地震 数 据 的 质量 在 很 大程 度上 取决 于 三 分量 地 震 检 波器 的性 能＿ ｌ Ｊ 。原
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２ ０ １ ３ 年２ 月
物 探 装 备
第２ ３ 卷
第１ 期
关 ＭＥ ＭＳ三 分 量 数 字检 波 器 施工使 用的几点思考
甘 志 强 杨 海 陈 静
（ 东 方 地 球 物 理 公 司 装备 服务 处 仪 器 服 务 中心 ， 河北涿州 ０ ７ ２ ７ ５ ０ ）
到 的几个 问题 ， 并 阐述 了 ＭＥ ＭＳ三分量 数字 检波器
进行 野外 采集 时应 当注 意 的事 项 。
１ 两 种 典 型 的 ＭＥ ＭＳ数 字 检 波 器
ＭＥ ＭＳ数 字 检 波 器 的 技 术 核 心 是 微 机 械 电 子
技术 ， 它是 一 种 以硅 材 料 为基 底 ，采用 微 机 械加 工
Ｋｅ ｙ ｗｏ ｒ ｄｓ ｍ ｕｌ ｔ ｉ — ｃ ｏｍ ｐ ｏｎｅ ｎｔ ｓ ａ ｃ ｑ ｕｉ ｓ ｉ ｔ ｉ ｏｎ， Ｍ ＥＭ Ｓ ｄ ｉ ｇｉ ｔ ａ ｌ ｇ ｅ ｏｐ ｈｏ ｎｅ，ＳＶ ＳＭ ，ＤＳＵ ３
析 的基础 上 ， 探 讨 了 ＭＥ ＭＳ数 字检 波器 在施 工 中遇
摘
要
甘志强 ， 杨海 ， 陈 静 ．关 于 ＭＥ ＭＳ三 分 量 数 字 检 波 器 施 工 使 用 的 几 点 思 考 ． 物探 装 备 ． ２ ０ １ ３ ， ２ ３ （ １ ） ： ４ ６ ￣５ ０ 多波 采 集 技 术 作 为 一 种 有 效 的地 震 勘 探 方 法 ， 正在 被 业 内广 泛 接 受 。 而作 为 多 波 多分 量 地 震 数 据 采 集 核 心 部 件 之 一 的 三分 量 数 字 检 波 器 直 接 决 定 着 采 集 记 录 的 品质 。 本 文 在 分 析 两 种 目 前 使 用 较 多 的 ＭＥ ＭＳ数 字 检 波 器——ｓ Ｖｓ Ｍ、 Ｄ Ｓ Ｕ３工 作 原 理 的基 础 上 ， 探 讨 了 ＭＥ ＭＳ数 字 检 波 器 在 施 工 使 用 中 的 几 个 问题 ， 并 指 出 了在 野 外 采 集 时 应 当注 意 的 事项 。 关键 词 多波 多 分 量 采 集 ＭＥ ＭＳ检 波 器 Ｓ ＶＳ Ｍ Ｄ Ｓ Ｕ３
机械 系统 。原 美 国 Ｉ ／ Ｏ公 司 以及 法 国 Ｓ ｅ ｒ ｃ ｅ ｌ 公 司 先后 推 出了基 于 ＭＥ ＭＳ技 术 的 Ｓ ＶＳ Ｍ和Ｄ Ｓ Ｕ３三 分量 数 字 检 波 器 。这 两 种 新 型 检 波 器 具 有 单 点 接
美国 Ｉ ／ Ｏ、 法国 Ｓ ｅ ｒ ｃ ｅ ｌ 等 公 司先 后推 出基 于 ＭＥ ＭＳ
工 艺和 集成模 块 工艺所 加 工 出的 电容 式微 机械 加速 度 计 ，是集 微 型 化 的传 感 器 、执 行 器 、信 号 处理 器 以及控 制 电路 、接 口电路和 电源 为一 体 的微 型 电子
２ ０ １ ３， ２ ３ （ １ ） ：４ ６～ ５ ０
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