抛光片标准规格及术语.

ASTM American Society for Testing and Materials
• 美国材料与试验学会 • ASTM成立于1898年，是世界上最早、最大的非盈利性标
准制定组织之一，任务是制订材料、产品、系统和服务的 特性和性能标准及促进有关知识的发展。
• 随着业务范围的不断扩大和发展，学会的工作不仅仅是研 究和制定材料规范和试验方法标准，还包括各种材料、产 品、系统、服务项目的特点和性能标准，以及试验方法、 程序等标准。100多年以来， ASTM已经满足了100多个 领域的标准制定需求，现有32000多名会员，分别来自于 100多个国家的生产者、用户、最终消费者、政府和学术 代表。
SEMI 标准内容
Table of contents-Topical
Silicon & Silicon On Insulator Silicon Material & Process Contral Package Specification & Test Method
SEMI M/T SEMI MF SEMI G
Gases – Process Process Chemicals – Acids Chemical and Gas Testing
Automated Material Handling Ststems Equipment Facilities Interface Minienvironments
Tubing, Fittings, and Valves High Purity Piping Systems
硅片标准简介
工艺部
目录
• 标准化组织 • SEMI 标准内容 • SEMI M1-1109
标准化组织
SEMI
Semiconductor Equipment and Materials International
• 国际半导体设备材料产业协会 • SEMI是一个全全球高科技领域的专业协会，创立于1970年，
Statistical Control Safety Guidilines Terminology
SEMI C SEMI C SEMI C/F
SEMI D/E/G/S SEMI E/Fபைடு நூலகம்SEMI E/F
SEMI F SEMI E/F
SEMI E/M SEMI S SEMI D/E/M/P
Table of contents – SEMI M Topical
拥有会员公司2300多家，会员乃从事半导体和平面显示灯 方面的研发、生产和技术供应的公司。
• SEMI (国际半导体设备材料产业协会) 是全球性的产业协 会，致力于促进微电子、平面显示器及太阳能广电等产业 供应链的整体发展。会员涵括上述产业供应链中的制造、 设备、材料与服务公司，是改善人类生活品质的核心驱动 力。自从1970年至今，SEMI不断致力于协助会员公司快速 取得市场咨询提高获利率、创造新市场、克服技术挑战。
• Silicon
• SEMI M1 Specifications for polished monocrystalline silicon wafers • SEMI M2 Specification for silicon epitaxial wafers for discrete device applications • SEMI M6 Specification for silicon wafers for use as photocoltaic solar cells • SEMI M8 Specification for polished monocrystalline silicon test wafers • SEMI M11 Specifications for silicon epitaxial wafers for integrated circuit application • SEMI M12 Specification for serail alphanumeric marking of the front surface of wafers • SEMI M16 Specification for polycrystalline silicon • SEMI M17 Guide for a universal wafer grid • SEMI M18 Format for silicon wafer specification form for order entry • SEMI M20 Practice for establishing a wafer coordinate system
JEITA
• 日本电子信息技术工业协会
• Japan Electronics and Information Technology Industries Association是一家行业团体，其宗旨在于促进电子设备、 电子元件的正常生产、贸易和消费，推动电子信息技术产 业的综合发展，为日本的经济发展和文化繁荣作出贡献。 目前，正积极致力于解决电子材料、电子元器件、最终产 品等众多领域的各种课题。JEIDA及EIAJ合并后产生。
Specifications for Polished Single Crystal Silicon Wafers
• Revision History
• SEMI M1-1109 (technical revision) • SEMI M1-0309E (editorial revision) • SEMI M1-0309 (technical revision) • SEMI M1-0707 (technical revision) • SEMI M1-0307 (technical revision) • SEMI M1-1106 (technical revision) • SEMI M1-1105E (editorial revision) • SEMI M1-1105 (technical revision) • SEMI M1-0305 • SEMI M1-0704 (designation update) • SEMI M1-1103 (designation update) • SEMI M1-0302 (technical revision) • SEMI M1-0701E (editorial revision) •