德国蔡司钨灯丝扫描电镜EVO MA10技术说明

德国蔡司钨灯丝扫描电镜技术文件

仪器型号：EVO MA10

北京欧波同光学技术有限公司

2017年09月07日

目录

一、聚焦CARL ZEISS (3)

二、产品概述 (4)

三、技术参数 (5)

四、计划进度及培训 (7)

五、环境要求 (8)

六、质保及其他服务 (9)

一、聚焦CARL ZEISS

世界可见光及电子光学的领导企业—德国蔡司公司始创于1846年。其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。积扫描电镜领域50年及透射电镜领域60多年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：

•第一台静电式透射电镜(1949)

•第一台商业化扫描电镜(1965)

•第一台数字化扫描电镜(1985)

•第一台场发射扫描电镜(1990)

•第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)

•第一台具有Koehler照明的200kV 场发射透射电镜(2003)

•第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)

CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子

领域无可撼动的王者地位。自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、扫描离子显微镜等全系列解决方案。其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。

欧波同有限公司做为Carl Zeiss 集团显微镜事业部的战略合作伙伴，在北京，上海，广州，鞍山、济南、郑州、西安等地设有营销机构和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。

二、产品概述

扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背散射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。

扫描电镜已广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。在材料科学、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

蔡司的EVO系列扫描电镜广泛应用于材料和生命科学领域，能够为您提供更高分辨率的图像和更丰富的组织细节；在低电压下，借助电子束减速和高分辨背散射电子成像技术获取出色的样品形貌细节。您还可以在可变环境下实时观察材料的相互作用；借助自动化工作流程实现高效应用。EVO独一无二的X射线几何学设计能确保在分析工作条件下达到最佳分辨率。

三、技术参数

EVO MA10多功能多用途扫描电镜。EVO MA10是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高、低真空成像功能，可对各种材料表面进行分析。并且具有业界领先的X射线分析条件，样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。EVO MA10可以提供较大的X-Y样品台行程，并具有最佳的可重复性。它是颗粒和枪击残留物（GSR）分析等高效应用的理想之选。

主要参数

1、光学系统

1.1、发射源：钨灯丝。可选择普通灯丝或预对中式灯丝。具有自动电子枪启动，自动对中，自动选择电子枪偏压功能。

1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。

1.3、光阑：三级可调物镜光阑，能快速对光阑孔定位，并可作电子束自动对中。

1.4、加速电压：0.2-30kV，10V步进连续可调。

1.5、电子束位移：±20µm。

1.6、放大倍数：7-1,000,000×

1.7、分辨率：3.0nm@30kV（SE）3.5nm@30 kV（VP、SE）

1.8、探针电流范围：0.5 pA-5 μA，连续可调。

2、真空系统

2.1、真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。

2.2、真空度：最高真空度：优于2×10-4Pa；

超低真空压力范围：10Pa-400Pa；

在10Pa－133Pa范围内无需安装压差光阑就可实现高低真空自由切换。

2.3、抽真空时间：小于3分钟。

3、样品室

3.1、样品室类型：高刚性、圆形、厚壁，大样品室。

3.2、样品室内部尺寸：310mm（φ）×220mm（h）。

3.3、可放置的最大样品尺寸：直径230mm，高度100mm

3.4、最大允许样品重量：不小于5kg。

3.5、样品台移动方式：5轴电动计算机优中心。

3.6、样品台移动范围：X=80mm, Y=100mm, Z=35mm,T=-10°—90°, R =360°。

3.7、样品台具有接触报警与自动停止功能。

3.8、具备样品位置感知功能。

3.9、X射线分析条件：出射角35度；

分析工作距离：8.5 – 20 mm。

4、探测、成像系统

4.1、高真空二次电子探测器。

4.2、背散射电子探测器。

4.3、具有X射线能谱仪接口。

4.4、探测器成像模式：同时对二次电子和背散射电子成像，可用分屏方式同时显示两种图像，并可在一种图像中任意位置显示另外一种图像。

4.5、扫描方式：全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿。

4.6、整机系统控制要求独立控制单元，为检修提供方便。

4.7、图像解析度：3072x 2304像素（最大）。

4.8、图像控制：最高电子光学性能与易用性相结合的OptiBeam模式（分辨率模式、景深模式、分析模式、视场模式）。

4.9、操作系统：Windows7，灵活易用的SmartSEM扫描电镜操作控制软件。

4.10、显示器：24" TFT