PLD操作流程

PLD基本操作流程

PLD系统构成：电源及水循环系统，激光器，真空腔，电源控制面板。

一．准备

1．登记使用记录，全程操作请佩戴手套和口罩；

2．按下系统总控制开关；

3．打开激光器电源预热；

4．安装靶材及基片：旋开腔门旋钮，打开气瓶和“充气阀”开关充气，腔门自动弹开，关闭“充气阀”和气瓶开关。

5．选好靶位，在靶托和样品托上分别装上靶材和基片，放入并关上真空腔门。

二. 抽真空操作

1.进入控制面板系统，检查所有阀门是否处于关闭状态，打开“旁抽阀”，

按下“机械泵”按钮，开始初步抽真空；

2.按下复合真空计电源开关，观察真空计数值（右侧为低真空度指标面板，

最低值为10-1Pa，高于此值自动跳转到左侧高真空度面板）；

3.当真空度小于5pa时，关闭“旁抽阀”，然后打开“电磁阀”；等待2分

钟后打开分子泵；待分子泵追踪示数达到1000转以上，开启连接真空腔

与分子泵的“闸板阀”；

4.当真空度达到工作要求（至少10-5pa）后，便可进行下一步操作。三．关机操作

1. 待镀膜完成后，关闭“闸板阀”；关闭分子泵，分子泵在约十分钟后停止

工作，此时追踪示数为0，（若需重启，也需要等待分子泵停止工作后才

可以重新开启）；

2. 待分子泵停稳后关闭“电磁阀”；然后关闭“机械泵”；

3. 关掉控制面板上的靶，样品，激光，加热控制电源，关掉机械泵和真空

计；

4. 最后按下总控制电源“关闭按钮”，指示灯灭。