还原再氧化工艺下BaTiO3基PTCR元件的密度与其电性能

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ｃｍｐｒｄｔｉｇｅｐａｅ，ｅｒｏｒｓｔｉｎｒａｅｈｌｈＴｆｃｅｒａｅ．ｈｏｅｅｄｎｉｓｔｅｌｒｅｈａｏａｅｓｌｌｔｓｔｏｍｅｉｉｔｉｃｅｓｓｗｉｔｅＰＣｅｆｔｃｅｓｓＴｅｌｗｒｔｅｓｔｉ，ｈａｇｒｔｅｇｐｏｎｈｓｖｙｅｅｄｈｙｏｌｃｒｃｌｃａａｔｒｔｓｂｃｍｅ．ｈｏｍｅｅａｕｅｒｓｓｖｔｆｃｒｍｉｓｗｉｈｅａｉｅｄｎｉｆ７％ｔ３ｆｅｅｔａｈｃｅｓｉｅｏｓＴｅｒｏｔｍｐｒｔｒｅｉｔｉｏｅａｃｔｔｅｒｌｔｅｓｔｏ５ｉｒｉｃｉｙｈｖｙｏ８％ｉｅｓｂ－
趋势。含有内电极的电阻元件，对于不含内电极的瓷片，相电阻率有所升高，ＴＰＣ效应有所降低，密度越低，且含有内电极
的元件相对于不含内电极的瓷片的电性能变化更明显。相对密度在７％～３５８％之间的瓷片，空气中６０℃ 再氧化１在５ｈ
２１０１
仪表技术与传感器
ＩｓｕｎＴｃｎｑｅａｄＳｎｏｎｔｍｅｔｒｅｈｉｕｎｅｓｒ
２１０１
Ｎｏ１．０
第１期０
还原再氧化工艺下ＢＴＯａｉｒｍｉｓａｔｒｒ — ｘｄｚｄｉｉｇｅｏｔｈｓｎｆｄｎｉ．ｅｌｙｒｅｅｎｓｗｉｎａｒｏｉｋｌｉｔｒａｌｃｒｄｓａｃｆｅｏｉｉｅｎａｒｏｓｄｗｎｗｉｔｅｒｉｇｏｅｓｙＯｎ — ｅｌｍｅｔｔｏｅｐｉｆｎｃｅｎｅｎｌｅｅｔｏｅ，ｅｈｉｔａｈ
后，电阻率为６～２・ｍ，Ｔ其０１０１ｃＰＣ效应为２０２３个数量级，２．—．同一条件下的含有单对Ｎ电极的元件，电阻率在２０ｉ其０
２ａ１・ｍ以下。ＴＰＣ效应可达１５个数量级。．
关键词：密度；室温电阻率；ＴＰＣ效应
ＢａＯ３ＢａｅｅｍｉｔｒＳｎｅｅｎＲｅｕｉｇＡｔｏｐｅｅａｄＴｉｓｄＴｈｒｓｏｉｔｒｄｉｄｃｎｍｓｈｒｎ
ＲｅｘｄｚｄｉｒｏｉｉｅｎＡｉ
Ｈｕ－ｉｇＺＡｈｎ —ｈｎ，ｕＱｕｙｎＧＮｈ —ｉｇＺＯｏｇｘｎＵＹｎｘｎ，ＨＯＣｅｇｃｅｇＦｉ— ，ＯＧＳｕｐｎ，ＨＵＤｎ—ｉｇａｕａ（ｅａｔｎｆｌｃｏｉｃｎｅａｄＴｃｎｌｇ，ａｈｎｎｖｒｉｆｃｎｅａｄＴｃｎｌｇ，ｕａ３０４ＣｉａＤｐｒｍｅｔｅｔｎｃＳｉｃｎｅｈｏｏｙＨｕｚｏｇＵｅｓｙｏｉｃｎｅｈｏｏｙＷｈｎ４０７，ｈｎ）ｏＥｒｓｅｉｔＳｅ
胡云香，赵程程，傅邱云，龚树萍，周东祥
（华中科技大学电子科学与技术系，湖北武汉４０７）３０４
摘要：通过固相法制备出正温度系数热敏电阻（ＴＲ传感器，ＰＣ）并且通过烧结过程控制瓷体密度。还原气氛中烧结的
瓷片的电阻率随着密度的升高呈现逐渐降低的趋势，而再氧化后的瓷片的ＰＣ效应随着密度的升高也呈现逐渐降低的Ｔ
Ａｂｓｒｃ：ｏｏ — ｏｅｏｉｖｅｅａｕｅｃｅｃｅｔｈｒｓｏｓｗｒｒｐｒｄｔｒｕｈｓｌｔｔｔｏｎｈｅｓｙｏｔａｔＤｎｒｄｐｄｐｓｔｅｔｍｐｒｔｒｏｆｉｎｅｍｉｒｅｅｐｅａｅｏｇｏｉｓａｅｍｅｈｄａｄｔｅｄｎｉｆｉｉｔｔｈｄｔｃｒｍｉｓｗｒｏｔｌｄｔｒｕｈｔｅｓｎｅｉｇｐｏｅｓＲｓｌｈｗｔａｏｍｅｅａｕｅｒｓｓｉｉｆａｌｓｓｎｅｅｎｒｄｃｅａｃｅｅｃｎｒｌｈｏｇｈｉｔｒｒｃｓ．ｅｕｔｓｏｈｔｏｔｍｐｒｔｒｅｉｔｔｏｍｐｅｉｔｒｄｉｅｕ — ｏｅｎｓｒｖｙｓｉｇａｍｏｐｅｅｄｃｅｓｓａｏｇｗｉｈｅｓｙｉｃｅｓｓＴｅｐｓｔｅｔｍｐｒｔｒｏｆｃｅｔｏｅｉｔｉｈｒｃｅｓｉｓｏｅｎｔｓｈｒｅｒａｅｌｎｔｔｅｄｎｉｎｒａｅ．ｈｏｉｉｅｅａｕｅｃｅｉｎｆｒｓｓｉｔｃａａｔｒｔｆｃ — ｈｔｖｉｖｙｉｃ
中图分类号：Ｎ７Ｔ３３
文献标识码：Ａ
文章编号：０２—１４（０１１０４—０１０８１２１）０— ０３
ＲｅａｉｎｈｉｔｅｎｓｔｎｄＥｌｃｒｃｌＣｈｒｃｅｉｔｃｆｌｔｏｓｐｂｅｗｅｎＤｅｉｙａｅｔｉａａａｔｒｓｉｓｏ