扩散炉安装说明书

扩散炉

安装调试说明书

中联科利

2009年2月

目录

1．概述 (2)

2．设备的标识 (2)

3．设备的安装 (2)

3．1机械安装 (2)

3．1．1安装要求 (2)

3．1．2安装程序及注意事项 (3)

3．2电气安装 (3)

3．2．1安装要求 (3)

3．3．2安装程序及注意事项 (4)

4．关键部件的装调 (5)

4．1 SiC桨及石英炉门的装调 (5)

4．1．1装调步骤 (5)

4．1．2注意事项 (6)

4．2 恒温区的调试方法及验收判据 (6)

5．调试时的安全要求 (17)

1．概述

为了加强产品在安装调试过程中的质量控制、规范操作，确保设备合格率以及防止安全事故的发生，特制定高温扩散/氧化系统安装调试说明书；设备在出所前的装配调试以及调机人员在用户现场的安装调试均应严格按照此执行。

2.设备的标识

1．在设备的安装、调试及检验过程中，应在设备整体左端1.5米高处挂上设备的工作状态标识。

2．设备的铭牌统一钉在净化操作台的后盖板底部。

3．在设备中的强电裸露处和气源柜内应有相应的警示标识。

4．在设备的安装、调试及检验过程中，视用电情况应在配电箱上设置“严禁拉闸”或“严禁合闸”标识。

3.设备的安装

3.1机械安装

3.1.1安装要求

1．设备应该在相对洁净的场地安装，装配人员在进入安装现场前应先换鞋；气路安装应在洁净度更高的专用房间内进行，非装配人员不得随意进入。气路安装应严格按照《气路装配间管理规章制度》和《高温扩散/氧化系统气路装配技术规范》执行。

2．装配前要由相应设计人员对送来的机架、门板以及机加工件等仔细核对尺寸、检查外观质量，如果不符合设计要求，应拒绝签收，同时与品质部联系下一步的处理办法。设计者本人不在时，由项目组长指定人员验收。

3．设备机架就位时应摆放整齐，注意与现场其他设备的位置协调一致。

4．装配工具及标准件等要整齐放置,不得随意乱丢。工作场地要随脏随扫，在安装过程中如果局部产生粉尘、铁屑等，应及时用毛刷及吸尘器将尘埃清理干净。

5．装配过程中遇到标准件不足等情况时，应及时向项目组长反映，不得随意以其他不同规格的标准件替代。

6．装配过程中非攻丝螺钉的安装，必须加装平垫和弹簧垫片。

7．装配过程中如果发现问题,应及时通知设计人员或项目组长；如问题较复杂或涉及面较广,应上报公司设计部和管理工程部相关领导，召开联合会议讨论解决方案,

并作好详细记录。

8．为防止污染及受潮,高效过滤器在所内安装时不得拆开塑料包装，到用户现场进入净化间且设备均已清理干净后方可拆包重新安装。

9．装配过程中的所有紧固件必须确保拧紧，以防被安装的部件掉落伤人或运输途中受震动脱落损坏。

10．整机安装完毕,应用吸尘器、洁净布等对设备彻底清洁一遍。

3.1.2安装程序及注意事项

1．设备进入厂房前，请仔细搞好卫生，里里外外用毛刷、吸尘器、抹布彻底清扫干净。

2．对照设备平面安装图的布局，将设备的四大部件摆成一条直线（用户要求将电控柜放置在炉体一侧的除外），调节地脚螺钉，使各部件的高度协调一致。

3．安装电阻加热炉体及炉体两端的保温棉堵头。注意棉堵头为偏心设计，装配中应适当转动堵头，确保堵头的下内壁高于炉丝绝缘子6mm左右，从而在炉膛内放入哈呋片后可与棉堵头基本齐平。

5．装好工控计算机及触摸显示器。

6．打开净化操作台的后盖板，去掉高效过滤器的塑料包装后重新安装好。

7．反复调整净化台导轨固定部件、SiC桨座部件及炉体的相对位置，使SiC桨平行于炉膛轴线。

8．接好气路进气管道以及源瓶前后的软管及单向阀等，通气试压，确保无漏气点。9．接好水冷散热器及恒温槽的进、出水管道，通水试压，确保无漏点。

10．配合用户接入抽风、排毒管道。

3.2电气安装

3.2.1安装要求

1．电气部件的装配应在相对洁净的场地进行，装配人员在进入安装现场前应先换鞋。装配过程必须严格按照《电气装配细则》执行。

2．装配工具及元器件、电线等要整齐摆放,不得随意乱丢。工作场地要随脏随扫。3．为防止烫伤及引发火灾，电烙铁、电热枪等应放置在安全处。

4．装配人员离开装配现场时，应拔下用电器插头，关闭接线板电源开关。

5．电气装配部的安全员，应定期检查各接线板、插头、插座以及用电器具的安全

状况，下班时负责切断电源总开关。

6．电装人员和设计人员在装配前，应对所装配器件的型号、规格及质量作最后的检查核对，不合格的产品一律不得使用。

7．电气装配人员不得擅自对所装配的电器部件通电。相关设计人员必须将已装配的部件对照原理图和接线图逐点逐线检查无误后，方可做部件通电试验。

8．整机通电前必须先进行分部件通电试验。各部件设计人员除认真检查自己所负责的内部接线外，还应仔细检查与他人转接电路处的接口配合是否正确，在所有送入和送出的信号通道均确认无误后，方可进行整机通电。

9．设备首次通电试验时应有二人以上在场。

10．各项技术指标经自测合格后方可向厂品质部申请出厂检测，同时应根据自测结果如实填写“产品合格证申请表”。

11．装配过程中应认真填写“电装质量履历表”，详细做好装配记录。

12．在用户现场要按日如实填写“安装调试记录”。

3.2.2安装程序及注意事项

1．先接好设备四大部件各柜内的内部连线，再接好各柜之间的相互连线。

2．在各炉体侧壁上装入控温及保护热电偶，接好热电偶补偿导线。注意应保持各热电偶的前端只高出炉丝1mm左右，伸出太多在拆装石英管时容易碰断。

3．用摇表检测设备总进线火线对设备外壳的绝缘电阻应在5MΩ以上。

4．仔细检查炉体、可控硅、变压器、转接端头的压接螺钉，应无松动现象。

5．确认各部分连接无误后，接好电源总进线（要求总进线为三相380V+零线+地线），注意火线、零线及地线的位置，不可接错。

6．逐柜、逐层上电，检查各部件上电情况，注意检查机壳是否带电。

7．控制柜及气源柜上电，检查计算机、温控仪、温度保护仪、各控制开关、指示灯、电磁阀、质量流量控制器等是否正常。在计算机手动操作屏上逐一试验，看对各器件的控制是否正确无误。

6．推舟净化机构中，逐一检查照明、排风及净化送风是否正常。配合计算机检查自动进出舟、行程限位是否正确以及舟速是否可调。

7．查可控硅散热风扇及水冷散热器排热风扇等工作是否正常。

8．根据用户使用温度要求设置好温控仪各参数。