抽真空步骤及注意事项

董英杰 2003．4．5

抽真空步骤及注意事项

首先检查真空容器所处状态，处于真空下或者处于大气中。决定了两种启动真空设备的程序：第一种，真空下操作程序。第二种，大气状态下操作程序。注意：第一次启动要先打开ESP —A 总控电源，总控电源上面三个灯表示三相电，三灯全亮表示正常。

1、如果容器处于低真空状态下，不能立即打开闸板阀以免引起真空油的回流。正确的操作步骤是先打开水龙头，然后打开机械泵(注：按下机械泵的启动键)，同时打开ZDF —IV 真空计电源，观察真空计读数到达30Pa 左右时，再打开分子泵(注：先按下FDK —600K 总电源，然后按下启动键)，看到分子泵的工作频率达到50Hz 左右时方可打开闸板阀。

2、如果容器处于大气下，首先要做的是检查大漏，即关闭容器大门和放气阀。然后打开水龙头，闸板阀，机械泵，ZDF —IV 真空计电源，观察真空计读数到达30Pa 左右时，再打开分子泵(注：先按下FDK —600K 总电源，然后按下启动键)。

3、等到分子泵正常工作后(工作频率稳定在450Hz)，按下真空计中电离计单元的启动键对真空度进行观测。

4、在真空达到5410~10--Pa 时可以打开离子泵，此时先关闭分子泵处的闸板阀，但不要关闭分子泵，等到离子泵的电压达到4000V 时(离子泵稳定工作后)再关掉分子泵，机械泵。

5、如果不需要维持真空时，先关掉真空计电源，后只需要把离子泵的闸板阀关闭即可，不关闭离子泵，而是让离子泵处于工作状态保持其内部环境。(注意：烘烤与离子泵不能同时打开，烘烤的目的是为了让离子泵更好的工作，需要时可先烘烤，关闭烘烤后在打开离子泵开关。一般不需要打开烘烤。)