洁净室自控系统技术方案

洁净室自控系统技术方案

自控系统范围主要包括MAU新风机组控制、室内温湿度控制、压力控制、FFU监控、DCC 控制等。实现目标是为自控系统工程提供1套经济、可靠、易操作之监控系统设备。包括监控工作站，网络接口，现场控制器(PLC CONTROLLER)，Ethernet或光纤网络管线,SWITCH HUB，现场执行器，等系统现场之安装，配管线以及调试、器材供给、测试、调整及机器设备之连锁控制等。要求自控系统能实现空调系统、部分公用系统设备的远程监视或控制，关键监视数据记录存储及超限报警，无尘间温湿度、压差监视、数据记录存储及超限报警。

✓系统特点

✓控制系统概述

(1)SCADA系统是将现场各设备经变送器将状态或数据收录至冗余PLC控制系统，

由PLC控制器内编写的程序逻辑控制相应的元件，设备，实现掌控系统内各种状况

及实现要求的控制。

(2)SCADA系统是将现场的即时数据经位于就地的冗余PLC控制器，并通过以太

网上传至FMCS控制室内的计算机进行监控。

(3)本期洁净室设1套SCADA系统，由洁净各包完成，洁净包应提供所需的各种

硬件、数据通讯、网络设备及其安装。

(4)为便于与FMCS的整合，系统组态软件采用Wondware Intouch系统平台板，

有FMCS包统一采购授权及客户端。

✓空调系统控制设计说明：

✓MAU外气空调箱：

(1)MAU启动VFD10秒后开启启动出风DAMPER。

(2)MAU启动后，所有控制功能动作；MAU停止后，所有控制功能取消。

(3)MAU VFD依洁净区室内压差变送器读取的感测值，取最大最接近设定值或

取平均值（可任选）比例控制风速，以维持洁净区室内正压。即根据室内压

差来控制风机的转速，从而控制进风量。压差变送器将检测到的参数传至PLC,

根据PLC程序逻辑关系来控制风管的压差控制阀的开度。

(4)MAU滤网的压差开关及压差指示须采用整组指针型。

(5)当火灾发生时，并经认为确认无误后，依据火灾区域外气空调箱。

(6)房间温湿度控制。

(7)系统温湿度全年控制：

（a）室外新风露点温度Tdp≥12.9℃（可调）且湿球温度Twb≥18.4℃时，关闭一级、二级加热段的气动调节阀及温水淋水加湿器热交换器一次侧气动调节阀，开启一级、二级表冷及淋水加湿器；调节一级表冷段的气动调节阀，使一级表冷后的干球温度Tdp=19℃；调节二级表冷段的气动调节阀，使送风的露点温度Tdp=12.9℃（可从新设定）

（b）室外新风湿球温度Twb≥18.4℃且露点温度Tdp <12.9℃(可调)时，关闭一级、二级加热段的气动调节阀及温水淋水加湿器热交换器一次侧气动调节阀，开启一级、二级表冷及淋水加湿器；调节一级表冷、二级表冷段的气动调节阀，使送风的露点温度Tdp=12.9℃（可从新设定）

（c）当室外新风湿球温度12.9℃≤Twb≤18.4℃时，关闭一级、二级加热段的气动调节阀及温水淋水加湿器热交换器一次侧气动调节阀，关闭一级表冷段的气动调节阀，开启二级表冷及淋水加湿器；调节二级表冷段的气动调节阀，使送风的露点温度Tdp=12.9℃（可从新设定）

（d）当室外新风湿球温度Twb<12.9℃(可调)，关闭一级、二级表冷段的气动调节阀；开启一级加热及温水淋水加湿，首先调节一级加热段的气动调节阀，当该气动阀开度达到90％，相对湿度仍偏低时，开启淋水室板式换热器热水管道上气动阀。当室内相对湿度大于要求时先减小阀2的开度，当阀2完全关闭，相对湿度仍偏高时，再减少阀1的开度使送风的露点温度Tdp=12.9℃（可重新设定）。

(e)当室外新风干球温度Tdp<10℃(可调),利用预热段对空气进行加热，手动

开启预热水泵及阀门；当室外新风干球温度Tdp≥10℃（可调）时，不利于预热段对空气进行加热，手动关闭预热水泵及阀门。

(f)新风机组停止运行时，当一级加热盘管后的温度<5℃时，应将一级加热器

热水管道上的气动两通阀开至最大。

(g)新风机组停止运行时，当预热盘管后的温度<5℃时，应开启预热水泵防止

盘管冻裂。预热泵有两台一用一备。

(h)每台新风机组在相应的送风区域内相对湿度控制点，以室内相对湿度连续

设定新风机组出口的露点温度值。

✓温水淋水室：

（1）淋水加湿器为成套设备，自带控制箱，能完成对泵的控制、保护，水质及水位的监控，自动补水等工作。

（2）下列主要信号通过硬件连接至新风空调系统的PLC。

(a)加湿器的启动信号，来自PLC;

(b)加湿器的停止信号，来自PLC

(c)加湿器的运行信号，传至PLC;

(d)加湿器的故障信号，传至PLC;

(e)加湿器的电导率高信号（报警），传至PLC

(f)加湿器的电导率低信号（报警），传至PLC

(g)加湿器的温度高信号（报警），传至PLC;

(h)加湿器的温度低信号（报警），传至PLC;

(i)加湿器的液位高信号（报警），传至PLC;

(j)加湿器的液位低信号（报警），传至PLC;

✓排烟报警:

（1）当洁净区室内发生火警时，可有火警报警盘报警位于洁净区GOWNING ROOM的排烟造景盘，显示火警区域及排烟风阀开启或关闭的状态。

（2）本期工程共设3组排烟造景盘，由各个洁净包负责提供并安装。

（3）可由排烟造景盘送出该区火警讯号至中控室报警知会厂务人员。

（4）排烟造景盘要求：

（a）造景盘以RELAY电路控制，再将信号经PLC传至中控室。

（b）造景盘须有蜂鸣器装置，可由PLC控制。

（c）造景盘须有指示灯TEST按钮。

（d）须有逃生出口灯及消防相关设施标示

（e）盘面须有造景盘电源指示灯，所有灯号为直流LED。

（f）盘面须有操作开关保护罩，盘体采用中门设计，须有栋别区域方向指示及现在位置标示。

（g）造景盘配线须采侧边下进线。

（h）造景盘的盘面设计需与所监视区域相呼应，便于查看及管理。

✓FFU监控：

采用DC TYPE FFU,由FFU自带的SCADA进行监控，无需洁净包进行监控，FFU