080923白光干涉仪traincs
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1. 收放wafer於chuck時, 請勿碰撞或重壓chuck, 以免造成水平異常. 2. 移動鏡頭時, 請小心謹慎勿撞到wafer或chuck. 3. 由於ICP後MESA深度的干涉條紋, 較易糢糊不明顯, 請仔細觀察. 4. 開始掃描干涉條紋, 過程中請勿製造任何震動或碰觸儀器主體. 5. 當重新開啟HMS掃描軟體後, 如果發現視窗呈現漆黑無畫面時, 請先將
Байду номын сангаас
凹 干涉條紋
Step-6 調整鏡頭的”掃描終點”, 出現後再往下調兩格. 調整完後, 按Start開始掃描(掃描期間請勿製造任何震動).
Step-7 打開HsDataReview分析軟體(第一次啟動時)
Step-8 點選 Clear 將上次量測 的紅框與綠框去除
Step-9 點選A鈕 先框出第一個紅框
Step-2 打開HMS掃描軟體(第一次啟動時)
29000 35000
0.35x
50x3D
3
75
Step-3 確認參數
5~8
Step-4 調整焦距(Speed 1000, 500, 200, 20)與亮度設定, 繼續調整X與Y軸至量測點.
凸 干涉條紋
Step-5 調整鏡頭的”掃描起點”, 出現後再往上調兩格.
Step-10 再點選B鈕 再框出第二個綠框
Step-11 點選Measure鈕
路徑: C:\Hirose\Profile
Step-15 自動分析並計算 高度差值 (單位 A)
Step-17 按”Save as XLS”鍵, 儲存本次量測結果.
Step-16 確認資料正確後 “傳送鍵”
➢量測注意事項
倍率改成0.5X後, 再切回原設值0.35X, 即能回復正常畫面.
視窗黑暗
發現漆黑時, 先切成0.5X後, 再切回0.35X原設值, 即能恢復正常畫面.
~ End ~
Ubilux Proprietary & Confidential
Thank you
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凹 干涉條紋
Step-6 調整鏡頭的”掃描終點”, 出現後再往下調兩格. 調整完後, 按Start開始掃描(掃描期間請勿製造任何震動).
Step-7 打開HsDataReview分析軟體(第一次啟動時)
Step-8 點選 Clear 將上次量測 的紅框與綠框去除
Step-9 點選A鈕 先框出第一個紅框
Step-2 打開HMS掃描軟體(第一次啟動時)
29000 35000
0.35x
50x3D
3
75
Step-3 確認參數
5~8
Step-4 調整焦距(Speed 1000, 500, 200, 20)與亮度設定, 繼續調整X與Y軸至量測點.
凸 干涉條紋
Step-5 調整鏡頭的”掃描起點”, 出現後再往上調兩格.
Step-10 再點選B鈕 再框出第二個綠框
Step-11 點選Measure鈕
路徑: C:\Hirose\Profile
Step-15 自動分析並計算 高度差值 (單位 A)
Step-17 按”Save as XLS”鍵, 儲存本次量測結果.
Step-16 確認資料正確後 “傳送鍵”
➢量測注意事項
倍率改成0.5X後, 再切回原設值0.35X, 即能回復正常畫面.
視窗黑暗
發現漆黑時, 先切成0.5X後, 再切回0.35X原設值, 即能恢復正常畫面.
~ End ~
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