2低介电系数电介质薄膜材料

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在材料中引入空气气隙
电介质和空气隙形成 多孔复合材料
——获得超低介电系数材料的重要途径
有机高分子类低介电系数材料
降低聚合物介电常数的方法和原理
降低聚合物材料介电常数常用方法 ——增加聚合物材料的自由体积 ——引入氟原子 ——生成纳米微孔材料
有机高分子类低介电系数材料
降低聚合物介电常数的方法和原理
◆ 氟原子引入方法
—— 利用含氟单体合成聚合物
—— 在聚合物链上引入含氟侧基
有机高分子类低介电系数材料
降低聚合物介电常数的方法和原理

制备纳米微孔材料
介电系数降低原理 —— 空气介电系数最低ε=1
◆ 纳米微孔材料制备方法 —— 添加造孔剂 —— 添加含微孔结构的材料
介电系数及其影响因素
分子极化类型 电子极化 原子极化 取向极化
电子极化:在外电场作用下每个原子中
价电子云 相对于原子核的位移
原子极化:外加电场所引起的 原子核 之间的相对位移 电子极化 原子极化
变形极化(亦称诱导极化)
特点:不随温度变化,仅取决于分子中电子云的分布情况
介电系数及其影响因素
取向极化:偶极子沿电场方向进行排列
介电系数及其影响因素 非均相聚合物的极化
发生界面极化的条件: 非均相聚合物体系 均质高聚物中含有杂质或缺陷 晶态高聚物中,晶区与非晶区存在界面 界面两边的组分介电系数和导电率不同 引起电荷在两相界面处聚集——界面极化 界面极化所需时间长,一般发生在低频下 (0.001~1000Hz)
偶极极化 界面极化
具有永久偶极矩的极性分子 置于均匀外电场时 除诱导极化外,还能发生取向极化。 特点: 偶极子的取向与温度有关 分子的热运动总是使偶极子取向趋于杂乱
介电系数及其影响因素 高分子材料的极化
均相聚合物的极化——偶极极化
在外电场作用下 高分子链内偶极基团沿外电场方向排列取向
(a)无电场时
(b)有电场时
高分子链内偶极子在外电场中取向示意图
介电系数及其影响因素
电介质材料组分、结构不同,其极化类型不同 非极性介质——以电子极化为主 离 子 晶 体——以离子极化为主 强极性介质——以偶极子取向极化为主 极化程度影响因素: 电介质组分、结构 温度 外电场频率 低介电常数的测试频率通常是1MHz
降低材料介电系数的理论途径
1 2 3
降低材料电子密度 减少材料离子键数目 减少材料极性基团数量 降低材料密度

增加聚合物材料的自由体积 介电系数降低原理 —— 聚合物的自由体积增大可以降低单位 体积内极化基团的数量
◆ 增加聚合物材料自由体积方法
—— 短的侧链 —— 柔性的桥结构 —— 能限制链间相互吸引的大的基团
有机高分子类低介电系数材料
降低聚合物介电常数的方法和原理

引入氟原子 介电系数降低原理
—— C-F 较C-H 键有较小偶极和较低的极化率 同时氟原子还能增加自由体积
低介电系数电介质薄膜材料

介电系数及其影响因素


低介电系数电介质薄膜材料
降低材料介电系数的方法 有机高分子类低介电系数材料
有机高分子薄膜国内外研究现状wenku.baidu.com
介电系数及其影响因素
介电系数 ε 电介质在电场作用下发生 其
极化 时
极化程度 的量度
极 化
在外电场的作用下 分子中电荷分布所发生的相应变化
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降低材料介电系数的方法
降低材料介电系数的方法
1、降低构成材料中偶极子的极化率 2、降低单位体积内偶极子的密度
质量功率比
配套电工设备所用绝缘材料消耗定额 发电设备装机容量
降低材料介电系数的方法
电介质理论 在均匀介质中通过降低偶极子的极化率 使介电系数降低的程度是有限的
采用复合材料是降低材料介电系数的可能途径 空气的介电系数 k = 1
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