高科技厂房消防安全设备
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Etch Stepper Furnace Wet Bench
整理课件
火災件數 4 5 8 10 12 12 22 75
火災情境 –消防設備作動流程一
Fab區的Wet Bench起火，應變人員在警報系 統，或從監控螢幕取得現場實際狀況，確認火 災是否發生 若為誤動作----則現場將設備復歸，關閉火
K=14.0, Ordinary Temperature Rating
To be used in wet-pipe systems only.
Limited roof construction and slope.
(2 in. per ft max.)
Upright ESFR
高科技廠房消防安全設備
主講人 邱 晨 瑋
整理课件
防火工程設計理念
無塵室製程設備之財產防護與無塵室人 命安全防護並重之防火設計目標 運用空調系統及排煙設備之結合，控制 煙流之設計系統 多重消防防護設計
火災緊急應變程序 避難逃生計畫
整理课件
國內高科技廠房三大災例
場所別 項目
發生時間 人員傷亡
聯瑞積體電路 天下電子
•有供應製程危險氣體（如晶圓廠及光電廠，
潔淨等級較高） –SEMI S2-2000 –ＦM7-7/17-12 –NFPA318
•無供應製程危險氣體（如生化科技廠及封
裝測試廠，潔淨等級較低） –NFPA318 –各類場所消防安全整理設课件備設置標準
晶圓廠消防工程設計
---國內外法規差異
1.製程設備及輔助設施之化學系統防護（CO2自 動滅火系統及FM200）
整理课件
特殊環境特性
垂直的循環空氣 低溫環境與正壓系統 潔淨室與潔淨室下層間有高架地板相通 空間的密閉性 必須保持class1至class1000等級的高潔 淨度
整理课件
機台發生事件數統計（1977-1997）
機台種類 Metalization
MEBES EPI Reactor Ion Implanter
2.製程設備之警報或撒水系統防護 3.設置極早型預警系統，於ＲＡＰ回風處設偵
測點並配合定址式高感度偵煙探測器之警報 設計 4.排氣風管使用耐腐蝕金屬材質或撒水防護 5.製程氣體供應/儲存系統之氣瓶櫃使用火焰 式探測器及撒水防護並設置於遠離無塵室之 DLC防火結構內 6.考量整體氣流空間整因理课子件 之煙控設計
整理课件
PP熱釋放率曲線圖
整理课件
Early Suppression Fast Response Sprinkler (ESFR)
Listed for its capability to provide fire suppression of specific high challenge fire hazards.
華邦電子
股份有限公司 股份有限公司 股份有限公司
86/10/03/
14：59-17：38
86/11/11/ 08：15
85/10/14/ 13：00
無
一人受傷
無
損失金額 （直接損失）
原因類別
120億以上 機器類
30億以上 機器類
60億以上 藥品類
起火原因
排氣管
濕式清洗檯 濕式清洗檯
整理课件
無塵室消防安全設備分級
整理课件
消防設備作動流程 三
撒水設備ห้องสมุดไป่ตู้動---則依其實際撒水頭之 RTI值作動，並依其實際K值放射水量； 亦可大量降低熱釋放率。
初期運用室內消防栓及滅火器進行搶救 如廠房火災已無法控制，則由指揮官下
令通知消防單位，全力入內救災。
整理课件
多重消防防護設計
警報系統
RAP回風處佈設各類經自動取樣之早期預警系統 （VESDA系統） 定址式高感度偵煙型探測器 螢幕監控系統 防災中心功能
製程設備之CO2自動滅火系統 潔淨室之密閉濕式自動撒水設備 排氣風管使用耐腐蝕金屬風管之設計
整理课件
極早期空氣取樣系統
NFPA72 一偵測器與連接器延伸至保護區域的管路所 組成,偵測器內之抽氣風扇經由空氣取樣孔, 取樣管路抽取保護區域內的空氣至偵測器,進 而分析是否有火災生成物
NFPA318
無塵室VESDA系統設置位置
回風區dry coiler前 格子樑下空調主機迴風處 Wet bench Implanter
整理课件
防災中心
提升防災中心人員知識與技術 位置 構造 功能
整理课件
滅火系統對火源大小之影響 （設計火災）
以FAB層的Wet Bench起火 是否為獨立火源
CO2自動滅火系統及FM200對熱釋放率的影響 CO2自動滅火系統依「各類場所消防安全設備設
無塵室應使用空氣取樣式偵煙探測器
整理课件
系統動作流程
不可見煙霧---incipient stage 可見煙霧---Visible Smoke 火焰---Flaming Fire 熱---Intense Heat Alert /action/Fire1/Fire2
整理课件
多段警報
整理课件
For storage protection up to 40 ft building high without inrack sprinklers.
Low RTI [ 50 (ft-sec.) 1/2 ]
Hydraulic Design 12 sprinklers @ 70 psi min.
警警鈴，使火警自動警報設備恢復正常使用 狀態 若確認為真實火災----即立即以無線電回報 應變中心，應變中心人員在指揮官指揮下， 進行緊急廣播，請整棟建築物內人員緊急疏 散
整理课件
消防設備作動流程 二
FAB區的Wet Bench發生火災時，自動啟 動該製程機台之CO2自動滅火系統；
如無法控制後 則假設火災於無法控制後手動啟動排 煙設備 並將起火區FFU降載及相遴區劃FFU 增載
置標準」第84條規定應於60秒放完畢
FM200依NFPA2001規定放射時間最長10 sec 自動撒水設備對熱釋放率的影響
依RTI值及K值
整理课件
獨立火源
對於其他可燃物距離Wet Bench的大小均大於分 隔距離，故為單一可燃物之獨立火源
R
1/ 2
Q / 1 2q"
R ＝ wet Bench到其他可燃物之間的分隔距離 Q ＝ 來自火災的熱釋放率（Btu/sec） q“＝ 非引導性點火所需投射的輻射通量
整理课件
火災件數 4 5 8 10 12 12 22 75
火災情境 –消防設備作動流程一
Fab區的Wet Bench起火，應變人員在警報系 統，或從監控螢幕取得現場實際狀況，確認火 災是否發生 若為誤動作----則現場將設備復歸，關閉火
K=14.0, Ordinary Temperature Rating
To be used in wet-pipe systems only.
Limited roof construction and slope.
(2 in. per ft max.)
Upright ESFR
高科技廠房消防安全設備
主講人 邱 晨 瑋
整理课件
防火工程設計理念
無塵室製程設備之財產防護與無塵室人 命安全防護並重之防火設計目標 運用空調系統及排煙設備之結合，控制 煙流之設計系統 多重消防防護設計
火災緊急應變程序 避難逃生計畫
整理课件
國內高科技廠房三大災例
場所別 項目
發生時間 人員傷亡
聯瑞積體電路 天下電子
•有供應製程危險氣體（如晶圓廠及光電廠，
潔淨等級較高） –SEMI S2-2000 –ＦM7-7/17-12 –NFPA318
•無供應製程危險氣體（如生化科技廠及封
裝測試廠，潔淨等級較低） –NFPA318 –各類場所消防安全整理設课件備設置標準
晶圓廠消防工程設計
---國內外法規差異
1.製程設備及輔助設施之化學系統防護（CO2自 動滅火系統及FM200）
整理课件
特殊環境特性
垂直的循環空氣 低溫環境與正壓系統 潔淨室與潔淨室下層間有高架地板相通 空間的密閉性 必須保持class1至class1000等級的高潔 淨度
整理课件
機台發生事件數統計（1977-1997）
機台種類 Metalization
MEBES EPI Reactor Ion Implanter
2.製程設備之警報或撒水系統防護 3.設置極早型預警系統，於ＲＡＰ回風處設偵
測點並配合定址式高感度偵煙探測器之警報 設計 4.排氣風管使用耐腐蝕金屬材質或撒水防護 5.製程氣體供應/儲存系統之氣瓶櫃使用火焰 式探測器及撒水防護並設置於遠離無塵室之 DLC防火結構內 6.考量整體氣流空間整因理课子件 之煙控設計
整理课件
PP熱釋放率曲線圖
整理课件
Early Suppression Fast Response Sprinkler (ESFR)
Listed for its capability to provide fire suppression of specific high challenge fire hazards.
華邦電子
股份有限公司 股份有限公司 股份有限公司
86/10/03/
14：59-17：38
86/11/11/ 08：15
85/10/14/ 13：00
無
一人受傷
無
損失金額 （直接損失）
原因類別
120億以上 機器類
30億以上 機器類
60億以上 藥品類
起火原因
排氣管
濕式清洗檯 濕式清洗檯
整理课件
無塵室消防安全設備分級
整理课件
消防設備作動流程 三
撒水設備ห้องสมุดไป่ตู้動---則依其實際撒水頭之 RTI值作動，並依其實際K值放射水量； 亦可大量降低熱釋放率。
初期運用室內消防栓及滅火器進行搶救 如廠房火災已無法控制，則由指揮官下
令通知消防單位，全力入內救災。
整理课件
多重消防防護設計
警報系統
RAP回風處佈設各類經自動取樣之早期預警系統 （VESDA系統） 定址式高感度偵煙型探測器 螢幕監控系統 防災中心功能
製程設備之CO2自動滅火系統 潔淨室之密閉濕式自動撒水設備 排氣風管使用耐腐蝕金屬風管之設計
整理课件
極早期空氣取樣系統
NFPA72 一偵測器與連接器延伸至保護區域的管路所 組成,偵測器內之抽氣風扇經由空氣取樣孔, 取樣管路抽取保護區域內的空氣至偵測器,進 而分析是否有火災生成物
NFPA318
無塵室VESDA系統設置位置
回風區dry coiler前 格子樑下空調主機迴風處 Wet bench Implanter
整理课件
防災中心
提升防災中心人員知識與技術 位置 構造 功能
整理课件
滅火系統對火源大小之影響 （設計火災）
以FAB層的Wet Bench起火 是否為獨立火源
CO2自動滅火系統及FM200對熱釋放率的影響 CO2自動滅火系統依「各類場所消防安全設備設
無塵室應使用空氣取樣式偵煙探測器
整理课件
系統動作流程
不可見煙霧---incipient stage 可見煙霧---Visible Smoke 火焰---Flaming Fire 熱---Intense Heat Alert /action/Fire1/Fire2
整理课件
多段警報
整理课件
For storage protection up to 40 ft building high without inrack sprinklers.
Low RTI [ 50 (ft-sec.) 1/2 ]
Hydraulic Design 12 sprinklers @ 70 psi min.
警警鈴，使火警自動警報設備恢復正常使用 狀態 若確認為真實火災----即立即以無線電回報 應變中心，應變中心人員在指揮官指揮下， 進行緊急廣播，請整棟建築物內人員緊急疏 散
整理课件
消防設備作動流程 二
FAB區的Wet Bench發生火災時，自動啟 動該製程機台之CO2自動滅火系統；
如無法控制後 則假設火災於無法控制後手動啟動排 煙設備 並將起火區FFU降載及相遴區劃FFU 增載
置標準」第84條規定應於60秒放完畢
FM200依NFPA2001規定放射時間最長10 sec 自動撒水設備對熱釋放率的影響
依RTI值及K值
整理课件
獨立火源
對於其他可燃物距離Wet Bench的大小均大於分 隔距離，故為單一可燃物之獨立火源
R
1/ 2
Q / 1 2q"
R ＝ wet Bench到其他可燃物之間的分隔距離 Q ＝ 來自火災的熱釋放率（Btu/sec） q“＝ 非引導性點火所需投射的輻射通量