硅片车间
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• 切割液：SiC与悬浮液的均匀混合物。切割液比较粘稠及 滑，因此需要防滑。
质量标准
• 合格不合格标准 • 不合格：有裂纹，破碎，缺角。 • 合格： • A等 • B等 B1尺寸不合格B2微晶片B3少子寿命短 B4小崩边B5电阻率缺陷B6划片125 B7锯痕B8薄厚不均B9赃污片
一、浆料准备
• 工艺流程：清洗浆料缸—导入悬浮液—碳化硅烘 干—添加碳化硅—密度测试—充分搅拌——使用
六、线切
• 1.HCT机床准备 检查滑轮外套及绝缘转子是否磨损严重，
保护气体管道有无破损。滑轮轴承是否运 行灵活。确保线网内无大的颗粒，价差出 口处第一根线的位置是否正确，是否与滑 轮垂置。检查浆料室插头是否插好砂帘完 整。工艺参数是否合适。
按照托盘上硅块的位置，编织线网。确 保无跳线断线。点热机键，观察确保线网 的完好准备切割。
硅片车间主要任务
首先使用破锭机将硅锭切割为硅块； 进而使用线锯将硅块切成硅片。
硅锭大小：400kg—840*840*250mm 硅块大小：156*156*250mm 硅片大小：156*156*0.18mm
工艺流程
• 备料—浆料准备—破锭—硅块检验—研磨 倒角—粘接—线锯切割—硅片清洗及分选 包装
新300L。更换过滤网。
七、清洗及分选
• 1.预清洗： 取下托盘，用清水冲洗硅片间的浆料。
浸入乳酸溶液（乳酸与水3:1）15分钟，温 度750C使胶软化。再用水清洗减少硅片表 面的乳酸。将硅片取出放入盒中，装蓝。 • 2.超声清洗：
首先是清水冲洗，接着碱洗去除乳酸， 在用水洗去除碱。最后是烘干装盒。
3.仪器自动分选仪器：包 括传送带，红外测试 部分，等级片分离系 统。将装好硅片的盒 放到传送带上。包装： 按照不同的等级进行 包装。
工艺参数
• 预清洗为RENA设备，主要结构为机械手， 清洗池，更换水部分，及控制器。参数如 下：250C，清水250s，乳酸池750C，900s， 清水，室温60s。
锯，锯带张力500kg,硅块切削速度300mm/min。
维护
• 带锯 • 及时清理从动轮周围的淤泥 • 保持触摸屏的干净用膜贴好 • 根据情况更换带轮的O形圈，一般每月全部更换 • 一星期清理一次电气柜的卫生 • 研磨机 • 控制面板用膜贴好防止水和污物进入按钮使其失灵 • 清理排水槽内淤积硅粉 • 一星期彻底清理一次储水槽，并清理过滤网 • 导轨油低液位时及时添加
HCT线锯结构
• 1.切割室（工作台，导轮） • 2.马达室 • 3.浆料室 • 4.绕线室（收线轴，放线轴，张力臂，滑轮） • 5.配电柜 （断路器，保险，接线端子，变
频器及PLC） • 6.控制面板 • 7.冷却水系统（浆料、导轮轴承箱、电机） • 8.水电气管路
工艺参数
• 工作台速度360um/min，采用单向切割线速 度13m/s。砂浆密度1.63kg/L，砂浆流量 130kg/h，张力臂20N。冷却水流量130L/h
体的气管是否漏气和有效 • 取锭电叉车的舵柄和车身要保持干净，不用时要
保持充电状态
三、检验
1.检测内容：检测硅块的尺寸，PN型，电阻率，少 子寿命，阴影（杂质）。
2.仪器：PN型测试仪，四探针电阻测试仪，少子寿 命测试仪（激光），红外阴影测试仪。
3.检测标准： 尺寸：一级156+0.5mm,角度90+0.30 二级156+0.8mm,角度90+0.30。 电阻率：一级0.5-2欧姆.厘米。二级大于2欧姆.厘米 少子寿命：一级大于2us,二级1-2us。 阴影：位于209mm内块状阴影部分必须切除。
部更新。
• 维护：导轮、绝缘转子及钢线的更换，电 机的润滑。
破锭机维护
• 各推拉门门锁螺丝需紧固 • 注意门锁插头与门锁的配合情况 • 浆料泵及搅拌电机插头插座的干净 • 各个冷却空调下接冷凝水的小壶里的水量 • 机床顶盖需盖好，保持马达室内少进尘土 • 操作屏贴好保护膜防止屏幕进浆料 • 操作屏摇臂松动需紧固弯头处螺丝 • 织线网时注意观察各滑轮旋转是否灵活，保护气
• 破锭及线切原理：利用高速运动的钢线带动腐蚀性的切割 原料（SiC）将脆性材料硅进行切割。
• 碳化硅又称金钢砂或耐火砂。其硬度介于刚玉和金刚石之 间,机械强度高于刚玉。 常用的碳化硅磨料有两种不同的 晶体，一种是绿碳化硅，含SiC 97%以上，主要用于磨硬 质含金工具。另一种是黑碳化硅，有金属光泽，含SiC 95%以上，强度比绿碳化硅大，但硬度较低，主要用于磨 铸铁和非金属材料。
二、破锭
• 工艺流程：编织线网—粘接硅锭—切割—取块— 清洗
• 破锭工具： • 手锯 刀片 天车 扳手 游标卡尺 电叉车 • 劳保用品： • 防水套袖 防滑工作鞋 手套 防护眼镜 • 工作帽 • 原料： 浆料 钢线 绝缘转子
• 1.线网编织：确保线网垂直工作台，线与导论槽 位置正确。
• 2.粘锭：使用发泡胶将400kg硅锭块速粘接在钢板 上，使用工具车确保硅锭居于切割台线网的中央。
• 3.切割：热机使浆料达到预定温度，核实线网正 确。
• 4.取块：首先升起工作台取走边料及角料。 • 5.清洗：用清水清洗硅块上的砂浆。将行编号，
将硅块从钢板上取下，并清除其底部的泡沫胶。
破锭机结构
• 1.切割室（工作台，支撑桌面，线导轮） • 2.马达室 • 3.浆料室 • 4.绕线室（收线轴，放线轴，张力臂，滑轮） • 5.配电柜 （断路器，保险，接线端子，变
四、研磨倒角
• 工具：倒角机床，研磨机床及带锯。 • 带锯倒角 研磨机 倒角机 带锯 磨床 • 劳保用品 防水套袖 防滑工作鞋 手套 • 原材料 无水乙醇 锯条 砂轮 • 标准：研磨（抛光）平滑度小于0.1mm；
倒角一级1.5+0.5mm，45+100，二级 1.5+0.8mm，45+100
• 参数：倒角机切削速度200mm/min,**速度1200mm/min。带
• 工具： 浆料缸 电叉车 中转缸
• 1.清洗浆料缸，用压缩空气吹干。 • 2.悬浮液：悬浮液为有机溶剂，一般为多元醇。 • 3.烘干：使碳化硅其在悬浮液中分散更均匀。在
烘干箱中温度为750C，保持2-3个小时。
4.测试：首先将一大塑料桶（1000L，1100kg）悬浮液 加入中等搅拌缸（2000L），然后等间隔（10分钟左 右）加入SiC（每袋20kg），加完40袋。导入大型搅 拌缸（8000L）搅拌8小时，测量密度1.625kg/L。 注意：对于破锭机SiC型号800#，对于线切为1200# （约10微米），型号越大表征SiC颗粒直径越小。
• 报警温度：浆料温度250C上砂路270C,上导 轮300C。
HCT线锯维护（一）
• 各推拉门门锁螺丝 • 注意门锁插头与门锁的配合情况 • 浆料泵及搅拌电机插头插座的干净 • 各个冷却空调下接冷凝水的小壶里的水量 • 机床顶盖需盖好，保持机床内少进尘土 • 操作屏贴好保护膜防止屏幕进浆料 • 操作屏摇臂松动需紧固弯头处螺丝 • 各推拉门严禁猛开猛关 • 上放线轴时要固定好白色尼龙套的位置
HCT线锯维护（二）
• 线轴上紧时要用扭矩扳手，卸线轴时要用L型扳手 • 切割前仔细检查分线网滑轮及切割室其它滑轮的
情况，保护气体是否有效 • 换导轮时清理内循环水循环过滤器和循Байду номын сангаас泵电机、
马达室电机风扇罩子的淤积尘土。 • 绝缘转子及钢线的更换，电机的润滑，导论开槽。 • 浆料更新：切4棒次全部更新（500L），切2棒更
频器及PLC） • 6.控制面板 • 7.水电气管路
破锭工艺参数
• 工作台下降速度600um/min，采用往复切割 回线率95%。最大线速度13m/s。砂浆密度 1.63kg/L,砂浆流量160kg/h,张力臂50N。
• 报警温度：上砂路270C,上导轮300C。 • 浆料更新：每切4次更新30L。至第21次全
• 超声清洗设备，主要结构为机械手，清洗 池，更换水部分，加热器，鼓风机及控制 器。1、2栏水洗，3、4栏碱洗，5、6栏水 洗7栏漂洗 1-6温度450C时间150s，7-550C 烘干温度1100C时间180s。
五、粘接
• 硅块分选： • 用无水乙醇清洗托盘（挂在线切机上）及
毛面玻璃（510*157*15mm），确保托盘表 面平整无杂物。 • A（白色）B（紫色）胶1:1混合均匀，首先 粘接托盘和毛面玻璃，固化40分钟左右粘 接硅块和毛面玻璃。使用重物压在硅块上， 确保粘牢。 • AB胶2:1混合均匀，粘接导向条。目的是使 线切容易入锯。
质量标准
• 合格不合格标准 • 不合格：有裂纹，破碎，缺角。 • 合格： • A等 • B等 B1尺寸不合格B2微晶片B3少子寿命短 B4小崩边B5电阻率缺陷B6划片125 B7锯痕B8薄厚不均B9赃污片
一、浆料准备
• 工艺流程：清洗浆料缸—导入悬浮液—碳化硅烘 干—添加碳化硅—密度测试—充分搅拌——使用
六、线切
• 1.HCT机床准备 检查滑轮外套及绝缘转子是否磨损严重，
保护气体管道有无破损。滑轮轴承是否运 行灵活。确保线网内无大的颗粒，价差出 口处第一根线的位置是否正确，是否与滑 轮垂置。检查浆料室插头是否插好砂帘完 整。工艺参数是否合适。
按照托盘上硅块的位置，编织线网。确 保无跳线断线。点热机键，观察确保线网 的完好准备切割。
硅片车间主要任务
首先使用破锭机将硅锭切割为硅块； 进而使用线锯将硅块切成硅片。
硅锭大小：400kg—840*840*250mm 硅块大小：156*156*250mm 硅片大小：156*156*0.18mm
工艺流程
• 备料—浆料准备—破锭—硅块检验—研磨 倒角—粘接—线锯切割—硅片清洗及分选 包装
新300L。更换过滤网。
七、清洗及分选
• 1.预清洗： 取下托盘，用清水冲洗硅片间的浆料。
浸入乳酸溶液（乳酸与水3:1）15分钟，温 度750C使胶软化。再用水清洗减少硅片表 面的乳酸。将硅片取出放入盒中，装蓝。 • 2.超声清洗：
首先是清水冲洗，接着碱洗去除乳酸， 在用水洗去除碱。最后是烘干装盒。
3.仪器自动分选仪器：包 括传送带，红外测试 部分，等级片分离系 统。将装好硅片的盒 放到传送带上。包装： 按照不同的等级进行 包装。
工艺参数
• 预清洗为RENA设备，主要结构为机械手， 清洗池，更换水部分，及控制器。参数如 下：250C，清水250s，乳酸池750C，900s， 清水，室温60s。
锯，锯带张力500kg,硅块切削速度300mm/min。
维护
• 带锯 • 及时清理从动轮周围的淤泥 • 保持触摸屏的干净用膜贴好 • 根据情况更换带轮的O形圈，一般每月全部更换 • 一星期清理一次电气柜的卫生 • 研磨机 • 控制面板用膜贴好防止水和污物进入按钮使其失灵 • 清理排水槽内淤积硅粉 • 一星期彻底清理一次储水槽，并清理过滤网 • 导轨油低液位时及时添加
HCT线锯结构
• 1.切割室（工作台，导轮） • 2.马达室 • 3.浆料室 • 4.绕线室（收线轴，放线轴，张力臂，滑轮） • 5.配电柜 （断路器，保险，接线端子，变
频器及PLC） • 6.控制面板 • 7.冷却水系统（浆料、导轮轴承箱、电机） • 8.水电气管路
工艺参数
• 工作台速度360um/min，采用单向切割线速 度13m/s。砂浆密度1.63kg/L，砂浆流量 130kg/h，张力臂20N。冷却水流量130L/h
体的气管是否漏气和有效 • 取锭电叉车的舵柄和车身要保持干净，不用时要
保持充电状态
三、检验
1.检测内容：检测硅块的尺寸，PN型，电阻率，少 子寿命，阴影（杂质）。
2.仪器：PN型测试仪，四探针电阻测试仪，少子寿 命测试仪（激光），红外阴影测试仪。
3.检测标准： 尺寸：一级156+0.5mm,角度90+0.30 二级156+0.8mm,角度90+0.30。 电阻率：一级0.5-2欧姆.厘米。二级大于2欧姆.厘米 少子寿命：一级大于2us,二级1-2us。 阴影：位于209mm内块状阴影部分必须切除。
部更新。
• 维护：导轮、绝缘转子及钢线的更换，电 机的润滑。
破锭机维护
• 各推拉门门锁螺丝需紧固 • 注意门锁插头与门锁的配合情况 • 浆料泵及搅拌电机插头插座的干净 • 各个冷却空调下接冷凝水的小壶里的水量 • 机床顶盖需盖好，保持马达室内少进尘土 • 操作屏贴好保护膜防止屏幕进浆料 • 操作屏摇臂松动需紧固弯头处螺丝 • 织线网时注意观察各滑轮旋转是否灵活，保护气
• 破锭及线切原理：利用高速运动的钢线带动腐蚀性的切割 原料（SiC）将脆性材料硅进行切割。
• 碳化硅又称金钢砂或耐火砂。其硬度介于刚玉和金刚石之 间,机械强度高于刚玉。 常用的碳化硅磨料有两种不同的 晶体，一种是绿碳化硅，含SiC 97%以上，主要用于磨硬 质含金工具。另一种是黑碳化硅，有金属光泽，含SiC 95%以上，强度比绿碳化硅大，但硬度较低，主要用于磨 铸铁和非金属材料。
二、破锭
• 工艺流程：编织线网—粘接硅锭—切割—取块— 清洗
• 破锭工具： • 手锯 刀片 天车 扳手 游标卡尺 电叉车 • 劳保用品： • 防水套袖 防滑工作鞋 手套 防护眼镜 • 工作帽 • 原料： 浆料 钢线 绝缘转子
• 1.线网编织：确保线网垂直工作台，线与导论槽 位置正确。
• 2.粘锭：使用发泡胶将400kg硅锭块速粘接在钢板 上，使用工具车确保硅锭居于切割台线网的中央。
• 3.切割：热机使浆料达到预定温度，核实线网正 确。
• 4.取块：首先升起工作台取走边料及角料。 • 5.清洗：用清水清洗硅块上的砂浆。将行编号，
将硅块从钢板上取下，并清除其底部的泡沫胶。
破锭机结构
• 1.切割室（工作台，支撑桌面，线导轮） • 2.马达室 • 3.浆料室 • 4.绕线室（收线轴，放线轴，张力臂，滑轮） • 5.配电柜 （断路器，保险，接线端子，变
四、研磨倒角
• 工具：倒角机床，研磨机床及带锯。 • 带锯倒角 研磨机 倒角机 带锯 磨床 • 劳保用品 防水套袖 防滑工作鞋 手套 • 原材料 无水乙醇 锯条 砂轮 • 标准：研磨（抛光）平滑度小于0.1mm；
倒角一级1.5+0.5mm，45+100，二级 1.5+0.8mm，45+100
• 参数：倒角机切削速度200mm/min,**速度1200mm/min。带
• 工具： 浆料缸 电叉车 中转缸
• 1.清洗浆料缸，用压缩空气吹干。 • 2.悬浮液：悬浮液为有机溶剂，一般为多元醇。 • 3.烘干：使碳化硅其在悬浮液中分散更均匀。在
烘干箱中温度为750C，保持2-3个小时。
4.测试：首先将一大塑料桶（1000L，1100kg）悬浮液 加入中等搅拌缸（2000L），然后等间隔（10分钟左 右）加入SiC（每袋20kg），加完40袋。导入大型搅 拌缸（8000L）搅拌8小时，测量密度1.625kg/L。 注意：对于破锭机SiC型号800#，对于线切为1200# （约10微米），型号越大表征SiC颗粒直径越小。
• 报警温度：浆料温度250C上砂路270C,上导 轮300C。
HCT线锯维护（一）
• 各推拉门门锁螺丝 • 注意门锁插头与门锁的配合情况 • 浆料泵及搅拌电机插头插座的干净 • 各个冷却空调下接冷凝水的小壶里的水量 • 机床顶盖需盖好，保持机床内少进尘土 • 操作屏贴好保护膜防止屏幕进浆料 • 操作屏摇臂松动需紧固弯头处螺丝 • 各推拉门严禁猛开猛关 • 上放线轴时要固定好白色尼龙套的位置
HCT线锯维护（二）
• 线轴上紧时要用扭矩扳手，卸线轴时要用L型扳手 • 切割前仔细检查分线网滑轮及切割室其它滑轮的
情况，保护气体是否有效 • 换导轮时清理内循环水循环过滤器和循Байду номын сангаас泵电机、
马达室电机风扇罩子的淤积尘土。 • 绝缘转子及钢线的更换，电机的润滑，导论开槽。 • 浆料更新：切4棒次全部更新（500L），切2棒更
频器及PLC） • 6.控制面板 • 7.水电气管路
破锭工艺参数
• 工作台下降速度600um/min，采用往复切割 回线率95%。最大线速度13m/s。砂浆密度 1.63kg/L,砂浆流量160kg/h,张力臂50N。
• 报警温度：上砂路270C,上导轮300C。 • 浆料更新：每切4次更新30L。至第21次全
• 超声清洗设备，主要结构为机械手，清洗 池，更换水部分，加热器，鼓风机及控制 器。1、2栏水洗，3、4栏碱洗，5、6栏水 洗7栏漂洗 1-6温度450C时间150s，7-550C 烘干温度1100C时间180s。
五、粘接
• 硅块分选： • 用无水乙醇清洗托盘（挂在线切机上）及
毛面玻璃（510*157*15mm），确保托盘表 面平整无杂物。 • A（白色）B（紫色）胶1:1混合均匀，首先 粘接托盘和毛面玻璃，固化40分钟左右粘 接硅块和毛面玻璃。使用重物压在硅块上， 确保粘牢。 • AB胶2:1混合均匀，粘接导向条。目的是使 线切容易入锯。