三维测量技术综述

基于工业摄影与机器视觉的三维测量技术综述

摄影测量(Photogrammetry)是一门通过分析记录在胶片或电子载体上的影像来定被测物体的位置、形状和大小的科学，属于测绘学的分支学科。它包括航空摄测量、航天摄影测量和近景摄影测量等。其中，近景摄影测量是指测量范围小于100米，相机布设在物体附近的摄影测量。近年来，随着微电子和半导体技术的飞速发展，尤其是固体阵相机和计算机硬件的发展，使得工业摄影测量已进入全数字近景摄影测量时代。同时，随着机器视觉理论的迅速发展，机器视觉也逐渐发展成一门由计算机技术、控制理论、人工智能和模式识别等众多领域交叉综合的新学科。

1.三维形貌与变形测量技术简介

光学三维形貌与变形测量技术经过近年来的快速发展，涌现出多种技术及方法。其中主要有：时间飞行法、全息干涉法、莫尔条纹法、结构光方法（点、线、面）、数字摄影测量法和数字图像相关法等，下面介绍几种常用的三维测量方法，并分析在这些方面的研究发展情况。

1）时间飞行法

时间飞行法(Time of Flight)基于三维形貌对激光束产生的时间调制。原理如图1所示。激光脉冲信号从发射器发出，经待测物体表面反射后，沿近乎相同的路径反向传回接收器，检测激光脉冲从发出到接收时刻之间的时间差，就可以计算出距离。结合扫描装置使激光脉冲扫描整个物体就可以得到三维形貌数据。

图1 时间飞行法原理图

时间飞行法的分辨率约为1 mm。若采用亚皮秒激光脉冲和高分辨率的电子器件，深度分辨率可达亚毫米级。采用时间相干的单光子计数法，测量lm距离，深度分辨率可达30μm;另一种称之为飞行光全息技术的测量方法利用超短光脉冲结合数字重建，深度分辨率可达6.5μm，这种方法的优点是不存在阴影和遮挡问题。但是要得到较高的测量精度，对信号处理系统的时间分辨率有较高的要求。

2）全息干涉法

全息干涉法测量技术利用光的相干性原理，如图2所示，当两束相干性好的光束在被测物体表面相遇时，其光波发生干涉，形成的干涉条纹反映了物体的形貌信息。记录这些条纹，测量出相位差，再将相位信息转换为物体的表面形貌信息。

图2 全息干涉法原理图

全息干涉法在20世纪70年代得到快速发展，成为光学三维测量技术的一个重要分支。由于全息干涉法采用干板作为记录介质，干板曝光后需要化学处理，过程十分繁琐，因此限制了它的应用范围。

数字全息技术是利用数字光学器件取代传统光学全息中的干板来记录全息图，重建过程全部在计算机中完成，因此数字全息不仅继承了传统光学全息的特点，而且还具有以下优点：无需干板化学处理，记录过程和处理过程大大简化，再现过程全部由计算机完成，可以实时地进行图像获取和处理，便于实现自动化测量；采用

CCD记录一帧图像仅几十毫秒，比干板曝光时间低两个数量级，因而系统的抗震性要求大大降低；数值重建既能得到重建光波的强度分布，也能获取重建光波的相位信息，数字全息干涉测量技术可以精确测定亚条纹及其变形量，测量精度得到提高。

由于相位的变化正比于光波的光程差，所以全息干涉法的测量分辨率可以达到光波的百分之一，但需要相干性较好的光源和精确的干涉光路。外差全息干涉法能得到较高的测量精度，但测量速度极慢，并且系统成本昂贵。准外差方法的测量精度比外差方法低一个数量级，但其光路比较简单，测量速度相对较快。全息干涉法主要应用于形貌分析、微小粒子检测、微小形变、微结构、微缺陷的检测，被测表面必须是平滑而缓变的。

3）莫尔条纹法

莫尔条纹法作为三维形貌测量的重要技术，起源于上世纪70年代。1970年英国的D.M.Meadows等人提出了应用一块光栅的照射型莫尔形貌法。之后，1977年M．Idesawa等人提出了激光扫描型莫尔形貌测量方法。自此，莫尔三维形貌测量成为了莫尔技术的重要研究领域。

莫尔条纹法的原理是用一块基准光栅，来检测由被测表面调制的影栅，进而由莫尔条纹的分布情况推算被测物体的表面形貌。从基本原理出发，出现了两类不同布局的莫尔形貌装置，其中一类是将基准光栅照射到物体表面，在物体表面形成阴影光栅，然后透过整形光栅进行观察，这就是照射型莫尔法。照射型莫尔形貌可称为阴影莫尔形貌，莫尔条纹是由基准光栅和物体表面所调制的、带有物体相位信息的变形光栅叠加而成。照射型莫尔形貌的测量装置简单、廉价，被测物前必须放置一块基准光栅。被测物不大时是可行的，但物体较大时就需要更大的光栅，大尺寸光栅加工困难。测量精度取决于基准光栅的栅距，但制造大尺寸小栅距的光栅是较为困难的。随着栅距的减小衍射效应就变得更加显著，很难获得更高的测量精度。

另一类是投影型莫尔，它的投影侧类似于幻灯装置。用以在被测物体上投射光栅而接收端是一架摄像机，它将空间光栅成像在基准光栅表面上，于是形成莫尔条纹图投影型莫尔形貌测量的主要特点是：通过投影镜头的放大率来改变基准光栅的

成像尺寸，适于测量较大尺寸的物体。对于较小的物体，采用缩小投影，既可以提高测量分辨率又可以控制衍射现象的影响。莫尔形貌条纹摄影后再投影，在物体上可以直接观测并把莫尔等高线描绘出来。可以方便地确定物体基准点条纹的序号，并可以将变形光栅取出，通过二次曝光等处理后产生新的莫尔条纹测量方法。但测量装置相对于照射型来说较为复杂，光栅的节距受到透镜分辨率的限制。

4）结构光法

结构光法根据所采用投射光束的不同，又分为点光束照射的光学三角测量技术、线光束照射的光切测量方法以及面光束照明下的空间光调制技术。

（1）光学三角法测量技术是一种基本的三维测量方法。它的测量原理是基于传统的三角测距的方法，根据此原理设计的激光测头多用于改进型的三坐标测量机（CMM），以取代原有的接触式测头。通过这一改进使得三坐标测量机（CMM）从接触式测量迈向了非接触式无损测量。但是这种方法测量范围受到限制，并且由于三坐标测量机（CMM）的固有特性只能进行离散点的测量，而无法获取被测物体全场的形貌。虽然逐步被光切法及面结构光测量技术取代，但它仍是光切法及面结构光三维测量的基础。

（2）光切法以激光逐点扫描法为基础，它采用激光线光源经柱面镜产生平面光照射在被测物表面，在被测物上产生一条明亮的光条，通过摄像机采集获得数字图像，然后经图像处理即得物体在该光切面上的二维轮廓信息，进一步沿第三维步进测量，就可得到物体的三维形貌全貌，原理如图3所示。

图3 线结构光原理图图4 投影光栅面结构光原理图