IC测试设备

美国Credence公司Electra MSR 100MHz

概述

·100MHz量测速率的功能验证性设备，具有Funtional Pattern产生、

仿

真、测试，DC参数量测等功能。

·非常适合IC设计公司进行样片芯片验证性测试及分析

特性:

·4M的向量存储深度/通道完整的功能Pattwen和DC参数测试系统·UNIX系统的操作软件，可视化友好界面·Shmoo Plot工具, 用于器件特性分析 ·可连接LABVIEW辅助性工具

·直接连接到工作站服务器

系统规格

·时钟频率：100 Mhz

·数据速率：200 Mbits/Sec

·1.5 ns的上升和下降时间（ECL、CMOS 电路）

·每个管脚的电压和负载可编程

·每个管脚可编程边缘分辨率50 ps

·7 bits per Channel for Simultaneous Real-time

·Compare and Data Acquisition

·时钟线形稳定，偏差≦±100 ps

·系统偏差≦±1ns (ATS1)

·每个管脚可选用直流精密测量单元

·Window、Edge和Dual-Edge 采样

·128个I/O管脚(ATS1)

·APMU：直流精密测量单元

·2.1 Gb扩展图形存储器

·PCI-GPIB 和PCI-VXI接口板

·Sun Ultra 10 工作站

系统软体功能

·TestEnv：基于Xwindows的测试软件环境，包括

·IMS Screens、IMS-Shmoo、TestLITE和

·MATSS测试服务器

·IMS-Link：提供脱机向量转换软件编辑能力和通用仿

真器支持

·TestVIEW (V7.2e) ：图形测试编程语言

系统模组Module

·Control Module x1

·Timing module x1

· Data module x8

·Analytical DC PMU module x1

Socket Card 种类及数量

·DIP Auto Socket Card 40 *1

·ATS1/MSTS1 Anolog Interface Board *1

·Force Autocal Interface Board *1

·Open Custom DUT Interface Board *13

·ATS1/MSTS Fixture Board *1

·Force Autocal *1

·Compare Autocal *1

·IMS Adapter Board *1

概述：

·专为10MHz逻辑IC测试机, 具有Function Pattern测试, Dc

参数量测等功能

硬件结构：

特性：

·2M的向量存储器深度

·可4组并行测试

·完整的功能Pattwen和DC参数测试

·驱动电压：+-8V，比较电压：6V

·具有Shmoo Plot工具, 用于器件特性分析

·测试程序调试工具

·完善的测试诊断报告和柱状图

·TTL和GPIB接口, 可直接连接至prober和handler

·紧凑小型，易安装

资源配置：

·测试控制器：奔腾III以上PC

·系统软件：MS-DOS

·电源要求：（1）单相交流，AC 110V 10A /50-60Hz

（2）单相交流，AC 220V 6A /50-60Hz

性能参数：

·测试频率：10MHz

·周期速率：100nS-1.31mS

·周期分辨率：20nS

·测试通道：最大128个

·多组测试：2/4组并行测试

·定时器：4Pins/TG

·定时器分辨率：10nS

·闸门模式：边沿式

·测试向量深度：2M

·驱动器：VIH：+-8V 分辨率：5mV

·VIL：+-8V 分辨率：5mV

·比较器：VOH：+-8V 分辨率：5mV

·VOL：+-8V 分辨率：5mV

PMU：1组/板卡，最大8组

施加电压/ 测量电流范围：

级别电压精确度分辨率

0 10V +%+-5mV 2.5mV

1 10V +%+-5mV 2.5mV

2 10V +%+-5mV 2.5mV

3 10V +%+-5mV 2.5mV

施加电流/ 测量电压范围：

HVPMU：2组/板卡，最大16组

施加电压/ 测量电流范围：

施加电流/ 测量电压范围：

概述·10MHz的测试频率，128

个测试通道，

4M字节向量深度的大规模LSI测试系统

系统尺寸

·主框架：580(W),750(D),1200(H)或1850(H)毫米

·测试头：580(W),340(D),250(H)毫米

·电缆长度：4 米

测试器控制器

·处理器AMD-K6-500

·操作系统MS/DOSV

·内存32MB

·硬盘4.0GB

·软盘3.5英寸1.44MB

接口板

·标准接口板针对探针机和机械手

·GPIB 接口板选项

PIN电子性能

·标准64 PIN

·全系统128 PIN 或64PIN*2DUTS

软件包·语言 C (库:

TURBO C)

·工具软件SCHMOO

HISTOGRAM

WAFERMAP

·测试程序转换器

ANDO-SUMMIT 至V7100 (主程序和波形程序)

SENTRY 至V7100 (波形程序)

CREDENCE-SC212 至V7100 (波形程序)

ADVANTEST-MOSPL 至V-7100 (波形程序)

驱动器

·输出电压VIH 0V 至+11V VIL -2V 至+8V

·电压摆幅100mVp-p 至11Vp-p

·精度0.5% + 5mV

·分辨率2.7mV

·最大DC 电流输出="H"±20mA 输出= "L"±20mA

·阻抗50 ± 5%ohm

·升/ 降时间驱动器模式< 5ns/5Vp-p

(20% 至80%) I/O 模式< 5ns/5Vp-p

·总时钟精度 (NRZ 格式) ±5ns ( 最大 )

·时滞 (NRZ 格式 ) 有关PINS ±5ns ( 最

大 )

·有关TGS ±4ns ( 最大 )

·上突波 / 下突波 3%+50mV

· VIH/VIL 级别 4 级别

·驱动器模式 FIX-HI, FIX-LO, NRZ, /NRZ,

RZ, /RZ, R1, EXOR, /EXOR,

·无调制

·时钟的限制参照图 1

条件: 10Mohm 和 15pF 载荷