离子注入机操作方法

离子注入机操作方法

1 打开真空计（先开左边开关，再打开右边开关，左边表盘为低真空，右边表盘为高真空.可以换挡最后抽到本底真空--*10-3pa以下，本底气压越高越好）→打开机械泵→电磁阀1(抽到2Pa以下,需要几分钟时间)→电磁阀2

2 在控制柜后面的所有开关都打开→分子泵电源开→关电磁阀1

3合头部电源（绿为开，红为关）打开→供气小流量N2量程0—10sccm (2.5sccm起弧)/大流量0---100sccm（He 60sccm起弧）→打开电弧电压（70V左右）→灯丝电源电流(10A左右)→引出电压；引出电流(根据实验需要可任意加)→抑制电压1000V左右,抑制电流越小越好，最好是0→打开加速电源(10—100KV,可根据实验需要参数设定来调节) 100kV—10mA 为最大参数。灯丝电源和电弧电源可以调节加速电流，加速电源控制加速电压，可以按需要进行调节到自己想要的。

4 如果出故障小红灯闪按下控制柜上面的大红色按钮和上面的黄色按钮停止工作，等一会再试试，如果还不行就全都关了，找老师检修。

5关机步骤

1）控制柜关

先关抑制电源→10多秒之后将引出电源（左旋降到0）关掉→电弧电源（左旋降到0）关掉→灯丝电源(最好不要超过15A) （左旋降到0）

关掉→流量（左旋降到0）关掉→合头部分电源关掉（按红色按钮）2）关掉真空计（先右下角开关，再关左下角开关）

3）关闭分子泵红色Stop→关电磁阀2→关机械泵→关总电源→控制柜后面所有开关都关掉。