66超短脉冲激光微细加工介绍讲解

图1. 五轴联动皮秒激光加工系统
图2. 飞秒激光加工系统 （西安交大电信学院信息光子实验室）
2.2 超短脉冲激光加工应用领域
太阳能 电池
液晶显示 基板
超短脉冲 激光应用
医疗机械
印刷电路
微光机电 系统
LED
图3. 超短脉冲激光应用的主要领域
不同应用领域的案例：
(1)太阳能电池领域：如钻孔、刻线、划槽以及表面纹理化； （2）液晶显示基板：如计算机、手机显示模块中超薄玻璃基板 的划线分割； （3）微机电系统：如发动机喷油嘴的微细加工； （4）医疗领域：飞秒激光视力矫正系统、定点精确的人体局部 组织处理； （5）集成电路领域：芯片的光刻、掺杂等微细处理； （6）特种物质加工：高爆材料如退役火箭、炮弹等的切割拆除。
4. 作业思考题
1）与常规激光加工相比飞秒激光微细加工的主要特点是什么？ 2）说明飞秒激光微细加工和准分子激光微细加工的主要区别？
超短脉冲激光微细加工介绍
课程名称：激光加工技术 主讲教师：王文权 单位：浙江工贸职业技术学院
1. 教学目标
了解超短脉冲激光微细加工的特点和应用。
2. 超短脉冲激光微细加工介绍百度文库
2.1 超短脉冲激光加工的概念
超短脉冲激光微细加工指的是利用脉冲宽度在皮秒至飞秒 量级的脉冲激光对材料的显微加工、精密裁切或微观改性。从 材料性能变化来说，可分为表面形貌、折射率、离子价态、相 态、缺陷态、晶态、化学键以及能带结构等的修饰与调控。
2.3 超短脉冲激光与常规激光加工的区别
（1）加工尺寸更小，可突破光束衍射极限； （2）实现高精度的非热熔型加工； （3）能克服等离子体屏蔽作用和掺杂、缺陷对激光吸收影响； （4）加工过程只与被加工材料原子特征有关，不受特性影响。
2.4 超短脉冲激光与准分子激光加工的区别
飞秒激光与准分子激光微细加工的不同： 准分子激光与飞秒激光都可进行微细加工，但准分子对
加工对象依据波长对材料有选择性，使得加工材料与范围受 限；另外，准分子激光可被透明材料表面吸收，故只能进行 表面微细加工。而飞秒激光不仅能进行表面微细加工，还可 对透明材料内部进行加工，且加工尺寸更小，精度更高。
3. 小结
本次课介绍了超短脉冲激光（特别是飞秒脉冲激光）因 具有的超短和超强特性，使得其在材料微细加工领域与常规 激光相比具有的特点和独特的优势。