北仪创新公司非晶硅太阳电池生产线简介
非晶硅太阳电池
三、非晶硅太阳能电池尽管单晶硅和多晶硅太阳能电池经过多年的努力已取得很大进展，特别是转换效率已超过20%，这些高效率太阳能电池在空间技术中发挥了巨大的作用。
但在地面应用方面，由于价格问题的影响，长久以来一直受到限制。
太阳能电力如果要与传统电力进行竞争，其价格必须要不断地降低，而这对单晶硅太阳能电池而言是很难的，只有薄膜电池，特别是下面要介绍的非晶硅太阳能电池最有希望。
因而它在整个半导体太阳能电池领域中的地位正在不断上升。
从其诞生到现在，全世界以电力换算计太阳能电池的总生产量的约有1/3是非晶硅系太阳能电池，在民用方面其几乎占据了全部份额。
1、非晶态半导体与晶态半导体材料相比，非晶态半导体材料的原子在空间排列上失去了长程有序性，但其组成原子也不是完全杂乱无章地分布的。
由于受到化学键，特别是共价键的束缚，在几个原子的微小范围内，可以看到与晶体非常相似的结构特征。
所以，一般将非晶态材料的结构描述为：“长程无序，短程有序”。
晶硅的结构模型很多，左面给出了其中的一种，即连续无规网络模型的示意图。
可以看出，在任一原子周围，仍有四个原子与其键合，只是键角和键长发生了变化，因此在较大范围内，非晶硅就不存在原子的周期性排列。
在非晶硅材料中，还包含有大量的悬挂键、空位等缺陷，因而其有很高的缺陷态密度，它们提供了电子和空穴复合的场所，所以，一般说，非晶硅是不适于做电子器件的。
1975年，研究人员通过辉光放电技术分解硅烷，得到的非晶硅薄膜中含有一定量的氢，使得许多悬挂键被氢化，大大降低了材料的缺陷态密度，并且成功地实现了对非晶硅材料的p型和n 型掺杂。
电导激活能的变化说明了材料的费米能级随着掺杂浓度的变化而被调制，表明确实可以对非晶硅进行掺杂以控制它的导电类型和导电能力。
2、非晶硅太阳能电池的特点及发展历史It wasn't until 1974 that researchers began to realize that amorphous silicon could be used in PV devices by properly controlling the conditions under which it was deposited and by carefully modifying its composition. Today, amorphous silicon is commonly used for solar-powered consumer devices that have low power requirements (e.g., wrist watches and calculators).非晶硅太阳能电池的特点非晶硅太阳能电池之所以受到人们关注和重视，是因为它具有以下优点：1、非晶硅具有较高的光吸收系数。
非晶硅太阳电池
非晶硅太阳电池非晶硅太阳电池是一种薄膜太阳能电池，也被称为非晶硅薄膜电池。
其特点是能够将光能转化为电能，具有较高的光电转换效率和较低的制造成本，因此在太阳能应用领域有着广泛的应用前景。
以下是与非晶硅太阳电池相关的参考内容。
1. "非晶硅太阳电池的制备与性能研究进展"（《光学学报》）这篇论文系统地介绍了非晶硅太阳电池的制备方法、性能研究以及光电转换效率的提高等方面的研究进展。
从材料选择到薄膜制备、器件结构设计和性能测试等方面进行了深入的探讨，对于非晶硅太阳电池的研究提供了很多有价值的信息。
2. "非晶硅薄膜太阳电池的工艺研究及性能提升"（《半导体学报》）这篇论文主要研究了非晶硅薄膜太阳电池的工艺方法，包括制备工艺和后处理工艺等方面。
通过对各种工艺参数的优化调整，实现了非晶硅太阳电池性能的显著提升。
研究结果表明，合理的工艺设计和优化对于改善非晶硅太阳电池性能具有重要意义。
3. "纳米结构在非晶硅太阳电池中的应用"（《材料导报》）这篇综述性文章讨论了纳米结构在非晶硅太阳电池中的应用。
通过引入纳米结构材料，如纳米线、纳米颗粒等，可以增强光吸收和光电转换效率，提高非晶硅太阳电池的性能，并且可以通过合理设计纳米结构的形状和尺寸来调控电子传输行为，进一步提高光电转换效率。
4. "非晶硅太阳电池的商业化应用前景"（《太阳能材料与太阳能电池》）这篇综述性文章讨论了非晶硅太阳电池的商业化应用前景。
随着清洁能源的需求增加，非晶硅太阳电池作为一种低成本、高效率的太阳能电池，具有广泛应用的潜力。
在文章中，介绍了非晶硅太阳电池在建筑领域、电动汽车领域和户外设备领域的应用案例，并讨论了相关市场发展和商业化应用的前景。
5. "非晶硅太阳电池的发展趋势及挑战"（《太阳能学报》）这篇综述性文章回顾了非晶硅太阳电池的发展历程，并展望了未来的发展趋势和面临的挑战。
非晶硅太阳能电池生产工艺流程
非晶硅太阳能电池生产工艺流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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非晶硅太阳电池
非晶硅太阳电池非晶硅太阳电池，也被称为非晶硅薄膜太阳电池，是一种利用非晶硅材料制成的光伏电池。
非晶硅太阳电池具有柔性、轻薄和低造价等优点，适用于一些特殊场合和应用领域。
本文将从非晶硅材料的特性、非晶硅太阳电池的结构和工作原理、非晶硅太阳电池的优缺点以及应用领域等方面进行详细介绍。
非晶硅是一种非晶态的硅材料，其原子结构杂乱无序，与晶体硅相比，非晶硅具有更高的能量转换效率和更低的制造成本。
非晶硅太阳电池通常由玻璃或塑料基底、透明导电薄膜、非晶硅光伏层、背电极和接线等部分组成。
非晶硅太阳电池使用非晶硅材料作为光伏层，其中掺杂了少量的杂质元素，使得材料具有较高的光电转换效率。
非晶硅太阳电池的工作原理主要基于光伏效应，即光子入射到非晶硅光伏层上后被吸收，释放出电子和空穴，并在电场的作用下分别流向背电极和透明导电薄膜，从而形成电流。
非晶硅太阳电池的光伏转换效率与光伏层的材料性能、光伏层的厚度、非晶硅材料的电学性质等因素密切相关。
非晶硅太阳电池具有以下优点：首先，非晶硅太阳电池可以制备成柔性和轻薄的结构，适应各种复杂的曲面和形状，具有更广阔的应用空间；其次，非晶硅太阳电池的制造成本较低，生产工艺简单，可以实现大规模生产和应用；此外，非晶硅太阳电池在低光强和低温环境下具有较高的光电转换效率，适用于一些特殊应用领域。
然而，非晶硅太阳电池也存在一些缺点：首先，非晶硅太阳电池的光电转换效率相比于其他材料的太阳电池要低一些；其次，非晶硅太阳电池对光强和温度的变化较为敏感，在高温和强光环境下效果较差；另外，非晶硅太阳电池的使用寿命较短，一般在10年左右。
非晶硅太阳电池在一些特殊领域有广泛应用。
例如，在电子设备领域，非晶硅太阳电池可以用于制备柔性和可折叠的光伏电池组件，为电子设备提供可持续的电力；在建筑领域，非晶硅太阳电池可以嵌入到建筑材料中，如玻璃幕墙、屋顶瓦片等，实现建筑一体化太阳能利用；此外，非晶硅太阳电池还可以应用于一些便携式充电设备、户外太阳能供电系统等领域。
非晶硅太阳电池的原理
非晶硅太阳电池的原理2010-11-1314:54目录一、非晶硅薄膜太阳电池基础知识简介二、非晶硅薄膜太阳电池生产线及制造流程简介三、国产提供的非晶硅薄膜太阳电池生产线介绍一、非晶硅薄膜太阳电池基础知识简介1976年美国RCA实验室的D.E.Conlson和C.R.Wronski在Spear形成和控制p-n结工作的基础上利用光生伏特(PV)效应制成世界上第一个a-Si太阳能电池，揭开了a-Si在光电子器件或PV组件中应用的幄幕。
目前a-Si多结太阳能电池的最高光电转换效率己达15%。
图1为一般单结的非晶硅太阳能电池结构图，图2为非晶硅太阳能电池图1非晶硅太阳能电池结构图图2非晶硅柔性太阳能电池第一层，为普通玻璃,是电池载体。
第二层为绒面的TCO。
所谓TCO就是透明导电膜，一方面光从它穿过被电池吸收，所以要求它的透过率高；另一方面作为电池的一个电极，所以要求它导电。
TCO制备成绒面起到减少反射光的作用。
太阳能电池就是以这两层为衬底生长的。
太阳能电池的第一层为P层，即窗口层。
下面是i层，即太阳能电池的本征层，光生载流子主要在这一层产生。
再下面为n 层，起到连接i和背电极的作用。
最后是背电极和Al/Ag电极。
目前制备背电极通常采用掺铝ZnO(A1),或简称AZO。
由于a-Si(非晶硅)多缺陷的特点，a-Si的p-n结是不稳定的，而且光照时光电导不明显，几乎没有有效的电荷收集。
所以，a-Si太阳能电池基本结构不是p-n 结而是p-i-n结。
掺硼形成P区，掺磷形成n区，i为非杂质或轻掺杂的本征层(因为非掺杂的a-Si是弱n型)。
重掺杂的p、n区在电池内部形成内建势，以收集电荷。
同时两者可与导电电极形成欧姆接触，为外部提供电功率。
i区是光敏区，光电导／暗电导比在105～106，此区中光生电子、空穴是光伏电力的源泉。
非晶体硅结构的长程无序破坏了晶体硅电子跃迁的动量守恒选择定则，相当于使之从间接带隙材料变成了直接带隙材料。
中国真空学会2008学术年会暨理事会日程
中国真空学会2008学术年会暨理事会日程六届三次理事会及六届六次常务理事会中国真空学会2008学术年会张贴报告A 真空科技与表面工程ZT01真空技术在高纯金属碲生产中的应用王学文、华睿ZT02 1.2m幅宽F46基底镀银(镀铝)二次表面镜热控材料制备及性能研究王艺、冯煜东、王志民等ZT03定向流真空校准装置的研制卢耀文、张涤新、成永军等ZT04基于LabVIEW的气体压力测试系统宋瑞海、张涤新、成永军等ZT05基于动态流量法利用定容式流量计进行真空校准方法的研究赵澜、张涤新ZT06静态膨胀法真空标准容积比测量及不确定度评定徐婕、李得天ZT07静态膨胀法真空标准装置赵光平、张涤新、李得天等ZT08压力衰减法超高真空校准技术研究郭美如、李得天、成永军等ZT09极高真空电离规的抽速与出气效应研究成永军ZT10全自动真空整形包装机的研制朱仁胜、陈长琦、李义生ZT11北京中高能标准粒子试验束流装置真空系统改造周利娟、彭晓华、董海义等ZT12超导高频腔真空探漏工艺简述彭晓华，张锦堂，李中泉ZT13大口径制冷机低温泵性能测试系统郭欣、邵容平、阎荣鑫ZT14基于M-C方法模拟分析NBI真空压力分布的影响因素王绍良、陈长琦、胡纯栋等ZT15氦质谱检漏仪线性实验研究李莉ZT16真空数据采集系统的开发杜春林、刘春涛、许忠旭ZT17真空设备用油的选型惠进德ZT18高氧纯化铝陶瓷的封接荀燕红ZT19四极质谱计在真空热环境试验中的应用研究许忠旭、杜春林、陈涛等ZT20特大型人工气候环境试验设备应用的真空技术李强、刘波涛、茹晓勤ZT21空间环境模拟设备的超高真空获得技术章学华、张俊峰、姜春等ZT22氦质谱大气累积检漏最小可检漏率的分析师立侠、冯琪、闫荣鑫ZT23氦放电等离子体射流的实验研究江南ZT24航天器管路系统差压检漏技术研究孟冬辉、闫荣鑫、郭欣ZT25CPT荫罩真空工作的仿真叶于文、俞敏、赵军ZT26大口径低温泵的研制陈家富、徐中堂ZT27氦质谱检漏技术不确定度研究吴达、洪晓鹏、闫荣鑫ZT28圆弧形盘型分子泵不同气体的抽气特性研究钟亮、巴德纯、闫荣鑫ZT29一种实用的无油螺杆真空泵单头等螺距转子型线张世伟*，梁文升，赵瑜等ZT30影响水环泵效率的诸多因素分析解扬华，张世伟*，徐成海ZT31双靶共溅射沉积复合膜的成分均匀性的计算研究张世伟*，侯丽媛，张晓玉等ZT32真空吸取器拾取动作响应时间与影响因素的研究张世伟*，温燕修，韩进ZT33库尔勒香梨冻干的实验研究张世伟*，鄂东梅，张志军等B 表面纳米科技ZT34TiB2/TiN纳米多层膜界面的第一性原理研究李强、邓湘云、李德军ZT35调制比对ZrB2/ZrAlN纳米多层膜的结构与性能的影响亢原彬、董磊、李德军ZT36水溶液中单步合成杂化SiO2高单分散小球及其自组装效应邓天松、张俊艳、沈昕等ZT37氮化铝纳米锥有序阵列的低温制备及场发射特性研究梁炜杰、刘飞、苏赞加等ZT38金属茂(铁、钴和镍)分子及其准一维分子链的电学性质研究沈昕、弋泽龙、侯士敏等ZT39基于单根砷掺杂氧化锌纳米线的电学及光学特性张俊艳、邓天松、沈昕等ZT40锥状碳纤维和碳纳米管复合结构在碳基底上的可控生长张暐、奚中和、张耿民ZT41Electronic structure and exotic exchange splitting in spin-density-wavestates of BaFe2As2杨乐仙、封东来等ZT42分子与表面等离激元的相互作用对STM诱导发光的影响张杨、陶兴、高洪营等ZT43硅基体表面状态对荧光分子光致发光的影响方应翠、高博、陈留国等ZT44低能Ti原子与Ti(0001)表面相互作用的分子动力学模拟黄河、颜超、赖新春等C 薄膜科学与技术ZT45磁控溅射WO3电致变色薄膜的太阳吸收率何延春、邱家稳、吴春华ZT46粗糙光学基片表面制作及其对真空紫外反射率的影响干蜀毅、刘兴悦、朱武等ZT47直流磁控溅射制备P型透明导电Ca掺杂SrCu2O2薄膜光电性能研究黄柳秋、方亮ZT48掺钨二氧化锡透明导电氧化物薄膜的性能研究黄延伟、张群、李桂峰ZT49铝合金基体上电镀Ni-Co-P合金的工艺研究李赟ZT50PECVD法制备富硅氮化硅薄膜及其发光特性研究李喆、张溪文、韩高荣ZT51镍硅颗粒膜的发射特性梁海锋、刘纯亮、孟令国ZT52负偏压对磁控溅射氧化铝薄膜的影响林晶、刘壮、孙智慧等ZT53非平衡磁控溅射制备Ti-DLC膜结构与性能刘衡平、徐均琪、严一心ZT54工艺条件及微量元素掺杂对Co:ZnO稀磁薄膜性能的影响刘雪敬、宋成、曾飞等ZT55缠绕式射频磁控溅射PET表面沉积SiO2薄膜的研究刘壮、林晶、孙智慧等ZT56粉末溅射制备ZnO:In薄膜及其光学性质的研究彭丽萍、方亮、杨小飞等ZT57Co掺杂ZnO稀磁氧化物的局域结构与磁性宋成、潘峰ZT58闭合场非平衡磁控溅射离子镀沉积参数对涂层性能的影响孙海林、柯培玲、鲍明东等ZT59多孔硅多尺度微纳结构表面的制备和超疏水性能的研究王富国、余元烈、张俊彦ZT60原子氧处理对氧化锌薄膜的结构及光学性能的影响王云飞、陈学康ZT61磁控溅射制备类金刚石薄膜的内应力研究王舟、王成兵、王琦等ZT62真空电子材料靶材的应用夏慧ZT63工艺参数对非平衡磁控溅射沉积铬膜的性能影响杨林生、王君、陈长琦ZT64NiO/Ni薄膜交换偏置的训练效应和磁化强度翻转行为杨培勇、宋成、曾飞等ZT65退火处理对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜性能的影响杨小飞、方亮、殷波等ZT66ZnO基薄膜的铁电、压电与多铁性能研究杨玉超、潘峰ZT67宽截止长波红外带通滤光片的研制叶自煜、王多书、陈焘等ZT68中频磁控溅射沉积CNx纳米柱阵列及其影响因素张斌、张俊彦ZT69负磁伸性Sm-Fe膜系组织结构与性能周白杨、陈梓荣、毛宏英等ZT70微胶囊电子墨水显示屏关键技术研究邓少芝、陈宇、王喜杜等ZT71微胶囊电泳显示材料黏度对显示薄膜光电性能影响的研究张璐、邓少芝、许宁生等ZT72纳米金刚石薄膜紫外探测器研究王兰喜、陈学康、王云飞等ZT73 不同工艺参数对冷等离子枪聚合SiO2薄膜的结构影响周振、董良旭、陈强等分会专题报告日程与地点CVS2008分会会场安排总表（云安会都会议楼-云安会堂）A 真空科技与表面工程分会主席：巴德纯、陶梦、苏原B 表面纳米科技分会主席：高鸿钧、董振超、王琛、顾宁、施毅、贾金锋、张耿民C 薄膜科学与技术分会主席：潘峰、韩高荣D 电子材料与器件、等离子体和显示技术分会主席：江南、罗毅、许宁生、王保平。
非晶硅薄膜太阳能电池组件生产项目.pdf
2 建设期利息
项目建设期使用银行贷款9000万元，按照同期中国人民银行 中长期贷款基准有效利率计算，长期借款有效利率为6.26%，建设 期利息657万元。短期借款有效利率5.7%。
3 流动资金
项目采用分项详细估算法，对存货、现金、应收帐款、应付帐 款的最低周转天数，参照同类企业的平均周转天数并结合项目特点 确定。流动资金估算为2683万元，其中铺底流动资金805万元。
单晶硅、多晶硅电池具有研发早、转化效率高、生产工艺成熟等 优点，得到了一定数量的推广。但是单晶硅、多晶硅电池组件的 硅料提纯、制取过程中消耗大量硅原料和电能，发电成本远高于 其他能源形式。
单晶硅、多晶硅电池成本下降有两种途径：提高转化率和降低硅 片厚度。根据电池转化率和硅片厚度变化趋势可以测算多晶硅系 统价格变化趋势，最高值分别是22%和150um，这个数值接近晶 硅的成本极限；按照年日照1000h测算，2020年多晶硅电池系统 的发电成本为2.02元/kW·h；这一数据接近晶硅的成本底线，但 仍不足以与煤炭等常规能源相比，市场前景日益黯淡。单晶硅、 多晶硅电池的这些缺陷在客观上为非晶硅薄膜电池的发展提供了 契机。
清偿能力分析 ；不确定性分析 四、财务评价结论
第五章 可行性研究结论
一、本项目效益分析 二、本项目可行性研究结论
一、项目的国内外发展和趋势
1.太阳能光伏发电技术作为太阳能利用中最具有意义的技术，成 为世界各国竞相研究应用的热点。最近十年以每年平均30％-40% 的速度递增。
2.我国“十一五”实施的“光明工程”计划中，太阳能发电主要 用于解决日照条件较好但缺乏燃料的偏远地区，如青海、西藏、 新疆、甘肃等省生活用电问题。中国自2007年起,太阳能电池产 量位居全球第一,已成为全球重要的太阳能电池生产基地。
非晶硅薄膜太阳能电池简介
非晶硅薄膜太阳能电池简介非晶硅薄膜太阳能电池是一种以非晶硅化合物为基本组成的薄膜太阳能电池。
按照材料的不同，当前硅太阳能电池可分为三类：单晶硅太阳能电池、多晶硅薄膜太阳能电池和非晶硅薄膜太阳能电池三种。
生产成本低由于反应温度低，可在200℃左右的温度下制造，因此可以在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料片上淀积薄膜，易于大面积化生产，成本较低。
单节非晶硅薄膜太阳能电池的生产成本目前可降到1.2美元/Wp。
叠层非晶硅薄膜电池的成本可降至1美元/Wp以下。
能量返回期短转换效率为6%的非晶硅太阳能电池，其生产用电约1.9度电/瓦，由它发电后返回上述能量的时间仅为1.5-2年。
适于大批量生产非晶硅材料是由气相淀积形成的，目前已被普遍采用的方法是等离子增强型化学气相淀积(PECVD)法。
此种制作工艺可以连续在多个真空淀积室完成，从而实现大批量生产。
采用玻璃基板的非晶硅太阳能电池，其主要工序（PECVD）与TFT-LCD阵列生产相似，生产方式均具有自动化程度高、生产效率高的特点。
在制造方法方面有电子回旋共振法、光化学气相沉积法、直流辉光放电法、射频辉光放电法、溅谢法和热丝法等。
特别是射频辉光放电法由于其低温过程(～200℃)，易于实现大面积和大批量连续生产，现成为国际公认的成熟技术。
高温性能好当太阳能电池工作温度高于标准测试温度25℃时，其最佳输出功率会有所下降；非晶硅太阳能电池受温度的影响比晶体硅太阳能电池要小得多。
弱光响应好，充电效率高非晶硅材料的吸收系数在整个可见光范围内，在实际使用中对低光强光有较好的适应。
上述独特的技术优势，令薄膜硅电池在民用领域具有广阔的应用前景，如光伏建筑一体化、大规模低成本发电站、太阳能照明光源。
由于非晶硅薄膜电池的良好前景，包括Sharp、Q-Cells、无锡尚德等在内的诸多企业正大规模进入非晶硅薄膜太阳能电池领域，整个行业的统计数字不断翻新。
市场前景在整个太阳能电池家族中，非晶硅薄膜太阳能电池因为其技术和应用方面的优势，正在获得爆发性增长。
第1章-非晶硅薄膜及非晶硅薄膜太阳电池
艾斌 博士 副教授
中山大学太阳能系统研究所
Institute for Solar Energy System
第一章 非晶硅薄膜以及非晶硅薄膜太阳电池 §1-1 非晶态半导体物理基础 §1-2 非晶硅薄膜太阳电池基础知识 §1-3 非晶硅薄膜太阳电池生产线及制造工艺
Institute for Solar Energy System
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理论上： 1957年，Anderson 定域化理论。 60年代，Mott-CFO 能带模型（Cohen, Fritzsche, Ovshinsky）。 1977年，Mott，Anderson 获诺贝尔奖。
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电导激活能的变化说明了材料的费米能级随着掺杂 浓度的变化而被调制，表明确实可以对非晶硅进行 掺杂以控制它的导电类型和导电能力。
3. 非晶硅薄膜的制备
非晶硅薄膜的制备技术有很多，包括辉光放电等离子 体增强化学气相沉积（PECVD），热丝化学气相沉 积（HWCVD）和电子回旋共振等离子体化学气相淀 积（ECRCVD）技术等。其中最常用的是PECVD方 法。典型的PECVD装置由高频电源，反应腔体系
5. 结构分析方法
5.1 a-Si:H 红外吸收谱
振动模式分两类: 成键原子之间有相对位移。 键长有变化——伸缩模 （stretch）; 键角有变化——弯折模 （bend）. 成键原子之间无相对位移。 摆动（wag）; 滚动（rock）; 扭动（twist）.
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统，样品传输系统，真空抽气系统和反应气体流量控 制系统等几部分组成 。
太阳能电池制造工艺工艺流程以及工序介绍
(c). 去磷硅玻璃---PSG 在扩散过程中发生如下反应：
4 P C l 5 O 2 P O 6 C l POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面， P2O5与Si反应生成SiO2和磷原子：
32
25
2
这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃。 去除磷硅玻璃的目的、作用：
太阳能电池制造工艺 ——工艺流程以与工序简介
硅太阳能电池的结构与其工作原理： 磷扩散层
1.前言
其主要是利用硅半导体p-n结的光生伏打效应。 即当太阳光照射p-n结时，便产生了电子-空穴对， 并在内建电场的作用下，电子驱向n型区，空穴 驱向p型区，从而使n区有过剩的电子，p区有过 剩的空穴，于是在p-n结的附近形成了与内建电 场方向相反的光生电场。在n区与p区间产生了电 动势。当接通外电路时便有了电流输出。
(b). 多晶制绒---RENA InTex
3 S 目i 的 与2 作H 用N ：O 3 1 8 H F 3 H 2 S i F 6 0 . 4 5 N O 1 . 3 5 N O 2 0 . 1 N 2 O 4 . 2 5 H 2 2 . 7 5 H 2 O
（1）去除单晶硅片表面的机械损伤层和氧化层。 （2）有效增加硅片对入射太阳光的吸收,从而提高光生电流 密度，提高单晶硅太阳能电池的光电转换效率。
1）、硅太阳能电池的制造工艺流程：
捷佳创单晶制绒
扩 散 工 序
RENA多晶制绒 制绒清洗工序
丝
网
印
工 序
刷 工 序Laser P源自CVD烧 结工工
序
序
测 试 分 选 工 序
去除磷硅玻璃PSG
成品硅太阳能电池
1.原料硅片清洗制绒 12.测试分选
非晶硅厂家
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中国地区非晶硅薄膜太阳能电池厂家一览表 公司 黑龙江哈克新能源公司 天津津能科技 威海中玻光电有限公司 常州源畅光电能源有限公司 蚌埠市普乐新能源有限公司 泉州金太阳 深圳Topray太阳能公司 深圳市创益科技发展有限公司 尚德（上海）薄膜 新奥集团 南通强生光电科技有限公司 浙江慈能光伏科技有限公司 河南新能光伏有限公司 保定天威薄膜光伏有限公司 百世德太阳能高科技有限公司 浙江正泰太阳能科技有限公司 China Solar Power 武汉日新 中山铨欣照明电器有限公司 风帆股份 杭州天裕 沈阳汉锋 河北常源光伏科技有限公司 吉林庆达新能源 尺寸1400x1100mm 尺寸1400x1101mm Ulvac anwell 规格 技术来源 省 黑龙江 天津 山东 江苏 安徵 福建 廣東 廣東 上海 河北 江苏 浙江 河南 河北 江苏 浙江 山东 湖北 北仪 Amelio Solar 广东
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北仪创 新公司非 晶硅 太 阳 电池 生产线简介
赵 益平 # 北 京北 仪创新真 空技术有限 责任公 司 北 京 ∃ % & ∋ %% (
报告 由四部分组成 太 阳能光伏产业 的简述 非晶硅 薄膜 太 阳 电池 的
)
、
发展状况
、
国内非 晶硅 薄膜太 阳 电池 生产设备产业 化的状况
,
近 年来薄膜光伏 电池 研发取 得新的进展 展迅 速
。
非 晶硅 薄膜 电池 产业 化也发
从 科技 学科的角度 光伏 发 电技 术的核 心 技术属 于 半 导体 技术 而 制 备光伏器 件 的核心 设备 则应属于 真空 薄膜设备
近 年来
,
∗
,
,
。
北 仪创新与多所科研 院校合作
,
,
成功进行 多项 薄膜光伏 电池
、
北 仪创新公
司非 晶硅 太 阳 电池 生 产线简介
∃ 世 纪 开 发新 能源 和 可 再生清洁 能源 是二 十 一 世 纪世 界经 济 发 跨入 &
,
展 中最 具决定性影响 的技术领域之 一 业 之一
。
。
光伏产业 是世 界 发展速度 最快的行
。
国际太 阳能光伏产业 市场拉动 了我国光伏产业 的发展