真空检漏常用方法和技巧
真空检漏常用方法和技巧
真空检漏1
一、概述1．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。漏率，即单位时间流过漏孔(包括间隙)的气体量。2．漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示)，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。3．最大容许漏率真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。动态真空系统的最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤1/10PwS (1) 式中Pw----系统工作压力S----系统的有效抽速对于静态真空系统，要求在一定时间，其压力维持在容许的压力以下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。如果要求在时间t,容积为V的系统的压力由p升至pt，则其最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤(pt-p)V/t (2) 各种真空设备的最
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法
引言
真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制
造和化学工程等。确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关
重要。而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测
方法非常关键。
方法一：气泡检漏法
气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空
系统或外部表面不易检测的装置。具体步骤如下：
1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是
不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法
氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。具体步骤如下：
1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法
静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。具体步骤如下：
1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法
红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。具体步骤如下：
真空系统查漏操作及措施
真空系统灌水查漏措施
目的：
为了更好地实施真空泵及其系统的现场试运，保证真空系统参数正常，达到《火电工程调整试运质量检验及评定标准》所规定的要求，为整套启动顺利进行打下较好基础。
应具备的条件
1.真空系统的所有设备均已安装结束，并经验收签证；
2.系统内的手动、气控阀门动作试验结束，活动灵活，无卡涩，各限位开关位置正确，指
示无误；真空泵的水管及冷却水系统已冲洗合格；
3.有关热工、电气回路的调试工作均已结束
4.所有仪表安装齐全，并经检验合格；
5.设备周围的杂物已清净，沟道加盖板,照明充足；
6.阀门用的压缩空气可投入使用；
7.灌水时，轴加风机入口门关闭且凝泵不启，将与真空系统有关的门打开，包括疏水至扩
容器的疏水门；
8.各抽气、高排管道、低压旁路管道等加装临时支吊架，以防进水后超重引起管道变形；
9.小机排汽安全膜更换为临时铝板或去除其“刀架”以防进水后引起安全膜破裂；
10.小机排汽管加装临时支架，待灌水结束后拆除；
11.凝结器水侧放空，将人孔打开（视钢管检漏情况是否执行）；
12.凝结器汽侧加装临时水位计至12米。
灌水原则：
低于12米的系统及容器均参与真空系统灌水查漏。加热器汽侧灌水用经常疏水门倒入，各抽汽管的灌水通过各抽汽管道疏水门倒入。所有疏水一、二次门保持开启。所有系统及容器充满水后，将凝结器汽侧水位补至低压缸汽封凹窝处后，保持此水位静置24小时进行观察，记录水位下降趋势及系统渗漏点。
应加入的系统：
1.#5低加进汽部管道及其疏水管（门）；五抽管道及其疏水管（门）；
2.#6低加汽侧及其疏水管（门）；六抽管道及其疏水管（门）；
真空检漏方法
真空检漏方法
真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。
1. 毛细管测量法
毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。
2. 红外检测法
红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。不适用于空气、氮气等无机气体的检测。
3. 热模反应法
热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。
4. 电离检测法
电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。
5. 质谱检测法
质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。此方法非常适用于检测裂解气体。
6. 超声波检测法
超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。
7. 气泡法
气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。
8. 空气泄漏检测法
空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空室的操作规范与泄漏检测方法
真空室的操作规范与泄漏检测方法
在科学研究与工业生产中，真空技术被广泛应用，而真空室作为实现真空环境的关键设备之一，其操作规范与泄漏检测方法显得尤为重要。本文将从真空室的操作规范和泄漏检测方法两个方面展开讨论。
一、真空室的操作规范
1.控制真空度：在进行实验或生产过程中，需要根据需求来控制真空室的真空度。初次启动真空室时，应逐渐降低气压，避免突然抽气引发异常变化。在操作过程中，应根据实际需求调节抽气速率，避免产生封堵或过度抽气造成设备损伤。
2.防止泄漏：真空室泄漏会引入气体或杂质，影响真空度。因此，操作人员需严格按照操作手册操作，保证各接口与元件的紧密性，防止气体泄漏。同时，定期检查密封件的损坏情况，及时更换。
3.避免水蒸气进入：水蒸气是真空室中常见的污染源之一，会在高温区域凝结并附着在设备内部，影响实验结果。因此，在操作前要保证设备内部干燥，避免水蒸气进入。
4.避免化学品进入：许多实验中会用到化学药品，但某些化学品会与设备材料发生反应。因此，在操作真空室时需避免化学品的直接进入，可以采用适当的壁厚和材料选择来增加设备的耐腐蚀性。
二、泄漏检测方法
1.氦泄漏检测法：氦泄漏检测法是一种常用的高灵敏度泄漏检测方法。该方法通过将真空室与氦气源相连，利用氦气泄漏后能够迅速扩散并检测出的特性，可以准确判断泄漏的位置和程度。
2.压差法：压差法适用于大气压与低真空之间的泄漏检测。使用方法是在真空
室的外部增加一定压力，然后观察真空室内气压的变化情况。若气压迅速升高，即可判断存在泄漏。
3.湿度检测法：某些泄漏源会导致真空室内部湿度明显升高。通过测量真空室
真空检漏方案
真空检漏方案
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真空检漏方案简述：
①系统预处理：确保被检系统清洁无杂质，关闭所有阀门，断开非检测部分，为检漏创造良好条件。
②抽真空：连接真空泵，对系统进行抽真空处理，直至达到预定真空度，通常远低于工作真空范围，以暴露微小漏点。
③保压监测：停止抽真空，保持系统真空状态，观察真空表或使用真空计持续监测真空度变化，记录时间-真空度曲线。
④氦质谱检测（如有条件）：注入少量氦气或使用氦气喷枪扫描可疑区域，利用氦质谱检漏仪检测氦气浓度，精准定位漏点。
⑤压力变化分析：根据真空保持时间内的压力下降速率，判断是否存在漏点及其大致泄漏率，快速泄漏需立即查找，缓慢泄漏可延长监测时间。
⑥漏点标识与记录：发现漏点后，使用标记笔或标签进行标注，记录漏点位置、漏率大小，为后续维修提供依据。
真空衰减法检漏
真空衰减法检漏
真空衰减法是一种检测容器或管道中气体泄漏的方法。它是通过将容器或管道内的空气抽空，然后观察真空度的变化来检测泄漏的存在和程度。
具体操作步骤如下：
1.将容器或管道连接到真空泵系统中，使用泵将内部空气抽出，直至达到所需真空度。
2.关闭真空泵和容器或管道之间的连接，然后等待一段时间以观察真空度是否保持不变。如果真空度下降，则说明存在泄漏。
3.根据所使用的真空度和泵吸取空气的时间，可以估算泄漏速率，从而找出泄漏点。
4.修复泄漏并重新进行测试，直至可以确认不再泄漏。
真空衰减法的优点是简单易行，能够检测到微小的泄漏，并且不会对测试物品造成损害。缺点是需要专业的测试设备和技术，以及一定的测试时间，不能用于检测液体泄漏。
真空测漏箱对容器罐瓶的三大检漏方法
真空测漏箱对容器罐瓶的三大检漏方法
容器罐瓶是很多生产企业的必备产品，其密封性是保证产品质量的关键因素。但是，由于制造材料和加工技术的影响，容器罐瓶的密封性并不总是完美的。为了保证产品不泄漏，企业需要对容器罐瓶进行严格的检漏。其中，真空测漏箱是一种广泛使用的检漏设备，下面介绍真空测漏箱对容器罐瓶的三大检漏方法。
1. 压力差法检测
压力差法检测是利用真空测漏箱的压力变化来检测容器罐瓶的泄漏情况。实在操作步骤如下：
1.把装满气体的容器罐瓶放入真空测漏箱内。
2.将真空泵打开，抽取内部气体，制造真空。
3.等待一段时间，让压力稳定下来，记录下此时的压力值P1、
4.在真空箱上开启有氦气泄漏检测器的进气口，让氦气均匀
地喷洒到容器罐瓶的外表面上。
5.当氦气深入容器罐瓶中，假如容器罐瓶存在泄漏，氦气会
流入真空箱中，导致真空箱内部氦气浓度上升。检漏仪器会适时探测到氦气，记录下此时的压力值P2、
6.计算差压ΔP=P1—P2、假如ΔP超过了运行的公差范围，
则表示容器罐瓶存在泄漏。
通过这种方法进行检漏可以对容器罐瓶的中空和密封进行全面的检测，精度高，牢靠性强，但需要较长的测试时间。
2. 欧拉法检测
欧拉法检测是通过容器罐瓶内的气体流动来检测容器罐瓶的泄漏情况。实在操作步骤如下：
1.将装有确定气体压力的容器罐瓶放入真空测漏箱内，利用
泄漏检漏器连接容器罐瓶，将容器罐瓶与真空泵相连接。
2.利用真空泵抽气，掌控容器罐瓶内的压力部分真空化，将
容器罐瓶内的气体负压。
3.在特定的时间内，容器罐瓶内的气体会逆流穿过泄漏孔，
被检测器探测到。
真空技术真空设备的检漏方法选择
真空技术真空设备的检漏方法选择
真空技术是指在一个封闭的空间内，将压力降至低于大气压的状态下
进行实验或加工制造的一种工艺。在真空技术中，保持设备封闭和稳定的
真空状态非常重要。因此，选择合适的检漏方法是确保真空设备正常运行
的关键。
常用的真空设备的检漏方法主要有以下几种：
1.比较法：比较法是指将待检设备与已知正常的参考设备进行对比。
常用的比较法包括浸泡法和测漏仪法。
-浸泡法：将设备放置在相同密封条件下的液体中，观察是否有气泡
产生。当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量
和冒出位置来检测漏点。
-测漏仪法：使用专业的测漏仪器进行检测。常用的测漏仪包括氦气
质谱仪和气泵测漏仪。氦气质谱仪是目前最常用的检漏仪器，它使氦气充
入设备中，然后使用质谱仪检测设备外部是否有泄漏的氦气。
2.物理法：物理法是指通过物理性质的变化来检测漏点。常用的物理
法包括泡沫法和红外法。
-泡沫法：在待检设备上覆盖一层泡沫液体，并观察是否有气泡生成。当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量和冒出
位置来检测漏点。
-红外法：使用红外检测仪来检测设备外部的热点。当设备有漏气时，漏出的气体会导致周围温度变化，红外检测仪可以通过检测温度变化来确
定漏点位置。
3.质谱法：质谱法是指使用质谱仪来检测漏点。常用的质谱法包括速
度导向调谐仪和质谱单元法。
-速度导向调谐仪：该方法使用氦气注入设备，并利用调谐器检测氦
气流速，当气体泄漏时，氦气流速会发生变化，通过检测这种变化来确定
漏点的位置。
-质谱单元法：该方法使用质谱仪来检测漏点。质谱单元会检测气体
用丙酮进行真空检漏
用丙酮进行真空检漏
1.首先明确丙酮检漏的原理：见附图，
即由液态丙酮经过漏孔（或面漏）急速变成气态成分。从而达到破坏原真空的稳定度。再由真空规管的读数变化，去判定是否有漏。
2.把握好整个过程之间的相互关系，即时间。自身真空的稳定度，引起真空变坏的整
个过程和引起真空变量的其它各种因素，时间过程。是因为有的漏孔不是规则的，其液态丙酮达到漏孔进行渗漏的时间并不一致。特别是动密封，它因为有至少两个或两个以上的油封或者是O型圈。而且有可能还要经过轴承或者铜套之类，因而其反应时间就变得更长，所以反应就变化的很慢。在这个过程中就需要我们人为的使之变快，就需要根据这个过程和一般的原理，动其部件来达到这个目的。
真空度自身的稳定情况指的是需要本底真空度的稳定，就得让泵的抽速和被抽容器的总漏气之间达到一个平衡点，即在真空计读数基本不变的情况下进行检漏。
再则就是引起真空变量的其他各种因素了。这里特别强调的就是我们要把握查漏的速度，因为先前的过程中，由于残留液态丙酮的不断进入漏孔，丙酮气化，使真空表的读数还处于变化中，在向下面排插时，就会使我们不能确定漏孔的确切位置。所以需要我们检查一处，把这里的残留丙酮清理后，再进行下一处排查。这点很重要。
3.对于真空的基本原理和真空下气体运动的关系和对于真空泵的本身性能都要了解
并懂得运用，这样子才能够解释一些不一样的反应情况，比如当我们进行对罗茨泵检漏时，水道如果说对油箱发生轻微渗漏时，这时检漏就变的很麻烦了，从表面看，一般会确认机械泵漏水色因为（以下用图表示）
由上可以看出在整个过程中是看不见水珠的，这就需要我们自己用掌握的东西自己进行合理的分析，得出正确的结论，从而解决当前的问题。
真空学实验技术的真空度维持与真空泄漏检测方法
真空学实验技术的真空度维持与真空泄漏检
测方法
真空技术在科学研究、工业生产等领域扮演着重要角色。在实验中，维持良好的真空度是确保实验准确性和可重复性的关键。本文将探讨真空度的维持以及真空泄漏的检测方法。
一、真空度的维持
在真空系统中，维持良好的真空度是至关重要的。真空泵是维持真空度的关键装置之一。真空泵可以通过抽取系统中的气体分子来降低气压。在科学实验中常用的真空泵包括机械泵、扩散泵和离心泵等。
机械泵是最常用的真空泵之一，它通过旋转机械装置来抽取气体分子。机械泵适用于中等真空度要求，但对于高真空度要求则不够。此时，可以使用扩散泵。扩散泵通过将气体分子扩散到高速流动的气体中来抽取气体。离心泵则通过快速旋转来产生离心力，从而将气体分子抽取出来。
除了真空泵，真空系统中的密封件也是维持真空度的关键因素。良好的密封可防止气体外泄，确保系统的稳定性。在选择密封件时，应注意材料的耐高温和耐腐蚀性能。常用的密封材料包括橡胶、金属、塑料等。
二、真空泄漏的检测方法
在实验室中，及时发现和修复真空泄漏是确保实验结果准确性的关键。以下介绍几种常用的真空泄漏检测方法。
1. 气体泄漏检测法：该方法通过在系统中注入特定气体，如氦气，然后使用氦气检漏仪测量系统中氦气的浓度来判断是否存在泄漏。氦气泄漏检测法对小漏洞具有较高的敏感性，且不会对系统产生损害。
2. 真空计法：真空计是一种用于测量气体压力的仪器。可以使用压力指示器或
真空度计来监测系统中的气体压力。如果发现气体压力的急剧上升或不稳定，很可能是由于泄漏导致的。
3. 热释电影法：该方法通过将热释电薄膜贴在系统的外壳上，当泄漏气体与薄
真空漏孔的校准方法(1)
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
真空漏孔的校准方法(1)
在检漏工作中，要定量地确定被检漏孔的漏率，需要将漏率的量值从气体微流量标准或漏率标准正确地传递到质谱检漏仪。在这个传递过程中，对参考漏孔的校准是一个很重要的环节。以国内外有关的标准和文献为基础，对真空漏孔的常用校准方法-定容变压法、恒压变容法、变容变压法和比较法分别给予分析和介绍。
1、引言在检漏工作中，定量地确定被检漏孔的漏率更具实际意义。定量地确定被检漏孔的漏率需要有三个基本条件:(1)漏率稳定、数值可靠的参考漏孔;(2)正确地用参考漏孔对检漏仪进行校准;(3)检漏仪的检漏条件与校准条件一致。
按照参考漏孔使用时两端的压力状态，可以分为真空漏孔和正压漏孔两类。真空漏孔是在人口压力为一个大气压、出口压力小于1kPa 条件下校准和使用的漏孔。正压漏孔是在人口压力大于一个大气压、出口压力为一个大气压条件下使用的漏孔。由于真空漏孔和正压漏孔的使用条件不同，故它们的校准方法也不完全相同。国际上对真空漏孔的校准已经研制了多种测量原理的校准装置，并在不同标准装置间进行了比对研究。对正压漏孔的校准，因为受到正压检漏定量性差和正压漏孔校准条件较难满足的局限，以前在国际上研究得不够; 但是，随着吸枪式质谱计检漏法的应用和普及，对正压漏孔的校准问题已经开始引起重视了。本文主要介绍真空漏孔的校准方法，正压漏孔的校准方法将另文介绍。
2、校准方法的分类参考漏孔的漏率就是在规定条件下，在单位时间内通过漏孔流出的气体量。假如将参考漏孔的一端与密闭容器相通，通过测量容器
真空练泥机检漏四法
是 否一致 ， 查盘 根是 否压 紧 、 检 压平 衡 ， 应 检查 真空 表 气声 ， 注意 的是尽 量关闭真 空设备 ， 还 要 以避免 噪声 干扰淹
是 否 完 好 等 ， 一 切 都 检 查 完 了 以 后 ， 可 开 启 真 空 泵 没 漏 气 声 。 待 即
查漏 。
２２ 密 封 圈法 ． 此 法 适 合 漏 气 较 大 的 部 位 ． 据 我 们 的 实 践 ， 安 装 根 在
处 补涂密封 胶 ， 固化后 即可 。 待 ２３ 肥 皂 泡 法 ． 表 拆 去 ， 上 自己 加 工 的 与 机 壳 真 空 表 座 相 配 合 的接 头 ， 拧
真 空 练 泥 机 的 查 漏 是 一 项 较 为 繁 琐 而 细 致 的工 作 ．
当 以 上 两 种 方 法 均 不 能 排 查 漏 气 部 位 时 ，可 将 真 空 为 避 免 漏 气 而 造 成 返 工 ，在 维 修 、装 配 时 一 定 要 格 外 小
可 首 先 判 断 漏 气 的 大 小 ， 启 真 空 泵 数 分 钟 后 ， 可 开 即
各 为 在 达 到 最 高 真 空 度 ，倘 最 高 真 空 度 未 达 到 要 求 ，则 漏 气 很 练 泥 机 前 ， 密 封 面 都 涂 有 密 封 胶 ， 了 查 漏 ， 密 封 面
外 缘 再 涂 敷 密 封 胶 后 开 启 真 空 泵 ． 由 于 该 密 封 胶 固 化 需 室 检 查 泥 料 ， 有 发 硬 或 干 硬 发 白的 情 况 ， 该 泥 料 处 即 若 则
真空检漏操作规程
真空检漏操作规程
真空检漏是一项关键的质量检测工作，用于检测真空
系统中是否存在漏气现象。下面是一份真空检漏操作规程，供您参考。
一、操作准备
1. 预先准备好所需的检漏仪器和设备，包括真空泵、
检漏仪、检漏剂等。
2. 确保检漏仪器和设备处于良好的工作状态，检查其
电源是否正常，仪表是否准确。
3. 准备好操作手册、相关图纸和技术参数作为参考。
二、检漏前的准备工作
1. 建立一个相关的安全检测区域，确保操作环境安全，预防意外事故的发生。
2. 根据实际需要，确定检漏的时间、地点和安全措施。
3. 进行相关的工艺流程、系统介绍和操作要求的培训。
三、检漏操作步骤
1. 关闭真空系统中的所有阀门，确保系统完全隔离。
2. 连接真空泵和漏气检测仪器，确保连接密封可靠。
3. 启动真空泵，排空真空系统，确保真空系统处于良
好的排气状态。
4. 将检漏剂喷洒或注入到系统中，并按照仪器操作手
册的要求，选择适当的检测方式。
5. 缓慢打开系统中的阀门，使之逐步进入真空状态。
6. 检查仪器显示的压力变化情况，并观察是否有泄漏
现象。
7. 对检漏仪器进行校准，并进行零点调整，确保检测
结果的准确性。
8. 对系统中的所有接头、阀门、管路等进行逐一检查，寻找潜在的漏气源。
9. 对发现的漏气点进行标记，并根据需要，进行必要
的修补和更换。
10. 测试完毕后，关闭真空泵和检漏仪，切断电源。
四、检漏操作注意事项
1. 检漏操作需要有经验的技术人员进行，并进行必要
的培训和指导。
2. 操作人员需要佩戴个人防护装备，如手套、工作服等，确保人身安全。
3. 检漏操作需要严格按照标准程序进行，不得随意更
真空检漏原理
真空检漏原理
真空检漏是一种用于检测封闭空间中是否存在漏气的技术。其原理是利用真空度检测仪器，通过抽取测试空间内的气体，将其压力降低到一个较低的真空度。然后观察一段时间内真空度是否变化，如果真空度出现明显下降，则可以判断存在漏气。
真空检漏的原理基于两个主要因素：一是漏气通道的存在，二是压力差的作用。当测试空间存在漏气通道时，高压区域的气体会通过漏洞进入低压区域，从而导致真空度下降。因此，通过观察真空度的变化，可以确定是否存在漏气通道。
为了实现真空检漏，通常需要使用专门的真空检漏设备。这些设备通常包括真空度检测仪、抽气设备和检漏剂。在检测过程中，首先将真空度检测仪连接到测试空间，并通过抽气设备将测试空间内的气体抽取至较低的真空度。然后，使用检漏剂喷洒在可能的漏气点上。如果存在漏气，漏气点附近的气体将被抽入检漏剂中，并在真空度检测仪上显示出真空度的下降。
通过真空检漏技术，可以有效地检测出封闭空间中的漏气问题。这对于一些需要高度密封的设备和系统来说非常重要，如真空系统、气密性要求高的容器、航空航天设备等。真空检漏技术有助于提高设备的可靠性和操作安全性，避免因漏气导致的性能下降或故障发生。
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真空检漏1
一、概述1．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。2．漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示)，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为×105Pa，出口压力低于×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。3．最大容许漏率真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。动态真空系统的最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤1/10PwS (1) 式中Pw----系统工作压力S----系统的有效抽速对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。如果要求在时间t内,容积为V的系统的压力由p 升至pt，则其最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤(pt-p)V/t (2) 各种真空设备的
最大容许漏率可参考表1确定。4．漏孔的气流特性气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。设环境温度T=296K，入口压力p2=×105Pa，出口压力p1《p2，漏孔长L，直径d的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态见表2。5．检漏方法的分类检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。
真空检漏2
二、检漏仪器用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国产检漏仪器的技术性能。1．氦质谱检漏仪氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显着减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用
于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。(1)工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。①单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪，其结构如图2所示。在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。质谱室的工作原理如图3所示。在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束[图中(me-1)2]恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪图4示出了双级900缩转串联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过第一个分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，仪器本底及本底噪声显着地减小，提高了仪器灵敏度。③逆流氦质谱检漏仪逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。(2)性能试验方法灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。①灵敏度及其校准氦质谱检漏仪灵敏度，通