真空检漏常用方法和技巧
真空系统查漏操作及措施
真空系统灌水查漏措施目的：为了更好地实施真空泵及其系统的现场试运，保证真空系统参数正常，达到《火电工程调整试运质量检验及评定标准》所规定的要求，为整套启动顺利进行打下较好基础。
应具备的条件1.真空系统的所有设备均已安装结束，并经验收签证；2.系统内的手动、气控阀门动作试验结束，活动灵活，无卡涩，各限位开关位置正确，指示无误；真空泵的水管及冷却水系统已冲洗合格；3.有关热工、电气回路的调试工作均已结束4.所有仪表安装齐全，并经检验合格；5.设备周围的杂物已清净，沟道加盖板,照明充足；6.阀门用的压缩空气可投入使用；7.灌水时，轴加风机入口门关闭且凝泵不启，将与真空系统有关的门打开，包括疏水至扩容器的疏水门；8.各抽气、高排管道、低压旁路管道等加装临时支吊架，以防进水后超重引起管道变形；9.小机排汽安全膜更换为临时铝板或去除其“刀架”以防进水后引起安全膜破裂；10.小机排汽管加装临时支架，待灌水结束后拆除；11.凝结器水侧放空，将人孔打开（视钢管检漏情况是否执行）；12.凝结器汽侧加装临时水位计至12米。
灌水原则：低于12米的系统及容器均参与真空系统灌水查漏。
加热器汽侧灌水用经常疏水门倒入，各抽汽管的灌水通过各抽汽管道疏水门倒入。
所有疏水一、二次门保持开启。
所有系统及容器充满水后，将凝结器汽侧水位补至低压缸汽封凹窝处后，保持此水位静置24小时进行观察，记录水位下降趋势及系统渗漏点。
应加入的系统：1.#5低加进汽部管道及其疏水管（门）；五抽管道及其疏水管（门）；2.#6低加汽侧及其疏水管（门）；六抽管道及其疏水管（门）；3.#7、8低加汽侧及其疏水管（门）；七、八抽管道及其疏水管（门）；4.轴加汽侧及其疏水管（门）；汽封回汽管、门杆回汽管，管道及其疏水管（门）；5.汽封进汽管及其疏水管（门）；6.轴加水封筒管系；7.#1、2汽泵密封水回水水封筒管系；8.#5、6、7、8加热器危急疏水管道及疏水门；9.#6、7、8加热器运行排空气门；10.#3高加汽侧及其疏水管（门）；三抽管道及其疏水管（门）；11.四抽管道及其疏水管（门）；12.一抽管道及其疏水管（门）；13.高排逆止门管道及其疏水管（门）；14.小机各疏水管及（门）；15.除氧器放水管道；16.杂项疏水至疏扩各疏水一次门及旁路门后管系；17.#1、2小机排汽蝶阀门前疏水管及门；18.真空泵入口管道（至真空泵入口气控蝶阀处）关闭真空破坏门，开启凝结器东西侧抽空气门；19.汽轮机本体疏水管道及疏水一次门后；20.疏扩减温水、低旁减温水、三级减温水、低负荷喷水等一次门及旁路门后管道及阀门；21.凝泵抽空气管及入口管。
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。
确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。
而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。
方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。
具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。
具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。
具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。
具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。
2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。
3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。
红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。
结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。
真空检漏方法
真空检漏方法真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。
在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。
本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。
1. 毛细管测量法毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。
此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。
该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。
2. 红外检测法红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。
不适用于空气、氮气等无机气体的检测。
3. 热模反应法热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。
该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。
4. 电离检测法电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。
该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。
5. 质谱检测法质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。
此方法非常适用于检测裂解气体。
6. 超声波检测法超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。
此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。
7. 气泡法气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。
8. 空气泄漏检测法空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。
该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。
9. 低压检测法低压检测法是一种利用负压来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于检测低压系统的泄漏。
该方法需要大量的设备和人力。
10. 总量检测法总量检测法是一种利用气体浓度变化来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于气体排放监测。
真空室的操作规范与泄漏检测方法
真空室的操作规范与泄漏检测方法在科学研究与工业生产中，真空技术被广泛应用，而真空室作为实现真空环境的关键设备之一，其操作规范与泄漏检测方法显得尤为重要。
本文将从真空室的操作规范和泄漏检测方法两个方面展开讨论。
一、真空室的操作规范1.控制真空度：在进行实验或生产过程中，需要根据需求来控制真空室的真空度。
初次启动真空室时，应逐渐降低气压，避免突然抽气引发异常变化。
在操作过程中，应根据实际需求调节抽气速率，避免产生封堵或过度抽气造成设备损伤。
2.防止泄漏：真空室泄漏会引入气体或杂质，影响真空度。
因此，操作人员需严格按照操作手册操作，保证各接口与元件的紧密性，防止气体泄漏。
同时，定期检查密封件的损坏情况，及时更换。
3.避免水蒸气进入：水蒸气是真空室中常见的污染源之一，会在高温区域凝结并附着在设备内部，影响实验结果。
因此，在操作前要保证设备内部干燥，避免水蒸气进入。
4.避免化学品进入：许多实验中会用到化学药品，但某些化学品会与设备材料发生反应。
因此，在操作真空室时需避免化学品的直接进入，可以采用适当的壁厚和材料选择来增加设备的耐腐蚀性。
二、泄漏检测方法1.氦泄漏检测法：氦泄漏检测法是一种常用的高灵敏度泄漏检测方法。
该方法通过将真空室与氦气源相连，利用氦气泄漏后能够迅速扩散并检测出的特性，可以准确判断泄漏的位置和程度。
2.压差法：压差法适用于大气压与低真空之间的泄漏检测。
使用方法是在真空室的外部增加一定压力，然后观察真空室内气压的变化情况。
若气压迅速升高，即可判断存在泄漏。
3.湿度检测法：某些泄漏源会导致真空室内部湿度明显升高。
通过测量真空室内部湿度的变化情况，可以间接判断是否存在泄漏。
4.直接观察法：直接观察法是一种简单直观的泄漏检测方法，适用于较大的泄漏。
通过观察真空室周围是否存在气泡或气体喷出情况，可以初步判断设备是否存在泄漏。
在实践中，常常会采用不同的泄漏检测方法相结合，以提高检测的准确性和可靠性。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。
如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空检漏方案
真空检漏方案下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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②抽真空：连接真空泵，对系统进行抽真空处理，直至达到预定真空度，通常远低于工作真空范围，以暴露微小漏点。
③保压监测：停止抽真空，保持系统真空状态，观察真空表或使用真空计持续监测真空度变化，记录时间-真空度曲线。
④氦质谱检测（如有条件）：注入少量氦气或使用氦气喷枪扫描可疑区域，利用氦质谱检漏仪检测氦气浓度，精准定位漏点。
⑤压力变化分析：根据真空保持时间内的压力下降速率，判断是否存在漏点及其大致泄漏率，快速泄漏需立即查找，缓慢泄漏可延长监测时间。
⑥漏点标识与记录：发现漏点后，使用标记笔或标签进行标注，记录漏点位置、漏率大小，为后续维修提供依据。
⑦重复检测：对已修复的部位重新进行抽真空及检漏，直至确认无漏点存在。
⑧恢复系统：完成全部检漏并确认合格后，缓慢向系统充入工作介质，恢复至正常工作状态，检查有无异常。
⑨总结报告：整理检漏过程数据，编写检漏报告，总结漏点原因及修复措施，提出预防建议。
真空衰减法检漏
真空衰减法检漏
真空衰减法是一种检测容器或管道中气体泄漏的方法。
它是通过将容器或管道内的空气抽空，然后观察真空度的变化来检测泄漏的存在和程度。
具体操作步骤如下：
1.将容器或管道连接到真空泵系统中，使用泵将内部空气抽出，直至达到所需真空度。
2.关闭真空泵和容器或管道之间的连接，然后等待一段时间以观察真空度是否保持不变。
如果真空度下降，则说明存在泄漏。
3.根据所使用的真空度和泵吸取空气的时间，可以估算泄漏速率，从而找出泄漏点。
4.修复泄漏并重新进行测试，直至可以确认不再泄漏。
真空衰减法的优点是简单易行，能够检测到微小的泄漏，并且不会对测试物品造成损害。
缺点是需要专业的测试设备和技术，以及一定的测试时间，不能用于检测液体泄漏。
真空检漏概述
8放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示出来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。
9慢性气体的加速检漏法——将管子置于高压的氩气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。
②真空检漏法——将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法——有三个步骤：充压，净化，检漏。
二：各种检漏方法
1静态升压法——把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。
一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法——可以排除放气的干扰；②压力平衡法——可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。
电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统，它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。
③氦质谱检漏仪的灵敏度：对于氦质谱检漏仪有三种灵敏度——漏率灵敏度，记作 ；分压比灵敏度，记作 ；检漏灵敏度，氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作 。当氦质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。
2气泡检漏法——在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法——适用于小型器件；②皂膜法——适用于尺寸较大的器件。
3氨气检漏法——把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理——贴显影带——充氨——排氨。
真空测漏箱对容器罐瓶的三大检漏方法
真空测漏箱对容器罐瓶的三大检漏方法容器罐瓶是很多生产企业的必备产品，其密封性是保证产品质量的关键因素。
但是，由于制造材料和加工技术的影响，容器罐瓶的密封性并不总是完美的。
为了保证产品不泄漏，企业需要对容器罐瓶进行严格的检漏。
其中，真空测漏箱是一种广泛使用的检漏设备，下面介绍真空测漏箱对容器罐瓶的三大检漏方法。
1. 压力差法检测压力差法检测是利用真空测漏箱的压力变化来检测容器罐瓶的泄漏情况。
实在操作步骤如下：1.把装满气体的容器罐瓶放入真空测漏箱内。
2.将真空泵打开，抽取内部气体，制造真空。
3.等待一段时间，让压力稳定下来，记录下此时的压力值P1、4.在真空箱上开启有氦气泄漏检测器的进气口，让氦气均匀地喷洒到容器罐瓶的外表面上。
5.当氦气深入容器罐瓶中，假如容器罐瓶存在泄漏，氦气会流入真空箱中，导致真空箱内部氦气浓度上升。
检漏仪器会适时探测到氦气，记录下此时的压力值P2、6.计算差压ΔP=P1—P2、假如ΔP超过了运行的公差范围，则表示容器罐瓶存在泄漏。
通过这种方法进行检漏可以对容器罐瓶的中空和密封进行全面的检测，精度高，牢靠性强，但需要较长的测试时间。
2. 欧拉法检测欧拉法检测是通过容器罐瓶内的气体流动来检测容器罐瓶的泄漏情况。
实在操作步骤如下：1.将装有确定气体压力的容器罐瓶放入真空测漏箱内，利用泄漏检漏器连接容器罐瓶，将容器罐瓶与真空泵相连接。
2.利用真空泵抽气，掌控容器罐瓶内的压力部分真空化，将容器罐瓶内的气体负压。
3.在特定的时间内，容器罐瓶内的气体会逆流穿过泄漏孔，被检测器探测到。
4.记录检测试验结果，并进行数据分析。
若测试结果达到标准，说明容器罐瓶正常，没有泄漏。
欧拉法检测的实时性较高，测试时间短，一般10～15秒即可完成一次检测，但只适应于小容量容器罐瓶的检测。
3. 硅膜法检测硅膜法检测是一种更加灵敏的检测方法，可以检测出更小的泄漏缺陷。
实在操作步骤如下：1.将装有确定气体压力的容器罐瓶放入真空测漏箱内，利用泄漏检漏器连接容器罐瓶，将容器罐瓶与真空泵相连接。
汽机真空系统检漏方法汇总
汽机真空系统检漏方法汇总空气泄漏造成危害很大，必须采取一些手段在停机和运行时都要进行查找，消除漏点，提高真空。
以下是几种常见的检漏手段。
（1）灌水找漏：当停机时，在条件允许的情况下，向凝汽器灌水，然后查找泄漏的地方，发现漏点及时修补处理，处理之后需要再次灌水找漏。
灌水找漏的缺点是，必须在停机，而且是在冷态时检漏。
另一个缺点是，查漏不完全。
那些只有膨胀压力下才有的泄漏，灌水办法找不到漏点。
灌水检漏，不适用于空冷岛检漏。
（2)打压法：充压法原理基本与灌水法一样，往凝汽器系统注入大气正压，用涂抹肥皂水的办法，查遍所有的可以漏点。
缺点是，费时费力。
主观性强。
检漏效果受气候温度适度影响。
必须停机。
打压法，可以说也不适用于空冷岛的检漏。
检漏时需要停机。
采用肥皂气泡的涂抹，用刷子涂抹肥皂液体，仔细查看，如有泄漏点将会产生气泡。
空冷岛检漏面积大、死角多。
又遇有风大，夜间，寒冷天等环境下，这个办法劳动量太大，不可能普遍查到所有死角。
需搭设交手架，耗费时间人力大，而且死角太多，延长停机时间。
（3）氦质谱检漏检漏：链接氦质谱仪器的分析器在凝汽器的真空泵一端，之后拿着氦气喷枪，喷遍所有的可以漏点，同时保持和分析仪器端点的人员联系，如果端点接收到氦气，说明喷枪附近有漏点，再反复查找，争取确定吸空的泄漏点。
缺点是，由于氦气易挥发，特别是迅速上漂到一大片面积。
难以定为漏点。
对于死角难以攀登喷气。
类似的方法还有卤素法等。
氦质谱检漏，不适用于空冷岛检漏。
空冷岛的露天倾斜结构，使得氦气瞬间挥发掉，特别是遇到有风的天气。
（4）超声波检漏：超声波检漏，简便方便。
原理是，对于泄漏产生的超声波，进行波长的倍减，使得泄漏超声波的频率，经过几次倍减，达到人耳能听到的频率，以达到识别泄漏点的目的。
缺点是，在倍减超声波的同时，也倍减了其他噪音的频率。
解决不了噪音干扰的难题。
由于周边的噪音，使得泄漏超声波被周边噪音淹没，很多漏点有误判。
检漏不完整，遗漏和误判多。
真空技术真空设备的检漏方法选择
真空技术真空设备的检漏方法选择真空技术是指在一个封闭的空间内，将压力降至低于大气压的状态下进行实验或加工制造的一种工艺。
在真空技术中，保持设备封闭和稳定的真空状态非常重要。
因此，选择合适的检漏方法是确保真空设备正常运行的关键。
常用的真空设备的检漏方法主要有以下几种：1.比较法：比较法是指将待检设备与已知正常的参考设备进行对比。
常用的比较法包括浸泡法和测漏仪法。
-浸泡法：将设备放置在相同密封条件下的液体中，观察是否有气泡产生。
当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量和冒出位置来检测漏点。
-测漏仪法：使用专业的测漏仪器进行检测。
常用的测漏仪包括氦气质谱仪和气泵测漏仪。
氦气质谱仪是目前最常用的检漏仪器，它使氦气充入设备中，然后使用质谱仪检测设备外部是否有泄漏的氦气。
2.物理法：物理法是指通过物理性质的变化来检测漏点。
常用的物理法包括泡沫法和红外法。
-泡沫法：在待检设备上覆盖一层泡沫液体，并观察是否有气泡生成。
当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量和冒出位置来检测漏点。
-红外法：使用红外检测仪来检测设备外部的热点。
当设备有漏气时，漏出的气体会导致周围温度变化，红外检测仪可以通过检测温度变化来确定漏点位置。
3.质谱法：质谱法是指使用质谱仪来检测漏点。
常用的质谱法包括速度导向调谐仪和质谱单元法。
-速度导向调谐仪：该方法使用氦气注入设备，并利用调谐器检测氦气流速，当气体泄漏时，氦气流速会发生变化，通过检测这种变化来确定漏点的位置。
-质谱单元法：该方法使用质谱仪来检测漏点。
质谱单元会检测气体中的杂质，当设备有漏气时，漏出的气体会导致杂质浓度变化，质谱单元可以通过检测杂质浓度的变化来确定漏点位置。
选择合适的检漏方法需要考虑以下几个因素：1.设备的要求：不同的真空设备对检漏方法的要求不同，需要根据设备的特点选择合适的方法。
例如，一些设备对泄漏的最小值有严格的要求，可以选择敏感度高的测漏仪器。
真空检漏常用方法和技巧
真空检漏1一、概述1．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。
漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。
虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。
这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。
气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。
最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。
最正确灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最正确条件下所能检测出的最小漏率。
对于检漏仪器来讲，最正确灵敏度又称作仪器灵敏度。
检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。
检漏灵敏度又称作有效灵敏度。
反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。
消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。
漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。
2．漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示)，无法用几何尺寸表示其大小。
所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。
用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。
漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。
为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。
3．最大容许漏率真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。
对于动态真空系统，只要其平衡压力能够到达所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。
真空检漏操作规程
真空检漏操作规程真空检漏是一项关键的质量检测工作，用于检测真空系统中是否存在漏气现象。
下面是一份真空检漏操作规程，供您参考。
一、操作准备1. 预先准备好所需的检漏仪器和设备，包括真空泵、检漏仪、检漏剂等。
2. 确保检漏仪器和设备处于良好的工作状态，检查其电源是否正常，仪表是否准确。
3. 准备好操作手册、相关图纸和技术参数作为参考。
二、检漏前的准备工作1. 建立一个相关的安全检测区域，确保操作环境安全，预防意外事故的发生。
2. 根据实际需要，确定检漏的时间、地点和安全措施。
3. 进行相关的工艺流程、系统介绍和操作要求的培训。
三、检漏操作步骤1. 关闭真空系统中的所有阀门，确保系统完全隔离。
2. 连接真空泵和漏气检测仪器，确保连接密封可靠。
3. 启动真空泵，排空真空系统，确保真空系统处于良好的排气状态。
4. 将检漏剂喷洒或注入到系统中，并按照仪器操作手册的要求，选择适当的检测方式。
5. 缓慢打开系统中的阀门，使之逐步进入真空状态。
6. 检查仪器显示的压力变化情况，并观察是否有泄漏现象。
7. 对检漏仪器进行校准，并进行零点调整，确保检测结果的准确性。
8. 对系统中的所有接头、阀门、管路等进行逐一检查，寻找潜在的漏气源。
9. 对发现的漏气点进行标记，并根据需要，进行必要的修补和更换。
10. 测试完毕后，关闭真空泵和检漏仪，切断电源。
四、检漏操作注意事项1. 检漏操作需要有经验的技术人员进行，并进行必要的培训和指导。
2. 操作人员需要佩戴个人防护装备，如手套、工作服等，确保人身安全。
3. 检漏操作需要严格按照标准程序进行，不得随意更改操作步骤。
4. 在操作过程中，要注意避免对系统造成不必要的损坏，严禁敲打和碰撞真空设备。
5. 在检漏过程中，要保持操作环境的整洁，确保工作台面干净，避免杂物进入系统。
6. 检漏操作结束后，要及时清理和维护检漏仪器和设备，确保其正常和可靠的工作状态。
五、检漏操作结果处理1. 对于发现的漏气点，要及时记录并报告相关部门，并采取相应的措施进行修复。
真空检漏原理
真空检漏原理
真空检漏是指在一定的真空度下，通过检测被测物体的气密性能，以确定其是
否存在漏气现象的一种检测方法。
在工程领域中，真空检漏被广泛应用于航空航天、汽车制造、船舶制造、电子设备、医疗器械等行业。
下面将介绍真空检漏的原理和常见的检测方法。
首先，我们来了解一下真空检漏的原理。
真空检漏的原理是利用被测物体内部
的气体与外部的真空系统之间的气体流动来检测被测物体的漏气情况。
在真空系统中，被测物体内部的气体会通过漏洞或裂缝逸出到外部环境中，这种气体流动会导致真空系统内部的气压发生变化。
通过检测气压的变化，就可以确定被测物体是否存在漏气现象。
其次，我们来介绍一些常见的真空检漏方法。
真空检漏方法主要包括质谱检漏法、氦质谱检漏法、氦充入法和泡沫检漏法等。
其中，质谱检漏法是利用质谱仪对被测物体进行检测，通过检测气体分子的质量来确定漏气点的位置。
氦质谱检漏法是在被测物体内充入氦气，然后利用质谱仪检测氦气的流动情况，以确定漏气点的位置。
氦充入法是将被测物体充入氦气，然后利用氦气检测仪对漏气进行检测。
泡沫检漏法是将被测物体表面涂覆一层泡沫，通过观察泡沫的气泡情况来确定漏气点的位置。
总的来说，真空检漏是一种非常重要的检测方法，它可以帮助我们及时发现被
测物体的漏气问题，从而保障产品的质量和安全性。
在实际应用中，我们需要根据被测物体的特点和检测要求选择合适的检漏方法，并严格按照操作规程进行检测操作，以确保检测结果的准确性和可靠性。
希望本文可以帮助大家更好地了解真空检漏的原理和方法，为工程实践提供一定的参考价值。
真空系统检漏方法
真空系统检漏方法嘿，朋友们！今天咱就来好好唠唠真空系统检漏方法。
你说这真空系统啊，就好比一个密封的大箱子，要是有个小孔啥的，那可就麻烦啦！就像你家的米袋子要是有个小洞，那米不就哗哗往外跑嘛！那咱咋知道这真空系统有没有漏呢？这就有好多招啦！比如说，咱可以用个最简单的法子，就像你找东西一样，仔细瞅瞅，看看有没有啥异常的地方，比如有没有滋滋响的声音啊，或者有没有啥地方感觉不太对劲。
这就叫直观检漏法，虽然简单，可有时候还真挺管用呢！还有一种方法叫压力检漏法。
这就好比你给气球打气，要是有个小洞，那气不就漏得快嘛！咱就通过观察压力的变化来判断有没有漏。
你想想，要是压力老是上不去，或者掉得特别快，那是不是很有可能有漏的地方呀！再说说氦质谱检漏法，这可是个厉害的家伙！氦气就像个小侦探，能帮咱找到那些小小的漏洞。
咱把氦气放进去，然后用专门的仪器去检测，一旦发现氦气跑出来了，嘿嘿，那就说明找到漏点啦！这就好像警察抓小偷，一抓一个准儿！还有一种叫真空检漏法，这就像是在黑暗中找萤火虫，虽然有点难，但只要你有耐心，还是能发现那些一闪一闪的小亮点的。
通过检测真空度的变化，来推断有没有漏。
那咱在检漏的时候可得注意啦！不能马虎大意，得像个细心的侦探一样，不放过任何一个蛛丝马迹。
你想想，要是漏点没找到，那以后可就麻烦大啦！就像你出门没带钥匙，那不得急死呀！而且啊，咱还得选对方法。
不同的真空系统可能适合不同的检漏方法，就跟治病一样，得对症下药。
可不能瞎搞一通，不然不仅找不到问题，还可能把系统给搞坏了呢！另外，操作的时候也得小心谨慎，别一不小心把系统给碰坏了或者弄脏了。
这可都是宝贝呀，得好好爱护！总之呢，真空系统检漏可不是个简单的事儿，但只要咱用心去做，用对方法，肯定能把那些漏点都给揪出来！让咱的真空系统稳稳当当的，不出一点儿差错！这就是咱要努力做到的，大家说是不是呀！原创不易，请尊重原创，谢谢!。
真空检漏方法与应用
真空检漏方法与应用设备管理与维修２００８№５一、概述一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有：抽气情况不良，即抽气系统本身的问题，如真空泵工作不正常，或者阀门等有故障。
放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源，主要是由于真空清洁不良、材料不干燥或材料选择不当。
漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。
这主要是真空系统连接不良，焊接处出现虚焊、裂缝所致。
对于抽气系统的问题，主要找出真空泵工作不良的原因加以排除即可。
关于材料放气问题，主要是在设计时，首先要考虑选择合适的材料和结构，然后是搞好真空卫生，使系统内表面保持清洁、干燥，必要时还要在真空条件下加热烘烤去气，以加速去气过程的进行。
至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。
常规检漏内容包括：用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。
确定漏气率。
找出泄漏部位，以便修补堵漏。
二、真空系统漏气的判定如何判断真空系统是否存在漏气，通常采用静态升压法，即把容器抽到一定压强后，关闭阀门将被抽容器与泵隔开，若容器漏气或材料放气，容器中的压强将随时间而上升。
用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强，可得出压强／时间曲线。
由于容器的漏气与出气情况不同，其曲线也不同（图１）。
１．直线Ａ压强不随时间变化，说明系统即不漏气，也不放气。
真空度上不去的原因是泵工作不良。
２．直线Ｂ压强开始上升很快，而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡，这说明容器没有漏气。
真空度上不去的原因主要是放气的影响。
因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低，故曲线渐趋向于平衡。
３．直线Ｃ是一斜率为ΔＰΔｔ的直线。
这说明只有漏气而没有放气。
此时容器的漏率ＱＬ和压强的关系：ＱＬ＝ＶΔＰΔｔ由于ΔＰ＝Ｐ－Ｐ０因此Ｐ＝Ｐ０＋ＱＬＶｔ４．曲线Ｄ开始压强上升较快，而后渐渐减慢，最后变成斜率为ΔＰ／Δｔ的直线。
这说明容器即有放气也有漏气。
曲线Ｄ可以认为是Ｂ和Ｃ的叠加。
真空系统中泄漏检测与排除方法
真空系统中泄漏检测与排除方法在各种科学研究和工业领域，真空系统被广泛应用。
真空系统的正常运行对于确保实验结果和生产效率至关重要。
然而，由于各种原因，如材料老化、装配不当或机械损坏等，真空系统可能会发生泄漏。
因此，泄漏的检测与排除方法非常重要。
本文将探讨真空系统中泄漏检测与排除的一些常用方法。
一、泄漏检测方法1. 氦质谱法氦质谱法是一种常用的泄漏检测方法。
该方法利用氦气的低相对分子质量和惰性，可以通过检测氦气的泄漏以确定系统中的漏点。
将氦气注入真空系统，通过质谱仪测量系统中的氦气浓度，从而确定泄漏位置。
这种方法的优点是高度灵敏，可以检测到非常小的泄漏。
但是该方法的缺点是设备成本较高，并且需要专门的培训才能操作。
2. 比色法比色法是一种常用的简单有效的泄漏检测方法。
该方法使用泡沫剂或液体染料，将其喷洒在真空系统的可能泄漏点上。
当泄漏气体通过漏点进入泡沫剂或染料时，会产生明显的泄漏痕迹，可以通过肉眼观察或使用荧光灯进行检测。
这种方法的优点是操作简单、成本低，但是灵敏度较低，只能检测到较大的泄漏。
3. 气泡法气泡法是一种常用的泄漏检测方法。
该方法利用泄漏气体进入注入特制的液体中产生的气泡来确定泄漏点。
将液体注入真空系统，在泄漏点附近形成一层液体薄膜，当气体泄漏进入液体中时，会产生气泡并上升至液面。
通过观察气泡的位置和数量可以确定泄漏点。
这种方法的优点是操作简单、灵敏度较高，可以检测到中小型的泄漏。
但是缺点是只能进行局部检测，无法全面了解真空系统的泄漏情况。
二、泄漏排除方法1. 漏点密封一旦确定了泄漏点的位置，最直接的方法就是对漏点进行密封。
根据泄漏点的特性和大小，可以选择合适的密封材料，如胶带、密封胶或焊接等。
对于较小的泄漏点，可以使用适当的胶带进行临时修补，但是对于较大的泄漏点，则需要进行焊接等更严密的处理。
2. 部件更换如果泄漏是由于机械损坏或材料老化引起的，可能需要更换受损的部件。
例如，如有发现密封圈老化或损坏，应及时更换新的密封圈以确保系统的正常运行。
真空系统测漏方法
真空系统测漏方法一．保压测漏法步骤:1.在完成的系统管路中前后设立隔离阀及压力计。
2.向系统通入氮气(N2)，加压至预设的保压压力，一般30~60psi 。
之后，关闭前后隔离阀，并解除隔离阀系统外的压力。
3.观察系统的压力计指示并作记号。
4.保持状况约1 小时以上(时间长短，视系统大小及需求漏率而定。
5.看压力计的指示是否有下降，以测定有无泄漏。
缺点:1.仅能作为初步的测漏参考。
2.费时。
3.常因系统温差而不准。
二．测漏液测漏法使用较稠性的液体如肥皂水…等，涂抹于待测件上，观察是否产生泡沫的方式，有现成品Snoop ®.检漏液。
步骤:1.向待测系统注入氮气加压约30~60psi。
2.将测漏液喷于预测可能漏气的组件或接合处。
3.观察有无气泡产生，其气泡之大小将依漏率而定。
4.将测漏液擦干。
缺点:1.初略的测漏2.检漏液可能污染管件，测漏液若不擦拭干净易导致管件生锈。
三．氦气测漏法(一)负压法:1.封闭待测管路系统，一端与氦气测漏仪连接。
2.按照氦气测漏仪使用方法操作，使待测管路系统抽气成目标测试真空度。
3.向管路系统，由上而下对欲测点喷氦气，并看测漏仪的反应(指针指示或警报)。
注: 若某一处显示泄漏，为了再次确认，可用真空封土糊于其上再重复测试。
(二)正压法:1.按使用方法起动氦气测漏仪，并建立一定的真空。
2.向待测系统管路注入氦气，加压至30 ~ 60 psi。
3.将检漏仪探头置于待测管件处侦测泄漏。
前一条氦检漏技术简介。
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真空检漏1一、概述1．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。
漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。
虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。
这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。
气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。
最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。
最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。
对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。
检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。
检漏灵敏度又称作有效灵敏度。
反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。
消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。
漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。
2．漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示)，无法用几何尺寸表示其大小。
所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。
用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为×105Pa，出口压力低于×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。
漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。
为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。
3．最大容许漏率真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。
对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。
动态真空系统的最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤1/10PwS (1) 式中Pw----系统工作压力S----系统的有效抽速对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。
如果要求在时间t内,容积为V的系统的压力由p 升至pt，则其最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤(pt-p)V/t (2) 各种真空设备的最大容许漏率可参考表1确定。
4．漏孔的气流特性气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。
主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。
设环境温度T=296K，入口压力p2=×105Pa，出口压力p1《p2，漏孔长L，直径d的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态见表2。
5．检漏方法的分类检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。
充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。
真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。
其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。
背压法就是其中主要方法之一。
所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。
真空检漏2二、检漏仪器用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。
这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国产检漏仪器的技术性能。
1．氦质谱检漏仪氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。
是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。
单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。
双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显着减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。
逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。
(1)工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
①单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪，其结构如图2所示。
在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。
质谱室的工作原理如图3所示。
在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。
并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。
在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。
可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。
仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束[图中(me-1)2]恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。
使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。
(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。
②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪图4示出了双级900缩转串联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。
由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。
并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。
那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过第一个分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。
由于二次分离，仪器本底及本底噪声显着地减小，提高了仪器灵敏度。
③逆流氦质谱检漏仪逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。
该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。
例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。
检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。
这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。
(2)性能试验方法灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。
①灵敏度及其校准氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。
记为，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。
所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。
所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。
仪器的反应时间不大于3s。
所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。
所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。
仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的最大波动量。
漏率灵敏度标准系统如图6所示。
图中虚线框内部分为配气系统．即为标准漏孔5进气端提供压力为pHe的纯氦气。
辅助泵6的任务是预抽。
用干燥瓶4和针阀2调节仪器工作压力。
如果仪器本底为I0，本底噪声为In，标准漏孔对空气的标称漏率为，当其进气压力为pHe时的仪器讯号为I，则仪器灵敏度为式（6）。
如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。
或用累积法检漏时，给出仪器最小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。
记为γmin，能较方便地估计检漏效果。
浓度灵敏度校准系统中应用一流量计测出图6的通过针阀2进入仪器的空气流率，则仪器浓度灵敏度成为式（7）。
②反应时间、清除时间及其测定反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到最大值的(1-e-1)倍(即所需要的时间，记为τR。
清除时间是指输出仪表讯号稳定到最大值后，停止送氦，其讯号下降到最大值的e-1倍(即所需要的时间，记为τC。
反应时间和清除时间的测定装置如图7所示。
③工作真空、极限真空及入口处抽速质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。
利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。
利用流量计可测定仪器入口处抽速。
2．卤素检漏仪用含有卤素(氟、氯、溴、碘)的气体为示漏气体的检漏仪器称为卤素检漏仪。
该类仪器分两类：其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固定式(也称内探头式)卤素检漏仪；其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为便携式(也称外探头式)卤素检漏仪。
示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂12最好。
卤素检漏仪灵敏度可达×lO-9Pam3／s。
(1)工作原理与结构金属铂在800～900oC温度下会发生正离子发射，当遇到卤素气体时，这种发射会急剧增加。
这就是所谓的“卤素效应”，利用此效应制成的卤素检漏仪的结构示意图如图8所示。
传感器是个二极管，加热丝、阴极(外筒)、阳极(内筒)均用铂材制成。
阳极被加热丝加热后发射正离子，被阴极接收的离子流由检流计(或放大器)指示出来，且有音响指示。
电气部分由加热电源、直流电源、离子流放大器、输出显示及便携式的吸气装置电源等组成。
(2)性能测试方法灵敏度、反应时间及恢复时间是卤素检漏仪的主要性能参数。
其测试方法与氦质谱检漏仪的相同，这里不再赘述。
但是，卤素检漏仪的指示与卤素气体的浓度有关：一般，低浓度的指示是线性的，中等浓度的是非线性的，而当浓度很高时仪器出现饱和或中毒现象。
所以在进行性能测试或检漏时，进入传感器的卤素气体的浓度不宜高于百万分之一。
固定式卤素检漏仪传感器应和lO-1～10oPa压力范围内工作，压力过高或过低都会导致仪器灵敏度的下降。