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真空泄漏检测方法

真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。

确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。

而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。

方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。

具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。

2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。

3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。

4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。

气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。

方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。

具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。

2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。

3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。

氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。

方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。

具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。

2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。

3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。

静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。

方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。

具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。

2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。

3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。

红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。

结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。

真空检漏方法

真空检漏方法真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。

在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。

本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。

1. 毛细管测量法毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。

此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。

该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。

2. 红外检测法红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。

此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。

不适用于空气、氮气等无机气体的检测。

3. 热模反应法热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。

该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。

4. 电离检测法电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。

该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。

5. 质谱检测法质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。

此方法非常适用于检测裂解气体。

6. 超声波检测法超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。

此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。

7. 气泡法气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。

该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。

8. 空气泄漏检测法空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。

该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。

9. 低压检测法低压检测法是一种利用负压来检测气体泄漏的方法。

该方法适用于检测低压系统的泄漏。

该方法需要大量的设备和人力。

10. 总量检测法总量检测法是一种利用气体浓度变化来检测气体泄漏的方法。

此方法适用于气体排放监测。

真空检漏

真空检漏法类型及其最小可检漏率
（3）背压检漏法：
背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法，多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏技术中。其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步骤。 A、充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放 (或称浸泡)一定时间。 B、净化过程是采用干燥氮气流或干燥空气流在充压容器外部或在其内部喷吹被检件。如不具备气源时也可使被检件静置，以便去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。 C、检漏过程则是将净化后的被检件放人真空室内，将检漏仪与真空室相连接后进行检漏。
流时，漏孔对空气的漏率qL可用下式近似估算：
qL
1 d3n(
6
p02
pgp / t
难以确定漏孔的位置，判断也不容易，实用性差。
2、辅助真空罩法：辅助真空罩法是一种能够很好地区别被检件中漏气和放气的
静态升压法。该法借助一个辅助真空罩，组成如图所示的测试系统。
内部抽真空后再关闭阀2，在△t内测的压力增长值△P1。再将辅助真空罩罩在被检件外并密封好，然后将辅助真空罩内抽真空到与被检件内部相同的压力，再次对被检件内部抽真空后封闭，在时间间隔△t 内测得另一个压力增长值 △P2，这是单纯由被检件内部故气所引起的压力增长值。那么系统的漏率为：
（2）真空检漏法：
真空检漏法是将被检的真空容器或真空系统与检漏仪器的敏感元件抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在被检容器或系统外面的可疑部位。如果被检的容器或系统存在漏孔，示漏物质(如氦气）不但会通过漏孔进入到容器或系统中去，同时也会进入到检漏仪器的敏感元件所在的空间中去，从而通过敏感元件检测出示漏物质，借以判断出漏孔存在的位置和大小。下表给出了真空检漏法中所采用的各种检漏方法及其特点和它所能达到的最小可检漏率。

真空知识及漏率及检漏培训(CSG)教材

真空泵

•*真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按其工作原理，基本上分为气体传输泵和气体捕集泵两种类型。 •由于真空应用部门所涉及的工作压强范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用，只有根据不同的工作压强范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。 •1) 真空泵的抽气速率（体积流率）------当泵装有标准实验罩并按规定条件工作时，从实验罩流过的气体流量与在实验罩上指定位置测得的平衡压强之比。S=Q/p. (m3/h, l/s) P1V1/T1=P2V2/T2 (设 T1=T2，则P1/P2=V2/V1) •2) 真空泵的抽气量----流经泵入口的气体流量。（Pa.l/s） •3) 真空泵的极限压强----泵装有标准实验罩并按规定条件工作，在不引入气体.正常工作的情况下趋向稳定的最低压强。抽速为零时的压强
真空知识及漏率检查培训
CSG 2015.06 SHENZHEN
真空：什么是真空？

•真空 - 从字面上解释, 就是把一定空间内的空气全部抽空，然而，至今为止，没有人能成功地做到这一点。根据科学试验得出结论，最高真空也就在 10-14 torr 范围内。这个结论是由美国纽约的一家名叫 IBM Thomas J. Watson 的研究中心，于 1976 年 10 月，在一个温度降至华氏负269度的系统中得出的。甚至在如此低的压力环境下，每平方厘米仍然存在成千上万的分子，同时，也测量出空气的存在。因此，真空的定义是指低于大气压的稀簿气体状态，通常用760 mmHg 或 1013 mbar 表示。 1958年美国真空协会定义：如果一个立方厘米内的气体分子个数少于2.5x1019。该状态称之为“真空”。 •一个在给定的空间内的气体状态低于一个大气压就称之为“真空”

真空室检漏的原理和方法

真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。

如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。

真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。

2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。

3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。

4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。

以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。

真空检漏概述

7荧光检漏法——荧光检漏法是一种利用荧光材料的发光作为漏孔指示的无损检漏法，多用于小型件的检漏。
8放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示出来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。
9慢性气体的加速检漏法——将管子置于高压的氩气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。
②真空检漏法——将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法——有三个步骤：充压，净化，检漏。
二：各种检漏方法
1静态升压法——把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。
一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法——可以排除放气的干扰；②压力平衡法——可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。
电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统，它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。
③氦质谱检漏仪的灵敏度：对于氦质谱检漏仪有三种灵敏度——漏率灵敏度，记作；分压比灵敏度，记作；检漏灵敏度，氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作。当氦质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。
2气泡检漏法——在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法——适用于小型器件；②皂膜法——适用于尺寸较大的器件。
3氨气检漏法——把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理——贴显影带——充氨——排氨。

真空罩检漏测漏真空检漏测漏罩安全操作规定

真空罩检漏测漏真空检漏测漏罩安全操作规定真空罩在实验室、制药、航天等领域应用广泛，用于保持被检测物质在一定的真空环境下进行检测。

然而，真空罩操作不当会带来很大风险，如检测失败、漏气、甚至爆炸等问题，因此制定安全操作规定是非常有必要的。

一、真空罩的基本安全要求1.保证工作区域无火源、易燃物质和化学品等危险存在。

2.工作前应检查仪器连接是否牢固、真空泵工作是否正常、电源是否稳定等。

3.在正式检测前，应提前放置被检测样品，进行前处理，如充分干燥、去除异物、明确准备工作等。

4.真空罩操作应由专人负责，协助并指导操作时切勿滥竽充数和捣乱。

二、真空罩的具体操作细节1.真空罩使用时切勿超负荷，不得使用过期的试剂和材料，以免检测结果造成误导。

2.真空罩罩体及外壳应定期清洗，避免其受到污染，保持装置的灵敏度和可靠性，并应有专人负责检查罩体是否损坏、是否有严重损伤等问题。

3.操作真空罩之前应熟悉设备控制要点，及检漏测漏相关知识并做到熟练掌握，应尽可能地避免出现技术性问题。

4.操作人员应佩戴适当的防护设备，如手套、口罩、眼罩等以防意外发生。

同时，与设备电源接触的部分和检测部分都应在禁区内，以确保万无一失。

5.在操作时，应切勿用力拖动真空罩或使其受到外部损伤，应保持稳定性并适当地进行维修。

三、真空罩检测出现问题时如何应对1.如果真空罩层出现漏气问题，应先停止检测过程，并及时通知相关人员，依照检测方法查找确切原因并及时修理，修理完毕后方可正常使用。

2.若真空罩在检测过程中出现材料损失或突然断电问题，应在确认危险后，立即采取相应的解决措施，将相关人员安全撤离，并及时处理现场安全问题，最终导致的安全问题由对应人员负责。

3.如果在操作时发现真空罩本身的异常情况（如罩壳破损等），应立即停止使用并及时通知管理人员进行整改。

四、真空罩维护保养管理1.在真空罩需要保养时，应及时安排相关人员进行检修，并做到检修记录工作。

2.真空罩在使用前、使用过程中和使用后都要进行保养，如清理、调整等。

真空检漏基本知识

③ 结构简单、操作维修方便，成本低由于上述要求有些是相互矛盾的，若想采用一种方法都能满足是不合实际的。所以只要根据具体情况能够满足其主要要求的检漏方法就是较为适宜的。实践证明，检漏人员的素质、工作经验也是选择检漏方法的重要依据之一。
2．对检漏人员的要求
① 具有高度的责任心和认真的工作态度； ② 具有丰富的检漏实践经验； ③ 具有一定的机械结构、物理、化学、材料及焊接等方面的知识； ④ 了解被检件结构及其运行工艺，熟悉所用检漏方法或仪器原理及性能； ⑤ 掌握所用示漏物质的检漏特性。例如，氦气轻，采用喷吹法检漏时，应遵守从上至下和从近至远的原则(即先从被检件上部顺序至下部和从靠近检漏仪顺序至远离的部位)；采用吸枪法检漏时，应遵守从下至上和从近至远的原则。但是，卤素气体重，除遵守从近至远的原则外，在喷吹法和吸枪法中，应分别遵守从下至上和从上至下的原则。检漏人员满足上述要求，就能解释和解决检漏工作中出现的形形色色的现象，较好地完成判别漏气、找出漏孔及测定漏率的检漏任务。
2．漏孔、漏率及其单位
真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。
用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为 1.01× 105Pa，出口压力低于 1.33× 103Pa，温度为 296 士 3K 的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于 248K 的空气的气体量。
第二部分检漏技术
1．检漏方法的选择
比较理想的检漏方法应满足下列要求： ① 合适的检漏灵敏度
在具体的检漏条件下，所选择方法的检漏灵敏度，通常高于最大容许漏率 1～2 个数量级。 ② 反应时间和清除时间短 ③ 不仅能找出漏孔的位臵，而且还能测定漏率找出漏孔位臵的方法有喷吹法和吸枪法。喷吹法适用于可抽空的被检件。高频火花检漏器法、真空计法、固定式卤素仪法和氦质谱仪法归于喷吹法。吸枪法适用于不允许抽空、放气量大、复杂管道等被检件。气泡法、荧光法，氨检漏法及吸枪式检漏仪法可归于吸枪法。测定漏率的方法是测量示漏物质的漏率变化或浓度变化量。根据条件可采用适当的方法。 ④ 品质优良的示漏物质示漏物质具有在空气中含量少，灵敏度高，不腐蚀、不污染被检件、抽气系统及检漏仪表，无毒、阻燃和防爆。 ⑤ 稳定性好、检漏范围宽

真空检漏基本知识

许漏率。动态真空系统的最大容许漏率 qLmax 应满足
qLmax≤1/10PwS
(1)
式中 Pw----系统工作压力
S----系统的有效抽速
对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以下，这
时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率
称为最大容许漏率。如果要求在时间 t 内,容积为 V 的系统的压力由 p 升至 pt，
气体，使卤素气体流经传感器。 3．高频火花检漏器高频火花检漏器是个高频高压对地放电器件，可以用于真空检漏。 (1)工作原理与结构图 9 示出一种电容，电感串联谐振式高频火花检漏器的原理图。接通 K，
当接触器 CD 闭合时，电流流经 L1、CD，电流很大，L1 产生足够大的电磁力吸引 CD 断开，于是形成 L1、C、L2 的回路。由于阻抗增加，电流减小导致电磁力下降。从而使 CD 重新闭合。如此反复，在 L2 上施加高频脉冲电压，因此高压线圈 L3 便感应出高频高压脉冲电压。而 L3 的一端对地放电产生高频火花击穿现象。这就是高频火花检漏器的工作原理。
漏孔长 L，直径 d 的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态见
表 2。
5．检漏方法的分类
检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其
它检漏法。
充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上孔漏出的
真空检漏基本知识
一、概述
1．检漏的基本概念
真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。
漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现
象。
虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、

汽轮机凝汽器真空查漏要点汇总

汽轮机凝汽器真空查漏要点汇总1凝汽器真空的成因凝汽器中形成真空的成因是汽轮机的排汽被冷却成凝结水，其比容急剧缩小。

如蒸汽在绝对压力4KPa时，蒸汽的体积比水容积大3万多倍。

当排汽凝结成水后，体积就大为缩小，使凝汽器汽侧形成高度真空，它是汽水系统完成循环的必要条件。

正是因为凝汽器内部为极高的真空，所以所有与之相连接的设备都有可能因为不严而往凝汽器内部漏入空气，加上汽轮机排汽中的不凝结气体，如果不及时抽出,将会逐渐升高凝汽器内的压力值，真空下降，导致蒸汽的排汽焓值上升，有效焓降降低，汽轮机蒸汽循环的效率下降。

有资料显示，真空每下降1KPa，机组的热耗将增加70kj/kw，热效率降低1.1%。

射水抽气器或水环真空泵的作用就是抽出凝汽器的不凝结气体，以维持凝器的真空。

2真空严密性差的危害汽轮机真空严密性差的危害主要表现在以下三个方面：一是真空严密性差时，漏入真空系统的空气较多，射水抽气器或水环真空泵不能够将漏入的空气及时抽走，机组的排汽压力和排汽温度就会上升，这无疑要降低汽轮机组的效率，增加供电煤耗，并可能威胁汽轮机的安全运行，另一方面，由于空气的存在，蒸汽与冷却水的换热系数降低，导致排汽与冷却水出水温差增大。

二是当漏入真空系统的空气虽然能够被及时地抽出，但需增加射水抽气器的负荷，浪费厂用电及循环水。

三是由于漏入了空气，导致凝汽器过冷度过大，系统热经济性降低，凝结水溶氧增加，可造成低压设备氧腐蚀。

3真空查漏的方法1.通常用灌水法查找真空系统不严密的方法的优缺点真空系统包含大量的设备及系统，连接的动静密封点多，在轻微漏空气的情况下很难发现漏点，因为空气往里吸，不够直观，传统的运行中用火焰检查法较繁琐且效果不好，多数情况下使用的方法是在机组停机后对真空系统进行灌水找漏。

这种方法比较直观，漏点极易被发现，缺点是由于设备的原因，灌水高度最高只能到汽缸的最低轴封洼窝处，高于轴封洼窝的地方因为水上不去而不易发现，特别是与汽轮机汽缸相连接的管道系统。

真空设备的检漏

对玻璃系统进行检漏，还可以对橡塑管道，陶瓷管道等切非导电体的真空系统进行检漏。该检漏方式必须利
用高频电火花真空检漏仪放电产生电火花来检测非导电体的真空系统的微小漏洞；是否有漏的判别方法是：当电火花保持原来的杂乱无章的散射时说明该处无漏孔，
图２检漏仪接在高真空一侧
通过对检漏仪的调节，能使其在高真空侧和前级侧时对氦气的抽速５保持一致，Ｑ为系统参数，一般不变，从式（）和式（）可看出口ｉ１２的高低取决于Ｓ１
ｉｉｉｉ
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这ｓ嚼ＧＭ行萤
ｑｉ＝ｍｌ＝ｎ＼㈩／１
测法相比优势明显，因此下面着重介绍一下。
１概述．
氦质谱检漏产生于２世纪４年代，历经半个多世００
纪的应用和发展，取得了辉煌的成果，从航空航天、军
式中Ｏｉｍ——检漏仪灵敏度。ｎ
如图２所示，检漏仪接在高真空一侧时，检漏灵敏
度的变化
ｑｍｉ＝ｎ２＼二／
事工业、学工程、核工业到轻工、医疗、器仪表、科仪汽车、制冷，可以说是无处不在。真空检漏就其发展来说有两个方面，即一方面是检漏仪器本身，另一方面是
一
一
二、借助辅助设备的检漏
（）荧光检漏１将被检容器进行抽空，当容器内变
成负压时在容器外侧怀疑可能有泄漏的区域喷加有一定
比例荧光粉的有机溶液（三氯乙烯或四氯化碳），继续抽空一段时间后打开容器，用紫外灯照射容器内壁，如有荧光液发光，表明该部位有泄漏，此方法用在容器外侧无遮挡、覆盖的大开口容器检漏比较方便，灵敏度也较高，但是要求观察检查人员认真仔细。该检漏方式必须借助紫Ｊ￣才便于观察。＇Ｔｂ（）高频火花检漏２在玻璃系统上，利用高频电火

真空检漏技术及相关术语汇总

5.检漏及有关术语5.1漏孔5.1.1漏孔leaks：在真空技术中,在压力或浓度差的作用下,使气体从壁的一侧通到另一侧的孔洞、孔隙、渗透元件或封闭器壁上的其它结构。

5.1.2通道漏孔channel leak：可以把它理想地当做长毛细管的由一个或多个不连续通道组成的一种漏孔。

5.1.3 薄膜漏孔membrane leak：气体通过渗透穿过薄膜的一种漏孔。

5.1.4分子漏孔molecular leak：漏孔的质量流率正比于流动气体分子质量平方根的倒数的一种漏孔。

5.1.5粘滞漏孔vixcous leak：漏孔的质量流率正比于流动气体粘度的倒数的一种漏孔。

5.1.6校准漏孔calibrated leak：在规定条件下，对于一种规定气体提供已知质量流率的一种漏孔。

5.1.7标准漏孔reference leak ：在规定条件下（入口压力为100kPa±5%，温度为23±7℃），漏率是已知的一种校准用的漏孔。

5.1.8虚漏virtual leak：在系统内，由于气体或蒸汽的放出引起的压力增加。

5.1.9漏率leak rate：在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。

5.1.10标准空气漏率standard air leak rate：在规定的标准状态下，露点低于-25℃的空气通过一个漏孔的流量。

5.1.11等值标准空气漏率equivalent standard air leak rate：对于低于10-7到10-8Pa?m3?s-1标准空气漏率的分子漏孔，氦（分子量4）流过这样的漏孔比空气（分子量290）更快，即氦流率对应于较小的空气漏率，在规定条件下，等值标准空气漏率为√4/29=0.37氦漏率。

5.1.12探索（示漏）气体；用来对真空系统进行检漏的气体。

5.2本底5.2.1本底background：一般地在没有注入探索气体时，检漏仪给出的总的指示。

5.2.2探索气体本底search gas background ：由于从检漏仪壁或检漏系统放出探索气体所造成的本底。

真空知识及侧漏报告资料.

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二、抽真空
旋片式真空泵工作原理如右图： D25B，D40B，大致就是这样工作的。 SV100(B)结构稍有不同，但原理一样。
pump)
罗茨（Roots）泵（或称双突瓣式泵two-lobe 其工作原理如左图：
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三、测漏
检漏是指对于漏气的部件或系统进行检查以确定漏点的工作。经常的，在此之后我们要对漏点进行处理，使得部件/系统的漏率小到可以接受的程度。
10ˉ 托以下
叫超高真空；
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一、何为真空
关于真空体系中的气体渗透：
气体渗透，顾名思义，就是指气体分子渗透到气壁中去。这里要说明的是，气体分子不只会顺着微小的裂缝渗透，而是不管气壁材料种类如何，有多么致密，多么完美无瑕，气体分子一样可以渗透进去，只是渗透速度大小的问题。渗透的速度受气壁材料特性、温度、气体成分等因素影响。正是从这个意义上，我们说“真正完全不漏气的组件或体系是不存在的。在我们的排气机真空系统中，钢铁、铜、镍、铝、玻璃等材料抗渗透的能力都是足够的。要注意的是如橡胶之类的材料
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绝对不漏气的部件或系统是不存在的。所以技术上所说的“不漏气”，只是指部件或系统的漏率已经小到满足要求。
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测漏方法：
检漏的方法根据检漏时样品内气压是否超过外界大气压，大体有真空法和过压法两类。我们常用的气泡法（用于检查气体管道的漏气）就是属于过压检漏。而使用氦气检漏仪（用于检查排气机真空系统或者灯部件漏气）则属于真空检漏。
真空知识及侧漏报告
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一、何为真空
真空的定义(一般工业技术上的定义)：

真空检漏技术

真空检漏技术一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有：抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。

放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。

漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。

至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。

常规检漏内容包括：用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。

确定漏气率。

找出泄漏部位，以便修补堵漏。

真空系统漏气的判定如何判断真空系统是否存在漏气，通常采用静态升压法，即把容器抽到一定压强后，关闭阀门将被抽容器与泵隔开，若容器漏气或材料放气，容器中的压强将随时间而上升。

用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强，可得出压强/时间曲线。

由于容器的漏气与出气情况不同，其曲线也不同1.直线A压强不随时间变化，说明系统即不漏气，也不放气。

真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直线B压强开始上升很快，而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡，这说明容器没有漏气。

真空度上不去的原因主要是放气的影响。

因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低，故曲线渐趋向于平衡。

3.直线C是一斜率为ΔP/Δt的直线。

这说明只有漏气而没有放气。

4.曲线D开始压强上升较快，而后渐渐减慢，最后变成斜率为ΔP/Δt的直线。

这说明容器即有放气也有漏气。

曲线D可以认为是B和C的叠加。

如果出现曲线C和D的情况，则判定系统有漏气。

漏孔大小的表示方法有漏气必有漏孔，真空技术中通常指的漏孔是非常微小的，其截面形状各不相同，漏气路径也各式各样。

漏孔常出现在焊缝搭头、应力集中、弯折、拆卸等部位，一般是由于焊接、表面不清洁、工艺规范不当、结构不合理、安装不仔细等原因造成。

漏孔的几何尺寸很小，肉眼不能察觉，加之漏气路径各式各样，截面形状又很复杂，所以漏孔的大小极难用其几何尺寸来度量，在真空技术中漏孔的大小有专门的表示。

由气体定律PV=M Rt/μ可知，当温度一定时，气体的质量M可以用气体的压强和体积的乘积PV（即气体量）来表示，而PV又是容易测量的，所以漏孔的大小可以用单位时间漏入系统的气体量（PV）来表示，亦称漏率。

真空检漏原理

真空检漏原理
真空检漏是指在一定的真空度下，通过检测被测物体的气密性能，以确定其是
否存在漏气现象的一种检测方法。

在工程领域中，真空检漏被广泛应用于航空航天、汽车制造、船舶制造、电子设备、医疗器械等行业。

下面将介绍真空检漏的原理和常见的检测方法。

首先，我们来了解一下真空检漏的原理。

真空检漏的原理是利用被测物体内部
的气体与外部的真空系统之间的气体流动来检测被测物体的漏气情况。

在真空系统中，被测物体内部的气体会通过漏洞或裂缝逸出到外部环境中，这种气体流动会导致真空系统内部的气压发生变化。

通过检测气压的变化，就可以确定被测物体是否存在漏气现象。

其次，我们来介绍一些常见的真空检漏方法。

真空检漏方法主要包括质谱检漏法、氦质谱检漏法、氦充入法和泡沫检漏法等。

其中，质谱检漏法是利用质谱仪对被测物体进行检测，通过检测气体分子的质量来确定漏气点的位置。

氦质谱检漏法是在被测物体内充入氦气，然后利用质谱仪检测氦气的流动情况，以确定漏气点的位置。

氦充入法是将被测物体充入氦气，然后利用氦气检测仪对漏气进行检测。

泡沫检漏法是将被测物体表面涂覆一层泡沫，通过观察泡沫的气泡情况来确定漏气点的位置。

总的来说，真空检漏是一种非常重要的检测方法，它可以帮助我们及时发现被
测物体的漏气问题，从而保障产品的质量和安全性。

在实际应用中，我们需要根据被测物体的特点和检测要求选择合适的检漏方法，并严格按照操作规程进行检测操作，以确保检测结果的准确性和可靠性。

希望本文可以帮助大家更好地了解真空检漏的原理和方法，为工程实践提供一定的参考价值。

真空箱法检漏的原理与系统特点(1)

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
真空箱法检漏的原理与系统特点(1)
真空箱检漏原理
真空箱法检漏的原理:当被抽工件和工件外的真空箱都抽成真空后,向工作充以
一定量的氦气(或混合气),此时真空箱与检漏仪接通,如工什有漏,漏入真空箱的氦气可被检漏仪测知(总漏率)。

用真空箱法检漏可检压缩机、蒸发器、冷凝器、阀、制冷配件、管道等，检
漏灵敏度高，可靠性好。

真空箱法检漏的关键
1．选挣检漏方法最好是按实际(大致)工况而定，工况是指试件实际工作时，
人致相近(或高于)的压力状态和泄漏方向，空调器工作时，内部冷媒的压力高于外而的大气压，冷媒自内向外泄漏，因此，采用加压检漏是合理合适的。

2．将冷媒漏率换算成氦漏率
①液体漏率转变为气体漏率
根据阿氏定律：在标准状态下，指压力Po=1.01352 乘以105pa，温度，
To=273K，l 克分了M(mo1)任何物质均占有体积Vm=22.41383 升，因此，当室温(20℃)T=293K 时，年(a)泄漏率对应的气体漏率Q=PoVmgT/MaTo，单位为pa-m3/s，例如：
家用冰箱的充许漏率为l 克/年，将其转变成气体漏率则
Q=1.0352 乘以105 乘以22.41383 乘以10-3 乘以l 乘以293/86.5 乘以60 乘以60 乘以24 乘以365 乘以273
=8.9 乘以10-7pa-m3/s
其中86.5 是冷媒的分子量(R22)。

真空箱氦检漏工作原理

真空箱氦检漏工作原理
真空箱氦检漏是一种常见的检漏方法，它利用氦气的非常小的分子尺寸和高扩散速度，在测试物体内外建立氦气分压差，通过检测氦气泄漏来判断被测物体是否存在漏洞。

具体的工作原理如下：首先，在真空箱内充入氦气，使得被测物体内外氦气浓度差异较大；然后，使用氦检漏仪扫描被测物体表面，检测氦气泄漏；最后，通过分析检测结果，确定被测物体是否存在漏洞。

这种方法具有检测灵敏度高、检测速度快、检测结果准确等优点，适用于对高精度、高可靠性的仪器设备的漏洞检测。

同时，由于氦气对环境无害，不会造成任何污染，因此也广泛应用于航空航天、国防军工、核电站等领域。

需要注意的是，真空箱氦检漏需要在真空环境下进行，因此检漏仪器和真空箱本身的密封性能也是保证检测准确性的重要因素之一。

在使用过程中，还需注意氦气的使用安全性，避免氦气泄漏对操作人员造成伤害。

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