真空检漏

闭，使容器与泵隔离，然后测量容器内的压力变化，作出压力随时 间的变化曲线。
A、若图像呈现出图中直线a的情况，即压力保持不变，这是由于真 空泵工作性能不良所造成的。
B、出现图曲线b的倩况，即压力开始时上升较快，然后上升速度渐 缓并逐渐趋于水平恒定状态，这说明主要是由于开始抽气后产 生的放气而造成的。
qL,t V gp / t
难以确定漏孔的位置，判断也不容易，实用性差。
2、辅助真空罩法： 辅助真空罩法是一种能够很好地区别被检件中漏气和放气的
静态升压法。该法借助一个辅助真空罩，组成如图所示的测试系 统。
内部抽真空后再关闭阀2，在△t内测的压力增长值△P1。再 将辅助真空罩罩在被检件外并密封好，然后将辅助真空罩 内抽真空到与被检件内部相同的压力，再次对被检件内部 抽真空后封闭，在时间间隔△t 内测得另一个压力增长值 △P2，这是单纯由被检件内部故气所引起的压力增长值。 那么系统的漏率为：
流时，漏孔对空气的漏率qL可用下式近似估算：
qL
1 d3n(
6
p02
p2 air
p02 )
四、各种检漏方法介绍
1、静态升压法： 静态升压法的检漏过程是在排除系统放气的情况下，将被检容
器抽空至必要的真空度，再关闭阀门使容器与真空泵隔离，然后 用真空计测量容器中压力随时间的变化，从而算出总漏率。如果 被测容器的容积为V，在时间间隔△t内测到的压力上升为△p，在 忽略容器中存在放气的情况下，则容器的总漏率为：
三、对检漏方法的要求
理想的检漏方法应满足以下几点要求： (1)检漏灵敏度高，反应时间短，稳定性好； (2)易于判定漏孔的位置及大小； (3)示漏物质在空气中的含量低，并易于得到，不腐蚀零件
不影响人身安全； (4)检漏范围宽，从大漏到小漏均易于找到漏孔； (5)应达到无损检漏，无油检漏； (6)结构简单，使用方便，对被检件不应有苛刻要求。
真空检漏法类型及其最小可检漏率
（3）背压检漏法：
背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法， 多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏 技术中。其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步 骤。 A、充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放 (或称浸泡)一定时间。 B、净化过程是采用干燥氮气流或干燥空气流在充压容器外部 或在其内部喷吹被检件。如不具备气源时也可使被检件静置， 以便去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。 C、 检漏过程则是将净化后的被检件放人真空室内，将检漏 仪与真空室相连接后进行检漏。
（2）真空检漏法：
真空检漏法是将被检的真空容器或真空系统与检漏仪器的敏感 元件抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在被检容器或系统外 面的可疑部位。如果被检的容器或系统存在漏孔，示漏物质(如氦 气）不但会通过漏孔进入到容器或系统中去，同时也会进入到检漏 仪器的敏感元件所在的空间中去，从而通过敏感元件检测出示漏物 质，借以判断出漏孔存在的位置和大小。下表给出了真空检漏法中 所采用的各种检漏方法及其特点和它所能达到的最小可检漏率。
2、漏孔的判断步骤：
经过一段时间的抽气过程之后，如果达不到预定的极限真空度， 可从如下几个方面进行分析和判断，找出其原因：
（1）真空泵工作是否良好。 （2）真空系统内是否存在严重放气。 （3）真空系统容器壁或间隙处是否漏气。 （4）是否漏气与放气现象共存。
总结：漏否→为什么漏→哪里漏
查找上述几项原因的最普通方法是静态升压法。 这种方法通常是把被检测的容器抽到一定的低压后，将阀门关
C、如曲线c的情况为漏气。 D、如曲线d的情况为同时存在漏气和放气的现象。
二、检漏方法分类
按被检容器所处的状态分： (1)压力检漏法 压力检漏法是将被检的真空容器充入具有一定压力的示漏物质 （如水和空气），一旦被检容器上有漏孔存在，示漏物质就会 从漏孔中漏出，从而可以判断漏孔的位置。
压力检漏法最小可检漏率
4、气泡检漏法：
根据气泡形成的速率、气泡大小以及所用的气体和液体的物 理性质，可以大致估算出漏孔的漏率。这种方法属于压力检洞法。 它适用于允许承受正压的容器、管道等军部件的气密性检验。此 种方法简单、方便、直观、经济。 气泡检漏法在具体实用中也可分为两种： 4.1 水槽检漏法：根据形成气泡的大小(直径d)、速率(每秒钟形成 气泡的个数n）、充入气体的压强pair，可粗略估计漏率的大小。
真空检漏 主讲人： 李 勤 涛
2010.12
一、真空检漏的目的和基本概念
1、真空检漏的一些基本概念 （1）虚漏：虚漏是相对于实漏而言的一种物理现象，这种现象大都 是由于材料的放气、解吸、凝解气体的再蒸发或系统内存在的死空 间中气体的流出等原因而引起真空系统或容器中压力升高的现象。 （2）气密性：它是表征真空系统或容器的壁对空气不可渗透程度的 一种性能。 （3）漏孔：漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的孔洞 或间隙。 （4）漏率：漏率即漏气速率。 （5）最小可捡漏率：它是指采用某种捡漏方法或仪器可能检测出来 的最小漏率。
用肉眼观察一般有三种情况：
一是气泡小，形成速率均匀，气泡持续时间长，漏率范围
10-5~10-2Hale Waihona Puke Baidua·m3/s;
二是随机的大小气泡混合，漏率范围10-2~10-1pa·m3/s;
三是出现的气泡大，形成速率快，持续时间短，漏率范围 10-1~1pa·m3/s。
假设漏孔是一个直径很小的圆柱形毛细管，当气体流为粘滞
qL,t qtot qd V g(p1 p2 ) / t
3、压力平衡法： 是根据压力平衡的原理，借助于一个已知容积的辅助容
器上的真空规管测得不能安装真空规管的被检件总漏率的 静态升压法。
qL,t (V1 V2 )g(p2 p1) / t
压力平衡法因为保持时间可以选的很长，所以这种方法可做 得较为灵敏。为了检查小的漏孔，有时可将被捡件隔离几十个 小时甚至几天。但是应该注意的是，在检查之前要对被检件进 行很好的清洁和干燥处理，使其放气降到可以忽略的程度。对 于辅助容器来说，要求密封性能很好，即漏气和放气都要很小， 两个阀门的密封性能也要很好。