真空检漏的原理和方法
真空衰减法检漏机
真空衰减法检漏机
真空衰减法检漏机是一种用于检测物体内部或表面的漏洞的设备。
它的原理是利用真空环境下的气体分子扩散和泄漏来检测漏洞的大小和位置。
以下是该设备的历史和工作原理。
一、历史
真空衰减法检漏机的原理最早是在19世纪末由德国物理学家克劳修斯·海姆霍兹提出的。
他发现，气体在真空环境下会扩散和泄漏，因此可以利用这一原理来检测漏洞。
随后，这一原理被应用于工业领域，用于检测各种设备和产品的漏洞。
二、工作原理
真空衰减法检漏机的工作原理是利用真空环境下的气体分子扩散和泄漏来检测漏洞的大小和位置。
具体步骤如下：
1.将待测物体放入真空室中，将室内压力降至一定值（通常为10^-3 Pa）。
2.在真空室中加入检测气体（通常为氦气），使其充满整个室内。
3.利用真空室内的泵将氦气抽出，使室内氦气分子数量逐渐减少。
4.在氦气分子数量减少到一定程度时，利用检测器检测氦气的浓度变化，从而确定漏洞的大小和位置。
5.根据检测结果进行修补或更换漏洞部位。
三、应用领域
真空衰减法检漏机广泛应用于各种设备和产品的漏洞检测中，如汽车制造、航空航天、电子产品、医疗器械等领域。
它可以检测出微小的漏洞，如0.01微米大小的漏洞，因此在一些高精度产品的生产中得到了广泛应用。
总之，真空衰减法检漏机是一种非常重要的检测设备，它的应用范围广泛，可以帮助生产企业提高产品质量，保障人们的生命安全。
真空检漏方法
真空检漏方法真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。
在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。
本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。
1. 毛细管测量法毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。
此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。
该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。
2. 红外检测法红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。
不适用于空气、氮气等无机气体的检测。
3. 热模反应法热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。
该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。
4. 电离检测法电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。
该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。
5. 质谱检测法质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。
此方法非常适用于检测裂解气体。
6. 超声波检测法超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。
此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。
7. 气泡法气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。
8. 空气泄漏检测法空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。
该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。
9. 低压检测法低压检测法是一种利用负压来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于检测低压系统的泄漏。
该方法需要大量的设备和人力。
10. 总量检测法总量检测法是一种利用气体浓度变化来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于气体排放监测。
真空检漏
真空检漏法类型及其最小可检漏率
（3）背压检漏法：
背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法， 多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏 技术中。其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步 骤。 A、充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放 (或称浸泡)一定时间。 B、净化过程是采用干燥氮气流或干燥空气流在充压容器外部 或在其内部喷吹被检件。如不具备气源时也可使被检件静置， 以便去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。 C、 检漏过程则是将净化后的被检件放人真空室内，将检漏 仪与真空室相连接后进行检漏。
流时，漏孔对空气的漏率qL可用下式近似估算：
qL
1 d3n(
6
p02
pgp / t
难以确定漏孔的位置，判断也不容易，实用性差。
2、辅助真空罩法： 辅助真空罩法是一种能够很好地区别被检件中漏气和放气的
静态升压法。该法借助一个辅助真空罩，组成如图所示的测试系 统。
内部抽真空后再关闭阀2，在△t内测的压力增长值△P1。再 将辅助真空罩罩在被检件外并密封好，然后将辅助真空罩 内抽真空到与被检件内部相同的压力，再次对被检件内部 抽真空后封闭，在时间间隔△t 内测得另一个压力增长值 △P2，这是单纯由被检件内部故气所引起的压力增长值。 那么系统的漏率为：
（2）真空检漏法：
真空检漏法是将被检的真空容器或真空系统与检漏仪器的敏感 元件抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在被检容器或系统外 面的可疑部位。如果被检的容器或系统存在漏孔，示漏物质(如氦 气）不但会通过漏孔进入到容器或系统中去，同时也会进入到检漏 仪器的敏感元件所在的空间中去，从而通过敏感元件检测出示漏物 质，借以判断出漏孔存在的位置和大小。下表给出了真空检漏法中 所采用的各种检漏方法及其特点和它所能达到的最小可检漏率。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。
如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空衰减法检漏
真空衰减法检漏
真空衰减法是一种检测容器或管道中气体泄漏的方法。
它是通过将容器或管道内的空气抽空，然后观察真空度的变化来检测泄漏的存在和程度。
具体操作步骤如下：
1.将容器或管道连接到真空泵系统中，使用泵将内部空气抽出，直至达到所需真空度。
2.关闭真空泵和容器或管道之间的连接，然后等待一段时间以观察真空度是否保持不变。
如果真空度下降，则说明存在泄漏。
3.根据所使用的真空度和泵吸取空气的时间，可以估算泄漏速率，从而找出泄漏点。
4.修复泄漏并重新进行测试，直至可以确认不再泄漏。
真空衰减法的优点是简单易行，能够检测到微小的泄漏，并且不会对测试物品造成损害。
缺点是需要专业的测试设备和技术，以及一定的测试时间，不能用于检测液体泄漏。
真空检漏箱的工作原理
真空检漏箱的工作原理
真空检漏箱是一种用于检测密封件（如管道、容器、仪器等）是否存在泄漏的仪器。
其工作原理如下：
1. 真空系统：真空检漏箱内部通过泵将空气逐渐抽出，将箱内建立起一定的真空度，通常可达到10^-2至10^-3 Pa。
2. 漏气检测：在箱体内设置了一个漏气检测系统，通常是通过气体质谱仪、电离检漏仪等设备来检测箱内的气体成分。
3. 密封测试：待测密封件放置在检漏箱内，箱体内部的真空度会将泄漏点的气体逐渐吸出，如果密封件有泄漏，泄漏的气体会通过漏气检测系统被检测出来。
4. 检测结果：漏气检测系统将检测到的气体成分转换成电信号传递给控制系统，控制系统会对信号进行分析，判断密封件是否存在泄漏，并将结果以可视化形式显示出来。
通过不断抽真空以及漏气检测系统的配合，真空检漏箱能够高效地检测出密封件的泄漏情况，确保产品的质量和安全性。
真空检漏概述
8放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示出来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。
9慢性气体的加速检漏法——将管子置于高压的氩气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。
②真空检漏法——将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法——有三个步骤：充压，净化，检漏。
二：各种检漏方法
1静态升压法——把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。
一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法——可以排除放气的干扰；②压力平衡法——可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。
电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统，它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。
③氦质谱检漏仪的灵敏度：对于氦质谱检漏仪有三种灵敏度——漏率灵敏度，记作 ；分压比灵敏度，记作 ；检漏灵敏度，氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作 。当氦质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。
2气泡检漏法——在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法——适用于小型器件；②皂膜法——适用于尺寸较大的器件。
3氨气检漏法——把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理——贴显影带——充氨——排氨。
真空检漏仪原理
真空检漏仪原理
真空检漏仪原理
真空检漏仪（测漏仪）是指用于检测真空系统中的微小漏气流量的仪器。
它可以测量空气、氧气、氢气、氦气、二氧化碳和其他气体的漏损流量，以及水蒸汽、有机液体和液氨的漏损流量。
真空检漏仪动作原理：
1.将真空泵连接到检漏仪，打开检漏仪的电源开关，打开检漏仪的真空开关，将真空泵的输出头接上检漏仪的输入口；
2.打开检漏仪的保护气源开关，检漏仪内部的真空流路形成气路，聚焦板的放大器启动，促使检漏仪内部的真空流路发生流动；
3.当要测试物体接上检漏仪的接口时，真空流路中的漏气会进入检漏仪，由于聚焦板放大器的作用，漏气会被放大，出现在观察窗上；
4.如果漏气量比较大，在观察窗上会出现明显的漏气气泡，当漏气量小时，就有可能出现漏气气泡的抖动，抖动的程度可以作为检测漏气量的依据；
5.漏气检测完毕后，及时关闭检漏仪的真空开关，并断开真空泵，以免造成对真空设备的损害。
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真空检漏仪设备工艺原理
真空检漏仪设备工艺原理一、设备介绍真空检漏仪是一种用于测试真空容器无泄漏的设备。
它依靠真空泵将被测容器抽空至一定的真空度，然后通过检测波动或持续的真空度变化，来判断被测容器是否存在泄漏。
真空检漏仪广泛应用于空调、冰箱、真空存储等领域。
其中，大型真空容器测试需要使用高灵敏度的检漏仪器，来确保容器内真空度达到要求。
二、工艺原理真空检漏仪测试的原理是利用真空泵将被测容器抽空，然后检测容器内真空度是否下降。
检测过程中，如果检测器发现真空度下降，就会判断为发生泄漏。
具体的工艺流程如下：2.1 压力测试前准备在进行正式的测试前，需要进行一些准备工作。
包括：•清洁被测容器：使用清洁液或气体将容器内外清洗干净，以确保测试的准确性。
•放置被测容器：将被测容器放置在真空检漏仪中的试验室内。
•安装管路：将真空泵与容器连接，并打开气源阀门，让大气气压进入容器。
2.2 压力测试过程中在进行压力测试过程中，如下几个步骤：•抽真空：打开真空泵，将容器内的气体，包括大气气压全部抽空。
此时检测器会自动检测定时，记录当前真空度。
•持续定时：在真空泵关闭的情况下，检测器会持续记录真空度变化情况。
•判断泄漏：如果真空度持续变化，就说明被测容器存在泄漏问题。
此时需要进行检修。
2.3 压力测试后处理在测试完成后，需要进行相应的处理工作，包括：•恢复常压：关闭真空泵，让容器内气体回到常压状态。
•记录数据：将测试数据记录下来，包括容器的尺寸、测试结果等。
•将容器取出：将被测的容器从试验室内取出，并进行后续处理。
三、结论现代工业生产中，真空检漏仪已经成为不可缺少的设备。
准确的检测技术和完善的工艺流程，可以确保产品的质量和生产效率。
但需要注意的是，真空检漏工艺还需要结合各类设备的使用情况，因地制宜，根据情况进行取舍。
真空检漏机的工作原理
真空检漏机的工作原理
真空检漏机是一种用于检测封闭系统中是否存在气体泄漏的仪器。
其工作原理主要包括以下几个步骤：
1. 创建真空环境：真空检漏机通过泵将检测系统中的气体排空，创造出一个低于大气压的真空环境。
这样可以使得任何气体泄漏更加显著，便于检测。
2. 气体注入：在真空环境下，向被检测系统中注入一种易检测的气体，通常是氦气或氢气。
这种气体在常温下具有较小的分子尺寸和高扩散能力，能够更容易地渗透到泄漏点。
3. 测量：真空检漏机通过传感器或探测器监测检测系统内的气体浓度变化。
当气体泄漏时，泄漏气体将逐渐增加系统内的浓度，通过检测气体浓度的变化，可以判断是否存在气体泄漏。
4. 分析和报警：真空检漏机将探测到的气体浓度信号传输给控制系统，并进行相应的数据分析。
一旦检测到气体泄漏，检漏机会通过声光报警等方式进行提示，以便操作人员及时采取相应的修复措施。
总的来说，真空检漏机通过创建真空环境和注入易检测气体，并结合传感器和分析系统，实现对封闭系统中气体泄漏的检测和报警。
检漏仪的工作原理
检漏仪的工作原理一、引言检漏仪是一种常用的检测设备，广泛应用于工业、环保、安全等领域。
本文将详细介绍检漏仪的工作原理，包括其基本原理、检测方法和应用领域。
二、基本原理检漏仪的工作原理基于气体传导性质和电子技术。
当被测物体内部发生泄漏时，泄漏气体味通过检漏仪的探头进入仪器内部。
检漏仪通过探头吸入的气体与仪器内部的传感器相接触，传感器会检测气体中的电离电流或者电压变化。
根据电离电流或者电压变化的幅度，检漏仪可以判断泄漏的程度和位置。
三、检测方法1. 真空检测法：该方法适合于检测密封性较好的容器或者管道的泄漏。
首先，将被测容器或者管道抽空至一定真空度，然后使用检漏仪探头扫描容器或者管道表面。
如果泄漏存在，泄漏气体味进入检漏仪，被传感器检测到并进行分析。
2. 压力检测法：该方法适合于检测容器或者管道内部的泄漏。
首先，将被测容器或者管道充入一定压力的气体，然后使用检漏仪探头扫描容器或者管道表面。
如果泄漏存在，泄漏气体味进入检漏仪，被传感器检测到并进行分析。
3. 浸泡检测法：该方法适合于检测液体容器的泄漏。
将被测容器浸入液体中，然后使用检漏仪探头扫描容器表面。
如果泄漏存在，泄漏气体味从液体中释放出来，进入检漏仪，被传感器检测到并进行分析。
四、应用领域检漏仪广泛应用于以下领域：1. 工业生产：用于检测工业设备、管道、容器等的泄漏，确保生产过程的安全和环境的保护。
2. 环境保护：用于检测化工、石油、天然气等行业的泄漏，防止有害气体的泄漏对环境造成污染。
3. 安全检测：用于检测建造物、地下管道、地下室等的泄漏，防止气体泄漏引起火灾、爆炸等事故。
4. 医疗卫生：用于检测医疗设备、气体管道等的泄漏，确保医疗环境的安全和卫生。
五、总结检漏仪是一种基于气体传导性质和电子技术的检测设备，通过探头吸入泄漏气体并通过传感器检测，可以准确判断泄漏的程度和位置。
不同的检测方法适合于不同的泄漏场景。
检漏仪在工业、环保、安全等领域有着广泛的应用，可以确保生产过程的安全和环境的保护。
真空检漏仪执行标准
真空检漏仪执行标准一、引言真空检漏仪是一种用于检测封闭系统中是否存在泄漏的仪器。
它广泛应用于各个领域，例如航空航天、汽车制造、石油化工等。
为确保真空检漏仪的准确性和可靠性，制定执行标准是必不可少的。
二、真空检漏仪的分类真空检漏仪根据检测原理和使用场景的不同，可以分为以下几类： 1. 热膨胀真空检漏仪：利用热膨胀效应检测泄漏。
2. 气体质谱真空检漏仪：利用气体质谱原理检测泄漏。
3. 氦质谱真空检漏仪：利用氦气的小分子和高扩散能力检测泄漏。
4. 紫外光真空检漏仪：利用紫外光原理检测泄漏。
三、真空检漏仪的工作原理真空检漏仪的工作原理主要包括以下几个方面： 1. 抽气系统：通过真空泵将被测系统抽成一定真空度。
2. 检测系统：根据不同的检测原理选择相应的检测方法，如热膨胀、气体质谱或氦质谱。
3. 数据处理系统：将检测到的信号转换为数字信号，并进行数据处理和分析。
4. 泄漏判据：根据设定的泄漏判据，判断被测系统是否存在泄漏。
四、真空检漏仪的执行标准为确保真空检漏仪的准确性和可靠性，制定执行标准是必要的。
以下是真空检漏仪的执行标准的要求： 1. 设备要求：真空检漏仪应具备一定的抽气速度、检测灵敏度和稳定性。
2. 校准要求：真空检漏仪应定期进行校准，确保其测量结果的准确性。
3. 操作要求：操作人员应经过专业培训，熟悉真空检漏仪的使用方法和注意事项。
4. 泄漏判据：根据不同的应用场景，制定相应的泄漏判据，以确保检测结果的可靠性。
5. 数据记录要求：对每次检测的结果进行记录，包括被测系统的信息、检测时间、检测结果等。
五、真空检漏仪的应用领域真空检漏仪在各个领域都有广泛的应用，以下是几个典型的应用领域： 1. 航空航天：用于检测航空航天器的燃料系统、液压系统等是否存在泄漏。
2. 汽车制造：用于检测汽车制造过程中的零部件是否存在泄漏，如制动系统、空调系统等。
3. 石油化工：用于检测石油化工设备中的管道、阀门等是否存在泄漏。
真空箱氦检漏工作原理
真空箱氦检漏工作原理
真空箱氦检漏是一种常用的检漏方法，它利用氦气的小分子大小和高扩散性，在真空状态下通过被检漏器件的泄漏口进入真空箱，再通过检漏仪器检测泄漏氦气的浓度大小，从而判断被检器件泄漏的程度和位置。
其工作原理如下：
1. 将被检器件放置在真空箱内，并抽空至所需真空度。
2. 在真空箱外侧连接一定压力的氦气瓶，将氦气通过选择阀进入真空箱内。
3. 当氦气进入真空箱后，由于其小分子大小和高扩散性，会迅速进入被检器件内部的泄漏口并扩散到周围。
4. 同时，在真空箱内设置氦气检测仪器，检测泄漏氦气的浓度大小，并将数据传输到计算机。
5. 计算机通过对浓度数据的处理和分析，判断被检器件泄漏的程度和位置，并输出检测结果。
真空箱氦检漏具有检测精度高、检测速度快、适用于大批量检测等优点，被广泛应用于各种工业领域的泄漏检测中。
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真空检漏的原理和方法
②反应时间、清除时间及其测定 反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒 定的氦流量使输仪表讯号上升到最大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记 为τR。 清除时间是指输出仪表讯号稳定到最大值后，停止送氦，其讯号下降到最 大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。 反应时间和清除时间的测定装置如图7所示。
做专业的事
一、概述 1．概漏的基本概念 真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。 漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。 虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝 结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起 真空系统中气体压力升高的现象。 气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的 漏气和材质的渗气。 最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。 最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对 于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。 检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵 敏度又称作有效灵敏度。 反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做 出反应的时间。 消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的 指示消失的时间。 漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。
专业的心
做专业的事
专业的心
做专业的事
(2)性能试验方法 灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速 是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 ①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处 于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检 测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检 件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统 仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪 器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大 气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min 内输出仪表的最大波动量。 漏率灵敏度标准系统如图6所示。图中虚线框内部分为配气系统．即为标准 漏孔5进气端提供压力为pHe的纯氦气。辅助泵6的任务是预抽。用干燥瓶4和针阀2 调节仪器工作压力。如果仪器本底为I0，本底噪声为In，标准漏孔对空气的标称 漏率为qL.o，当其进气压力为pHe时的仪器讯号为I，则仪器灵敏度为式（6）。
真空检漏原理
真空检漏原理
真空检漏是指在一定的真空度下，通过检测被测物体的气密性能，以确定其是
否存在漏气现象的一种检测方法。
在工程领域中，真空检漏被广泛应用于航空航天、汽车制造、船舶制造、电子设备、医疗器械等行业。
下面将介绍真空检漏的原理和常见的检测方法。
首先，我们来了解一下真空检漏的原理。
真空检漏的原理是利用被测物体内部
的气体与外部的真空系统之间的气体流动来检测被测物体的漏气情况。
在真空系统中，被测物体内部的气体会通过漏洞或裂缝逸出到外部环境中，这种气体流动会导致真空系统内部的气压发生变化。
通过检测气压的变化，就可以确定被测物体是否存在漏气现象。
其次，我们来介绍一些常见的真空检漏方法。
真空检漏方法主要包括质谱检漏法、氦质谱检漏法、氦充入法和泡沫检漏法等。
其中，质谱检漏法是利用质谱仪对被测物体进行检测，通过检测气体分子的质量来确定漏气点的位置。
氦质谱检漏法是在被测物体内充入氦气，然后利用质谱仪检测氦气的流动情况，以确定漏气点的位置。
氦充入法是将被测物体充入氦气，然后利用氦气检测仪对漏气进行检测。
泡沫检漏法是将被测物体表面涂覆一层泡沫，通过观察泡沫的气泡情况来确定漏气点的位置。
总的来说，真空检漏是一种非常重要的检测方法，它可以帮助我们及时发现被
测物体的漏气问题，从而保障产品的质量和安全性。
在实际应用中，我们需要根据被测物体的特点和检测要求选择合适的检漏方法，并严格按照操作规程进行检测操作，以确保检测结果的准确性和可靠性。
希望本文可以帮助大家更好地了解真空检漏的原理和方法，为工程实践提供一定的参考价值。
真空箱法检漏的原理与系统特点(1)
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
真空箱法检漏的原理与系统特点(1)
真空箱检漏原理
真空箱法检漏的原理:当被抽工件和工件外的真空箱都抽成真空后,向工作充以
一定量的氦气(或混合气),此时真空箱与检漏仪接通,如工什有漏,漏入真空箱的氦气可被检漏仪测知(总漏率)。
用真空箱法检漏可检压缩机、蒸发器、冷凝器、阀、制冷配件、管道等，检
漏灵敏度高，可靠性好。
真空箱法检漏的关键
1．选挣检漏方法最好是按实际(大致)工况而定，工况是指试件实际工作时，
人致相近(或高于)的压力状态和泄漏方向，空调器工作时，内部冷媒的压力高于外而的大气压，冷媒自内向外泄漏，因此，采用加压检漏是合理合适的。
2．将冷媒漏率换算成氦漏率
①液体漏率转变为气体漏率
根据阿氏定律：在标准状态下，指压力Po=1.01352 乘以105pa，温度，
To=273K，l 克分了M(mo1)任何物质均占有体积Vm=22.41383 升，因此，当室温(20℃)T=293K 时，年(a)泄漏率对应的气体漏率Q=PoVmgT/MaTo，单位为pa-m3/s，例如：
家用冰箱的充许漏率为l 克/年，将其转变成气体漏率则
Q=1.0352 乘以105 乘以22.41383 乘以10-3 乘以l 乘以293/86.5 乘以60 乘以60 乘以24 乘以365 乘以273
=8.9 乘以10-7pa-m3/s
其中86.5 是冷媒的分子量(R22)。
真空检漏原理
真空检漏原理
真空检漏是一种用于检测封闭空间中是否存在漏气的技术。
其原理是利用真空度检测仪器，通过抽取测试空间内的气体，将其压力降低到一个较低的真空度。
然后观察一段时间内真空度是否变化，如果真空度出现明显下降，则可以判断存在漏气。
真空检漏的原理基于两个主要因素：一是漏气通道的存在，二是压力差的作用。
当测试空间存在漏气通道时，高压区域的气体会通过漏洞进入低压区域，从而导致真空度下降。
因此，通过观察真空度的变化，可以确定是否存在漏气通道。
为了实现真空检漏，通常需要使用专门的真空检漏设备。
这些设备通常包括真空度检测仪、抽气设备和检漏剂。
在检测过程中，首先将真空度检测仪连接到测试空间，并通过抽气设备将测试空间内的气体抽取至较低的真空度。
然后，使用检漏剂喷洒在可能的漏气点上。
如果存在漏气，漏气点附近的气体将被抽入检漏剂中，并在真空度检测仪上显示出真空度的下降。
通过真空检漏技术，可以有效地检测出封闭空间中的漏气问题。
这对于一些需要高度密封的设备和系统来说非常重要，如真空系统、气密性要求高的容器、航空航天设备等。
真空检漏技术有助于提高设备的可靠性和操作安全性，避免因漏气导致的性能下降或故障发生。
检漏方法概述及高压放电检漏与真空检漏原理
检漏方法概述及高压放电检漏与真空检漏原理检漏方法概述随着技术装备水平的不断提高，医药包装完整性作为用药安全性的重要指标之一逐渐引起的关注。
对于药品包装而言，无论采用何种包装形式，均须保证在药品有效期内使内容物（无论是液体、固体或气体）与外界环境隔离，包装物被封闭后就需要采用合适的方法确认药品包装处于完好和密封的状态。
药品包装物的明显缺陷可采用人工的方法进行检测，而10~30微米左右微孔泄漏肉眼是无法检查发现的，这样借助适当的方法实施检测就显得极为关键。
常见的检测方法有：压力检漏、亚甲蓝染色检漏、微生物渗透检漏、水浴检漏、高压放电检漏、真空压差检漏等。
无论何种检测方法均需满足以下要求：-必须对包装不造成任何损害，即无损检测；-必须对所有产品进行检测，即在线检测；-必须有足够的灵敏度，能够检测到微小的泄漏；-能够针对整个包装进行检测，而不是只对包装的局部进行检测；-能够消除外界因素或人为因素的干扰；-能够经过验证；迅展机电专业生产高压放电检漏机和真空压差检漏机，实现了对药品全方位在线检查，针对不同的用户要求，提供了不同型号的选择，并将根据客户的要求进行不断的改进、完善。
高压放电检漏的工作原理工厂提供220V50HZ市电经变频电源变频后再经由变压器升压，作为检测电源，由传感器将实时检测数据传送至控制中心进行信号处理及比对，然后进行好坏判别，再控制执行机构执行剔除动作。
下图中，包装容器的两端分别连接有发射极和接受极两个电极，C1和C2分别代表发射电极与容器溶液之间、接受电极与容器溶液之间所形成的电容（由于容器外壁的绝缘的阻隔，电极无法与溶液接触，故形成电容），Z1和Z2分别代表C1和C2所产生的容抗，R代表溶液本身的电阻值。
依据欧姆定律方程如下：I=V/(Z1+R+Z2)当包装容器完好，没有泄漏时，检测回路如上图2产生感应微电流I1，即为I1=V/(Z1+R+Z2)。
当包装容器泄漏时，使容器外壁与电极之间形成的电容消失，即为击穿，使电容所产生的容抗为零，此时检测回路中产生的感应微电流为I2，即为I2=V/(R+Z2)。
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(2)性能测试方法 灵敏度、反应时间及恢复时间是卤素检漏仪的主要性能参数。其测试方法 与氦质谱检漏仪的相同，这里不再赘述。但是，卤素检漏仪的指示与卤素气 体的浓度有关：一般，低浓度的指示是线性的，中等浓度的是非线性的，而 当浓度很高时仪器出现饱和或中毒现象。所以在进行性能测试或检漏时，进 入传感器的卤素气体的浓度不宜高于百万分之一。 固定式卤素检漏仪传感器应和lO-1～10oPa压力范围内工作，压力过高或过 低都会导致仪器灵敏度的下降。 便携式卤素检漏仪的传感器基本上是在大气压下工作的，靠吸气装置吸入 气体，使卤素气体流经传感器。
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二、检漏仪器 用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半 导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤 素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国产检漏仪器的技术性能。 1．氦质谱检漏仪 ． 氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳 定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪 器。 氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9 ～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏 转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达1014～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦 质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级 部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用 于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。
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Hale Waihona Puke 做专业的事在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电 压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下， 具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。
可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪 器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束[图中(me-1)2]恰好通过出口缝 隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示 反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器 的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。
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(1)工作原理与结构 氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和 抽气系统及电气部分等组成。 ①单级磁偏转型氦质谱检漏仪 现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪，其结构如图2 所示。 在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场 、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一 级放大静电计管和冷阴极电离规。质谱室的工作原理如图3所示。
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(2)性能试验方法 灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速 是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 ①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处 于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检 测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检 件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统 仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪 器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大 气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min 内输出仪表的最大波动量。 漏率灵敏度标准系统如图6所示。图中虚线框内部分为配气系统．即为标准 漏孔5进气端提供压力为pHe的纯氦气。辅助泵6的任务是预抽。用干燥瓶4和针阀2 调节仪器工作压力。如果仪器本底为I0，本底噪声为In，标准漏孔对空气的标称 漏率为qL.o，当其进气压力为pHe时的仪器讯号为I，则仪器灵敏度为式（6）。
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5．检漏方法的分类 检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检 漏法及其它检漏法。 充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件 上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外 部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率 的大小，此即充压检漏法。 真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件 的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检 件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏 孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。 其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归 入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。 所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件， 然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检 漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。
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(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。 ②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪 图4示出了双级900缩转串联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。由于两次分 析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即图中 的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次 被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过第一个分析器，但是， 经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。 由于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。 ③逆流氦质谱检漏仪 逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵 的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为 102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主 抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏 气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。
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2．漏孔、漏率及其单位 真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示) ，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率) 表示漏孔的大小。 用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为 1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单 位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。 漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯 卡×升／秒，记为PaL／s。 PaL s
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3．高频火花检漏器 ． 高频火花检漏器是个高频高压对地放电器件，可以用于真空检漏。 (1)工作原理与结构 图9示出一种电容，电感串联谐振式高频火花检漏器的原理图。接通K，当 接触器CD闭合时，电流流经L1、CD，电流很大，L1产生足够大的电磁力吸 引CD断开，于是形成L1、C、L2的回路。由于阻抗增加，电流减小导致电磁 力下降。从而使CD重新闭合。如此反复，在L2上施加高频脉冲电压，因此高 压线圈L3便感应出高频高压脉冲电压。而L3的一端对地放电产生高频火花击 穿现象。这就是高频火花检漏器的工作原理。 (2)玻璃真空系统的检漏 将高频火花检漏器的放电簧F沿着已抽空的玻璃系统外表面慢慢移动，没 有漏孔时放电火花束呈杂乱分散状态，当遇到漏孔时火花束集中成一条细束 ，且指向系统上亮点(漏孔内空气电离率远远大于玻璃的结果)，该亮点就是漏 孔的位置。 (3)金属真空系统的检漏 各种气体和蒸汽的辉光放电颜色如表3。选用表中示漏物质施加在金属真空 系统的可疑处，用高频火花检漏器激发系统上玻璃质规管或盲管内的气体， 使之放电，观察放电颜色的变化便可实现检漏。这种方法的工作压力为 5×10-1～102Pa，检漏灵敏度为10-3Pam3／s。
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4．漏孔的气流特性 气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三 种流动状态。主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压 力及环境温度有关。设环境温度T=296K，入口压力p2=1.01×105Pa，出口压 力p1《p2，漏孔长L，直径d的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可 视流动状态见表2。
电子、电器配套玻璃专业国际化公司
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真空检漏
作成： 作成：樊斌杰 日期:2010 /10月 :2010年 日期:2010年/10月
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3．最大容许漏率 真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“ 漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。 对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时 即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏 率称为最大容许漏率。动态真空系统的最大容许漏率qLmax应满足 qLmax≤1/10PwS (1) 式中Pw----系统工作压力 S----系统的有效抽速 对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以 下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况 下系统的漏率称为最大容许漏率。如果要求在时间t内,容积为V的系统的压 力由p升至pt，则其最大容许漏率qLmax应满足 qLmax≤(pt-p)V/t (2) 各种真空设备的最大容许漏率可参考表1确定。
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如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时，给出 仪器最小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。 浓度灵敏度校准系统中应用一流量计测出图6的通过针阀2进入仪器的空气 流率qL.o，则仪器浓度灵敏度成为式（7）。