ELEC8025 铁电器件原理基础

ELEC8025 铁电器件原理基础

Basis of Ferroelectric Device Principle

开课院系：信息科学与工程学院任课教师：汤庭鳌教授、林殷茵副教授

开课学期：第二学分：3 周学时：3 总学时：54

课程性质：博士学位专业课适用专业：微电子学与固体电子学

本课程的教学目的

掌握铁电薄膜材料在电子器件中的应用，各种铁电器件的结构和原理，培养探索铁电新器件的能力。

教学内容及基本要求

1、铁电薄膜电容的制备技术、特性表征；

2、集成铁电电容的C-V特性、模型；

3、铁电薄膜传感器的分类、结构、工作原理；

4、铁电薄膜在传感器中的应用：结构与原理、压敏传感器、热释电传感器、表面声波器件、空间光调制器；

5、铁电器件的发展展望。

考核方式及要求

考试。书写读书报告。

学习本课程的前期课程要求

铁电薄膜材料、半导体器件原理。

教材及主要参考书目、文献与资料

Ferroelectric Devices.