迈图坩埚标准

Quartz Crucibles

P.S. :

8-3-510 (PV)

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INSPECTION CRITERIA Date: September 13, 2007

PV 型(太阳能级)石英坩锅检验标准

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适用范围： 本标准适用于迈图石英(原GE 石英)产的太阳能级坩锅的检验。

#112 – BUBBLES 气泡 气泡中不能含有夹杂或色差

#112A* –封闭的气泡BUBBLES (Enclosed) (BUB)

定 义：石英中存在的球形的空间。(Definition: Spherical voids existing in the quartz.)

位置

外径小于20英寸(508mm)的石英坩埚 外径≥20” (508mm)

从边缘向下38mm

不能有超过4mm 的气泡 W1-侧壁 不能有超过1.5mm 的气泡 W2-壁角

不能有超过1.5mm 的气泡

W3 –底部

不能有超过2.0mm 的气泡

不能有超过2.0mm 的气泡

最多有2个1.5mm~2.0mm 的气泡 最多有4个1.5mm~2.0mm 的气泡 最多有3个1.0mm~1.5mm 的气泡 最多有6个1.0mm~1.5mm 的气泡 通常的

(W1, W2, 或 W3)

最多有20个0.5mm~1.0mm 的气泡

最多有40个0.5mm~1.0mm 的气泡

#112E* -开口气泡OPEN BUBBLES (OBB)

1) 外表面上的开口气泡(Outside Surface)

定 义： 一个孔状气泡破坏了正常的外表面，存在于从坩埚边缘向外表面下方38mm 处。

标 准：a) 不论多深，直径不能超过2mm 。 b ）深度不能超过正常壁厚的1/3。

2) 内表面上未打磨的气泡孔Unglazed ID Bubble Hole 定 义： 象是被刀向下挖出来的边缘尖锐的孔。

Limit 标准: 不可以有。

3) 内表面上打磨过的气泡孔（对照缺陷＃124C 白雾即内表面上由于白雾引起的向下凹陷）

定 义：一个看上去向内表面凹陷的孔，孔的边缘和底部都很光滑。

标 准： a) 不论多深，直径不能超过2mm 。

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b ）凹陷不能超过0.5mm 深。

#124C -石英白雾(白点,气化物) VAPOR (VAP)

标准：在坩埚内表面上浓缩的石英物质，通常是壁厚的一部分，覆盖在光滑的表面之上。白雾是均匀的分布在坩埚表面的，且有一个个的很细小的气泡孔样子（通常大于3mm 长），每个单独的气泡要小于0.64mm 。白雾相对于坩埚表面呈白色，且呈蜂窝状凹陷入壁厚中。

气化物可能有乳白色外观，这是由透明的细泡以及在壁内光滑的细泡形成的表面凹坑（有光泽的凹陷）形成的。 标准:

1）未打磨的或粗糙的表面是不可以的 2）单个的白雾面积不能超过40 mm 2

（注意：40mm 2即3.18 x 12.7, 4 x 10 mm, 5 x 8 mm; 或直径7.1 mm 的圆面积） 3）一个坩埚上不能超过5个白雾，且每个白雾要大于3.18mm 长。

#141 –夹杂物（黑点等）

A. 暴露在内表面上的夹杂物

定 义： 任何在内表面中并暴露于内表面上的非石英物质的外来物，可视为在光泽的内表面

中的一个断口。。 Limit 标准: 不能有。 B. 未暴露的夹杂物

定 义：完全处于坩埚壁内中的非石英的任何外来物。 标准Limits ：

位置

标准

外径＜20” (508mm)

外径≥(20”)508mm

0.25~0.5mm 的不能超过25个 0.25~0.5mm 的不能超过50个

0.5~1.5mm 的不能超过10个 0.5~1.5mm 的不能超过20个 通用位置（W1, W2 和W3）

1. 5~3mm 的不能超过3个 1. 5~3mm 的不能超过6个

C. 暴露于外表面的夹杂物 (INC) OD Exposed Inclusions (INC)

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定义：任一外来物质（不是石英）暴露在外表面上

标准 依照内表面未暴露的夹杂的标准，从内表面可以看到和测量得到。

注意: 对于水渍，可以用DI 水和（或）酒精布(酒精布不能重复使用)清洗干净。

#105 -崩边 定 义：坩埚表面有部分埚壁缺损而形成的完整的碎裂。 1)

内壁边缘 定 义： 从开口一端算起到内表面的距离在10mm 范围内的缺口。 标准： 没有修整过的缺口是不可以有的。修整过的缺口的最大尺寸是 水平方向上长10mm ，竖直方向上长5mm ，即长10mm ×宽5mm 。 2)

顶部圆周平面 定 义： 在坩埚顶部边缘处平坦的壁厚面上的整个壁厚缺失。 标准： 没有修整过的缺口是不可以有的。修整过的缺口最深为0.7mm

3)

外部边缘 定 义： 从坩埚开口端算起到外表面的距离在12.7mm 范围内的缺口

标准：没有修整过的缺口是不可以有的。修整过的缺口的最大尺寸为：12mmX12mm 。 从开口端向下6.4mm 的位置处的修整必须符合最小壁厚要求.

4)

坩埚腔体上的缺口 定 义： 缺口在坩埚内表面上。从距离开口端10mm 向下的范围内。 标 准： 不可以有（修整或未修整）

#142 Impurities: 纯度

Routinely Monitored Impurities: (PPMW ) 定期检测的杂质含量（单位：百万分之一）

杂质元素

(典型值) 500

15.0 0.4

< .05

0.2

0.5

0.1 < .05

0.6 0.8

1.0

0.9

注：Certifications 合格证

None required, unless specified elsewhere (e.g. Customer Product Standard ). 除非另有要求（如客户的产品标准），一般不需要合格证。