半导体分立器件封装测试工厂建厂项目机电专业主要技术要求

半导体分立器件封装测试工厂

建厂项目机电专业

主要技术要求

1.1主要机电设备要求：

1.1.1冷水机组采用R134A工质

1.1.2冷水机组采用水冷机组

1.1.3冷水机组采用整装离心机组或螺杆机组

1.1.4空压机采用水冷螺杆无油机组

1.1.5压缩空气干燥机采用吸附式干燥机

1.1.6真空泵采用水冷或风冷螺杆、叶片机组

1.1.7变压器采用干式风冷变压器，配置温度传感器、风扇自

控装置

1.1.8高压配电装置采用标准手车开关，配置就地显示仪表和

远传仪表

1.1.9低压配电柜采用抽屉式开关，配置就地显示仪表

1.1.10生产工艺设备配电采用插接式硬母线

1.1.11AHU、MAU均采用3级过滤，洁净室系统末端配置HEPA

1.1.12AHU、MAU采用3通电动阀调节

1.1.13FCU配置G4级别空气过滤器

1.1.14FCU采用四管制系统

1.1.15注意气体、液体管线分支方向的区别

1.1.16换热器采用板式换热器

1.1.17水泵尽量采用卧式中开泵以方便检修

1.1.18水泵尽量采用机械密封

1.1.19并联运行的冷却塔必须加装连通管

1.1.20水泵独立加装进出口检修切断阀、止回阀

1.1.21所有配电、控制箱、屏、柜必须满足上锁上标签要求

1.2系统配置标准：

1.2.1配电系统采用树枝状结线

1.2.2配电系统考虑互投备份，配置必要的桥路

1.2.3高低压配电系统配置监控和继电保护装置

1.2.4空调系统和主要动力设备连接到现有中央监控系统中

1.2.5监控系统必须考虑兼容性、开放性、可扩展性、安全性、

可靠性和容错性

1.2.6空调系统加热采用热水系统，热源为蒸汽燃气锅炉，蒸

汽通过换热器加热循环热水

1.2.7空调系统表冷器使用循环冷冻水，冷源为冷水机组

1.2.8水、气管线采用环网布置，考虑必要的分区切断阀以便

切换运行、检修

1.2.9动力管线主干管采用管廊安装，支管可考虑直接吊挂

1.2.10水、汽、气管线调节阀、切断阀分设，切断阀采用两片

式SS球阀或对夹式蝶阀

1.2.11水、汽、气管线配置必要的过滤装置

1.2.12户外水气管线配置电伴热和保温防冻设施

1.2.13电磁阀、电动阀前加过滤器，前后加装检修用切断阀

1.2.14冷热水系统采用母管制，泵类、冷却塔、储罐、过滤器

以并联布置为佳，以便切换检修

1.2.15生产区走廊配置空调装置

1.2.16AHU新风入口加装防止雨水侵入的装置

1.2.17蒸汽冷凝水输送系统考虑破真空、防止倒流等问题

1.2.18水系统配置必要的排气阀与放空阀

1.2.19气系统配置必要的疏水阀、排污阀

1.2.20洁净室内接地带应暗装

1.2.21HVAC系统的气流组织、系统配置方案、控制逻辑必须满

足过渡季节可靠运行的要求

1.2.22空调风系统末端散流器使用600×600尺寸

1.2.23洁净室照明灯具采用嵌入式安装

1.3安装方式、运行操作、维修保养的要求：

1.3.1设计必须确保设备、系统布置有足够安装、维修、操作

空间，包含为生产工艺设备二次配线配管预留的接点

1.3.2动力设备选型应考虑维修方便性

1.3.3设备间布置必要的起吊点、搬运通道、检修用水、电、

气源、检修照明、通风设施、排水设施等等

1.3.4考虑为暗装设备、系统配置检修马道、爬梯

1.3.5设计必须考虑为动力设备、系统配置适当的备用机组，

储备适当的容量

1.3.6一期、二期动力设备、系统、设施应具备互换性

1.4有关EHS的要求

1.4.1本项目禁用一切石棉、青石棉制品

1.4.2本项目相关制冷工质只允许采用R134A

1.4.3本项目禁用WEEE&RoSH中仅用物质

1.4.4所有工业废水管线必须采用双层套管

1.4.5所有埋地废水管线必须设置检漏沟

1.4.6地下废水池必须设置防渗漏衬层

1.4.7废水、废气必须符合西安高新区的排放标准

1.4.8车间、办公区、辅助区的照明、通风换气、噪音控制必

须符合职业卫生要求

1.4.9非腐蚀性工艺排风风管可使用镀锌板咬口连接风管

1.4.10腐蚀性工艺排风风管应使用SS316板材焊接风管，并预

留清扫开孔

1.4.11废气处理系统、工业废水排放系统应预留取样口

1.4.12化学品储存、使用场所必须配置紧急洗眼机

1.4.13化学品储存、使用场所地面必须考虑防腐防渗问题

1.4.14化学品储存、使用场所应有防止泄漏药品扩散的围堰

1.4.15设备夹层地面必须考虑隔音、防水、防渗问题

1.4.16管线、线缆标识必须符合爱尔微电子有限公司的要求

1.4.17不同电压等级的插座必须有防止误插的技术措施

1.4.18主要电气系统应考虑“五防”（如插接母线的插接开关必

须有防止带电插拔的联锁装置）

1.4.19专用紧急出口门应设置专用逃生门锁

1.4.20消火栓门一律采用按压式扣锁

1.4.21室内外管沟、水沟一律配置钢质盖板

1.4.22所有配电、控制箱、屏、柜必须满足上锁上标签要求

1.4.23废水集液沟、废水收集池设置集液井

1.4.24人员可能进入的水沟、电缆沟、储罐、设备安装井配置

符合安全规范的爬梯