辉光离子氮化炉

辉光离子氮化炉

(glow plasmanitriding furnace)

一、概述

离子氮化是在13.3-1333Pa的真空容器中使含氮稀薄气体在直流电场中电离，正离子轰击金属零件表面形成氮化层，正离子轰击金属零件表面形成氮化层，以达到表面硬化的

方法。

离子氮化对于球墨铸铁，合金钢，不锈钢，粉末冶金制品，钛合金，高速钢，工

具钢等均有显著氮化效果。

二、设备的组成

离子氮化炉由炉体，输电装置，真空获得系统，供电系统，供气系统，温度测

量五部分组成。

1、炉体由炉盖、筒体、炉底盘和底架组成，其中炉盖、筒体、炉底盘夹层通冷却

水，炉内设有不锈纲，渗铝板双层隔热屏，（LD-25）

型只有不锈纲一层，炉体上设有双层钢化玻璃观察窗，以供离子氮化过程中

观察炉内情况之用。

2、炉底设有堆放阴极一个，堆放阴极与阴极支承上安放着工作盘，工作盘，工件

可直接放在此盘上。

3、炉体的真空获得系统一般由两台旋片式真空泵及串有碟阀的管道系统组成，碟阀的作用是通过关闭或旋转不同的角度调度调节抽气

量以维持不同进行气量条件下的炉内压强。真空度的测量用配套ZDZ-4型电阻真空计，从表头可直接读出真空值。

4、炉体的供气管进口设在炉壳筒体上，流量计采用701HB型氢定标，氮定标的转子流量计各1只，以便通氮氢混合气，单用氢流量计

通氨气时，其读数按下列式修正：

Q=K Q标

Q标转子流量计出厂时的所标定的刻度值；

K 修正系数，由缓冲罐压力确定如下表；

缓冲罐压K