无尘室洁净室详细介绍
洁净室(无尘室)标准
洁净室(无尘室)标准(一)洁净室之定义洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M 1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类1.乱流式(Turbulent Flow)：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
《无尘室基础知识》课件
在电子领域，无尘室是制造半导体、液晶显示面板、太阳能电池等高精密度产品的必备环境。在制药和生物医学 领域，无尘室用于生产药品、医疗器械和进行临床试验等。在航空航天领域，无尘室用于制造飞机零部件和卫星 等高精密度产品。此外，无尘室还应用于食品、化妆品等行业，保证产品的质量和安全性。
02
无尘室的构造与设备
不同洁净度等级的应用场景
低洁净度等级
适用于一般工业和实验室环境， 如电子、制药、食品等行业。
高洁净度等级
适用于高精度、高可靠性要求的领 域，如半导体、平板显示、生物医 疗等。
特殊洁净度等级
根据特定工艺需求，定制化设计的 洁净室，以满足特定环境要求。
洁净度等级的测试与评估
测试方法
采用粒子计数器等仪器对室内空气中 的颗粒物浓度进行测量，以评估洁净 度等级是否达标。
无尘室的结构一般采用框架结构或钢结构，以确保稳定 性和密闭性。
墙面和地面
墙面和地面通常采用防尘、防静电、抗菌的材料，以减少尘 埃的产生和附着。
门窗
无尘室的门窗应严密、平滑，并具有良好的气密性，以确保 空气的纯净度。
无尘室的空气净化系统
空气过滤
无尘室的空气净化系统通常采用初效、中效、高效过滤器逐级过滤，以去除空气中的尘埃和微生 物。
维持无尘环境。
空气过滤
定期检查并更换空气过滤器，确 保空气洁净度符合要求，防止尘
埃颗粒进入无尘室。
无尘室的定期检查与保养
设备检查
对无尘室内的设备进行定期检查，确保其正常运 行，如有故障及时维修或更换。
管道维护
定期对无尘室的管道进行检查和维护，防止管道 泄漏对无尘环境造成影响。
照明系统
检查和维护无尘室的照明系统，确保照明亮度符 合要求，防止光源污染。
洁净室基本常识
洁净室基本常识什么是洁净室？典型的洁净室洁净室又可称作无尘室（Cleanroom），通常用作专业工业生产或科学研究的一部分，包括制造药品，集成电路，CRT，LCD，OLED和microLED显示器等。
洁净室的设计是为了保持极低水平的微粒，如灰尘，空气中的生物体，或汽化的微粒。
确切地说，洁净室有一个受控的污染水平，该水平由在指定的颗粒尺寸下每立方米的颗粒数来规定。
洁净室也可指任何给定的容纳空间，在该空间中设置了减少微粒污染和控制其他环境参数，如温度，湿度和压力。
在药学意义上，洁净室是指符合GMP无菌规范（即EU和PIC/S GMP 指南附件1以及当地卫生当局要求的其他标准和指南）中定义的GMP规范要求的房间，是将普通房间转换为洁净室所需的工程设计、制造、完成和操作控制（控制策略）的组合。
很多行业会使用无尘室，只要是小颗粒会对生产过程产生不利影响的地方都会有洁净室的身影。
它们的尺寸和复杂度各不相同，广泛应用于半导体制造，制药，生物技术，医疗设备和生命科学等行业，以及航空航天，光学，军事和能源部中常见的关键工艺制造。
洁净室的发展历程现代无尘室是由美国物理学家威利斯·惠特菲尔德发明的。
惠特菲尔德作为桑迪亚国家实验室的雇员，于1966年为无尘室设计了最初的设计方案。
在惠特菲尔德发明之前，早期的无尘室经常遇到颗粒和不可预测的气流的问题。
Whitfield设计的无尘室具有恒定的且经过严格过滤的气流来保持空间内的洁净。
硅谷的大部分集成电路制造设施由三家公司制造:MicroAire，PureAire和Key Plastics。
他们制造了层流装置，手套箱，洁净室和空气淋浴器，以及用于集成电路“湿法工艺”建造的化学罐和工作台。
这三家公司也是将特氟龙用于气枪，化学泵，洗涤器，水枪和其他集成电路生产所需设备的先驱。
William（Bill）C.McElroy Jr.曾担任三家公司的工程经理，制图室主管，QA/QC和设计师，他的设计为当时的技术增加了45项原始专利。
无尘洁净室基本常识
无尘洁净室基本常识一、无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
二、无尘洁净室的原理。
洁净室是利用HEPA、空气净化设备，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。
然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
三、无尘洁净室中的三尘。
无尘洁净室有三大原则：禁尘、带尘、产尘。
风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的最好净化设备之一，它可以最大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。
风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。
四，无尘洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。
按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。
当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
五.每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。
目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A 级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
无尘室介绍
脱下防尘服
口罩
离室 ▶离室时脱下并细致整理整顿防尘服及防尘靴
戴口罩 入室
内防静电手套
出入室流程
• 1、进入一次更衣室 • a）脱：进入人员须在一次更衣室入口脱去防静电鞋后进入。 • b）放：使用更衣柜，放置与生产无关、不必要等物品。 • 更衣柜内部的上层基本放衣服、手表、钱包等，下层放置防静电
鞋等。 • 2、进入二次更衣室 • a）穿戴洁净手套：根据岗位要求选择佩戴乳胶手套或PVC手套。 • b）佩戴口罩：须紧压铁丝，口罩与面部紧贴、固定。 • c）着装：尽可能不使洁净服着地，站立穿着洁净服，禁止不穿内
35
8
2370
1020
352
83
23700 10200
3520
832
29
237000 102000
35200
8320
293
352000
83200
2930
3520000
832000
29300
35200000 8320000
293000
空气洁净度等级计算公式
按国际标准ISO14644-1
Cn=10N×(0.1÷D)2.08
洁净度级别
1 10 100 1000 10000 100000
0.1 35.0 350
NA NA NA NA
0.2 7.50 75.0 750
NA NA NA
粒 径 (um)
0.3 3.00 30.0 300
NA NA NA
0.5 1.00 10.0 100 1000 10000 100000
5.0 NA NA NA 7.0 70.3 700
水平层流方式
洁净室分类
无尘室介绍报告模板范文
无尘室介绍报告模板范文1. 背景介绍无尘室，亦称洁净室，是一种专门用于控制空气污染、温度、湿度和气流速度等因素的封闭空间。
它主要用于各种对环境要求非常高的场所，如电子、制药、食品、医疗等行业。
在无尘室内，通过科学设计和合理布局，可以最大程度地减少微粒物质的产生和传播，从而保证产品的质量和可靠性。
2. 空气净化技术主要的空气净化技术包括过滤、静电除尘、化学吸附、紫外线杀菌等。
- 过滤：无尘室内采用高效过滤器，能有效拦截空气中的微尘颗粒和细菌等。
根据需要，过滤器可分为初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器三个级别，以提供不同的洁净度要求。
- 静电除尘：通过静电场作用，将空气中的带电微粒吸附在带电板上，从而达到除尘的目的。
- 化学吸附：利用吸附剂吸附空气中的有毒气体和异味物质，以净化空气。
- 紫外线杀菌：利用紫外线辐射杀灭空气中的微生物，防止细菌和病毒的传播。
采用一种或多种以上的净化技术，无尘室可以实现洁净度在空气细菌数目限度内的要求。
3. 工作原理无尘室主要通过以下措施实现对环境的控制：- 严格控制环境空气的进入和排出。
通常采用单向流的方法，即空气从无尘室的一侧流入，然后通过过滤器进行过滤，最后从另一侧排出。
这样可以有效避免外界污染物的进入和内部污染物的散播。
- 控制空气温度和湿度。
无尘室内通常采用空调系统和加湿器等设备，以确保空气温度和湿度在合适的范围内。
- 控制空气流速。
通过空气流速的调节，可以控制空气中微粒物质的传播和沉降速度，减少对产品的污染。
- 标准化操作。
无尘室内通常要求工作人员穿戴特定的洁净服，并进行相应的培训，以确保操作的标准化和规范化。
通过上述措施的综合应用，无尘室可以提供一个洁净、稳定的工作环境，确保产品的质量和可靠性。
4. 应用领域无尘室广泛应用于以下几个行业：电子行业无尘室在电子行业中的应用非常广泛。
在电子零件的生产和组装过程中，微小的尘埃颗粒可能会导致电子器件的短路或损坏，从而影响产品的质量和可靠性。
无尘室基础知识
医疗器械的制造过程中，无尘室有助于减少生产环境中的尘埃和微生物污染，提 高医疗器械的洁净度和安全性。
食品工业
食品包装
无尘室用于食品包装材料的生产，确保包装材料的洁净度和 卫生标准，从而保证食品的质量和安全性。
食品加工
某些食品加工过程需要在洁净的环境中进行，如饮料灌装、 糖果制作等，无尘室提供了一个符合卫生标准的加工环境。
回风系统
02
03
排风系统
回风系统将室内的空气排出，经 过过滤和净化后再送回无尘室内。
排风系统用于排除无尘室内的不 良气体和尘埃，保持室内空气的 洁净度。
洁净设备
洁净工作台
01
用于进行高精度、高洁净度要求的实验和生产。
洁净棚
02
一种较经济实惠的洁净空间，适用于一般洁净度要求的场所。
洁净隧道
03
一种高效、快速净化空间的设备，适用于大规模、高洁净度要
无尘室基础知识
目录
• 无尘室的定义与特性 • 无尘室的组成与功能 • 无尘室的洁净度与测试 • 无尘室的应用领域 • 无尘室的未来发展与挑战
01
无尘室的定义与特性
无尘室的定义
无尘室是一种特殊的环境，通过严格 控制室内空气的洁净度、温度、湿度 等参数，为生产、科研等提供了一个 高度洁净的工作环境。
其他领域
科学研究
在科学研究领域，无尘室广泛应用于 实验室、科研机构等，为科研人员提 供了一个洁净、恒温恒湿的环境，有 助于实验的准确性和可靠性。
光学仪器制造
光学仪器制造过程中，无尘室有助于 减少尘埃对光学表面的污染，提高光 学仪器的质量和性能。
05
无尘室的未来发展与挑 战
新型无尘室技术的研发
洁净室名词解释
洁净室名词解释
洁净室 (Clean Room) 是一种严格控制环境微生物和尘埃数量的室内空间。
通常用于高科技制造、制药、医疗和生物技术等领域，目的是确保产品或生产过程不会对周围环境产生污染。
洁净室的空气净化系统通常由高效过滤装置、换气系统和气流组织等部分组成。
空气净化系统的目的是过滤空气中的尘埃、微生物和其他微粒，并将净化后的空气排放到室内，以保持室内空气清新。
换气系统则是为了在室内产生足够的新风量，以维持室内正压，防止外部污染进入室内。
气流组织则是为了确保室内污染物的有效控制，通过气流调节系统将气流均匀分布在室内，防止气流短路和污染扩散。
洁净室的设计和建造需要考虑到许多因素，例如室内温度、湿度、照明、通风和噪音等。
洁净室的建筑材料和表面材料也需要经过精心挑选和特殊处理，以避免出现微生物和尘埃的积累。
此外，洁净室的维护和管理也非常重要，需要定期清洁、消毒和检查，以确保洁净室的空气净化效果和环境卫生。
洁净室广泛应用于高科技制造、制药、医疗和生物技术等领域，对于保证产品质量和生产过程的无菌化有着重要的作用。
无尘室等级,无尘室标准,无尘室等级标准是什么？
无尘室等级，无尘室标准，无尘室等级标准是什么？依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。
分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。
例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。
而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
无尘室等级，无尘室标准，无尘室标准定义一、无尘室定义将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。
此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。
无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo（BCR）。
二、联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格（U.S.Federalstandard209b），BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格（美国航空署5340.2规格）。
其Fed.std清洁度的表示法为：1ft3空气中，含有多少个0.5μm（micro）以上的微粒子，及称为[等级○○]。
例如：空气中含有10个0.5以下时，表示为“等级10”。
二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。
三、在JIS标准下，无尘室清洁度，共分为8个等级一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级1、2•••8，8阶段。
在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，一次类推。
21世界，最尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。
无尘室定义
无尘室定义
无尘室（Clean Room）是一种特殊设计的环境控制室，其内部空气经过严格的过滤和处理，以减少或消除悬浮在空气中的微细颗粒、细菌、灰尘和其他有害物质。
这种环境控制的目的是保持对特定产品、材料或工艺的高度洁净度要求。
无尘室通常用于需要高度纯净和无尘的行业，如半导体制造、生物医药、光电子、精密仪器等。
无尘室通常具备以下特点：
1. 空气过滤系统：无尘室的核心是高效的空气过滤系统，它可以过滤掉空气中的细微颗粒和微生物。
常见的过滤技术包括HEPA（高效颗粒空气过滤器）和ULPA（超高效颗粒空气过滤器）。
2. 空气流向控制：无尘室中的空气流向通常是单向的，从无尘室的高洁净区域流向低洁净区域，以防止外界污染物进入。
此外，还有一些特殊的装置和技术，如负压控制和气密门等，用于确保空气流向的正确性和防止污染物的进入。
3. 温湿度控制：无尘室通常需要对温度和湿度进行控制，以满足特定产品、材料或工艺的要求。
温度和湿度的控制可以通过空调系统、加湿器、除湿器等设备实现。
4. 静电控制：无尘室中的静电会影响到微小颗粒的运动和粘附，因此无尘室通常会采取一系列措施来控制和消除静电，如静电消除器、铺设导电地板、使用防静电材料等。
无尘室的设计和维护十分严谨，以确保高度纯净和无尘的工作环境。
这些控制措施不仅可以提高产品的质量和可靠性，还可以保护工作人员的健康和安全。
无尘室运作介绍
自然界之尘埃浓度
都市郊外 都市内 工业区内 吸烟区
尘埃（个/FT3）
0.5um以上
5um以上 10um以上
6,000,000
40,000 6,000
10,000,000
100,000 10,000
30,000,000
300,000 30,000
60,000,000
500,000 60,000
排出室外 • 维持室内温度、湿度和压力 • 防止静电的干扰 • 系统稳定与节约能源考量
C/R洁净设施
• 中央空调系统（AIR CORTROL SYSTEM）
• FFU（FAN FILTER UNIT） • FMU（FAN MODULE UNIT）
• 空气浴尘机（AIR SHOWER、PASS PAX） • 洗手烘干机（HAND WASHER DRYER MACHINE） • 缓冲区（BUFFER ROOM） • 黏着脚垫（STICKY MAT） • 高效滤网（High Efficienty Particulate Air） • 泄压阀（Pressure damper） • 真空吸尘器（VACUUM CLEANER） • 无尘衣服（DUST FREE GARMENTS）等等
ISO14644 1 2 3 4 5 6 7 8 9
FED STD209E
1 10 100 1000 10000 100000
M1.5 M2.5 M3.5 M4.5 M5.5 M6.5
洁净室的分类
• 层流模式 • 乱流模式 • 混合模式
层流型系统
• 空气气流之流动成 一均匀之直线
• 空气经由覆盖率 100% HEPA 进入室 内
休息 一下！
C/R检证验收项目
无尘室等级标准
无尘室等级标准无尘室是一种具有特殊环境要求的洁净室，其主要功能是在生产过程中防止灰尘、微生物等污染物进入生产环境，保证产品的质量和安全。
无尘室的等级标准是衡量其洁净程度的重要指标，不同的行业和应用领域对无尘室的等级标准也有所不同。
本文将对无尘室等级标准进行详细介绍，以便读者更好地了解无尘室等级标准的相关知识。
首先，无尘室的等级标准主要由ISO14644-1标准来规定。
ISO14644-1标准将无尘室的洁净程度分为不同的等级，分别为ISO1至ISO9。
其中，ISO1为洁净度最高的等级，ISO9为洁净度最低的等级。
每个等级都有其特定的洁净度要求，包括空气中颗粒物的数量、尺寸和浓度等指标。
其次，无尘室的等级标准还包括了对空气质量的要求。
无尘室内的空气质量直接影响着产品的生产和质量，因此对空气质量的要求也是无尘室等级标准的重要内容之一。
通常情况下，无尘室内的空气质量要求符合特定的空气洁净度等级，以确保产品的生产过程不受到空气污染的影响。
此外，无尘室的等级标准还包括了对无尘室设施和设备的要求。
无尘室设施和设备的设计、安装和维护对于保证无尘室的洁净度至关重要。
因此，无尘室等级标准中也包括了对无尘室设施和设备的要求，包括空气净化设备、过滤器、风淋室、洁净工作台等设施和设备的规范和标准。
最后，无尘室等级标准的执行和监测也是至关重要的。
无尘室等级标准的执行需要严格按照ISO14644-1标准来进行，包括洁净度测试、空气质量监测、设施和设备的维护等。
只有严格执行无尘室等级标准，才能保证无尘室的洁净度和空气质量符合要求，从而保证产品的质量和安全。
综上所述，无尘室等级标准是衡量无尘室洁净程度的重要指标，其包括了对洁净度、空气质量、设施和设备的要求，以及执行和监测的内容。
只有严格按照无尘室等级标准来进行设计、建设和运营，才能保证无尘室的洁净度和空气质量符合要求，从而保证产品的质量和安全。
希望本文对读者对无尘室等级标准有所帮助。
洁净车间是什么？洁净车间的洁净等级分为哪几类
一、洁净车间的概念洁净车间也叫无尘车间..洁净室(Clean.Room)..无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
二、洁净车间级别五个等级划分等级一、100级。
也称为“无菌室”、“无尘室”。
微生物最大允许数：5浮游菌/m;微粒控制在100以内/m。
等级二、1000级。
微生物最大允许数：1000浮游菌/m。
等级三、10000级。
微生物最大允许数：100浮游菌/m;车间里的微粒控制在10000/m以内。
等级四、100000级。
微生物最大允许数：500浮游菌/m;车间里每微粒控制在100000/m以内。
等级五、300000级。
微生物最大允许数：1000浮游菌/m;车间里的微粒控制在300000/m以内。
三、洁净车间级别五个等级排序净化车间分为若干等级，数值越小净化级别越高。
即：百级>千级>万级>十万级>三十万级。
最常见的净化车间是“十万级”的净化车间。
四、洁净车间的基本分类洁净厂房建筑方式可分为土建结构和装配式两种，其中普遍采用装配式。
装配式洁净厂房装配式洁净厂房系统主要由初，中，高三级空气过滤的空调送风回风和排风系统;动力及照明系统;工作环境参数的监测报警消防和通讯系统;人流和物流系统;工艺管路系统;维护结构及静电地面处理等各方面所要求的实施内容组成，形成空调净化系统工程所包含的整个设备和器材的配套和建筑安装内容。
安装与使用方面特点1.装配式洁净厂房的全部维修构件在工厂内按统一模数及系列加工完成，适于批量生产，质量稳定，供货迅速。
2.机动灵活，即适合在新建厂房配套安装，也适宜老厂房的净化技术改造。
维修结构也可随工艺要求任意组合，拆卸方便。
无尘室完整介绍 (Cleaning room)讲诉
Class
pcs/M3 pcs/M3 M1 0.1um-1 M10 0.1um-5 M100 0.1um-10 M1000 1 M10000 100 M100000 1000 M1000000 10000 M10000000 100000 ¡Ð ¡Ð ¡Ð ¡Ð
F空氣中浮游之微塵粒子有細小之纖維渣和砂粒，金屬粉及人體脫落之皮膚 表層，煙霧．．．等種類繁多，除此之外，尚有一部份微生物，細菌，濾過 性病毒等，如圖中所示．
一.無塵室概念篇 --無塵室的定義 --無塵室的規範 --無塵室的種類與維修管理注意事項 --無塵室的組裝架構與環境因素考量 --無塵室的氣流運動 --無塵室的空調設計 二.無塵室管理篇 --進入洗塵室 --進入無塵室 --無塵室內使用之物品 --無塵室內施工 三.無塵室的量測篇(測試與驗收) --濾網洩漏測試 --潔淨度測試 --風速,風量測試 --噪音測試 --溫溼度測試 --照度測試 --室壓測試 --EMI測試 --ESD測試 --氣流平行度測試 --靜電測試
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F若以大氣中0.5um之塵埃粒子而言，大約在1*105~2*106 個／ft3左右，隨場所．地點或高度不同會有差異
无尘室知识及规范
手段
粗、中效过滤加热湿交换
除空调手段外还要加高效、超高效过滤器 ，对微生物还要有灭菌措施
送风量（次/h）
初投资（元/m2）
运行耗电（Kw/m2 ）
冷量指标（W/m2 ）
一般降温空调8~10次/h一般恒温空调 10~15次/h
一般降温500元/m2一般恒温800元~1000 元/m2
九. 无尘室的性能测试
洁净度等级 项目
1~3
温度
循环监测
湿度
循环监测
压差值
循环监测
洁净度
循环监测
风量
循环监测
4、5、6
7
8、9
每班二次
每班二次
每周一次
每月一次
每周一次
每3个月一次
每6个月一次
不得超过12个月
九. 无尘室的性能测试
无尘室性能测试的主要仪器和仪表：
压差计
①风压测试仪器：主要用于测 定无尘室之间或洁净与非洁净 区之间的微压差，也可利用压 差法测量风速，计算风量。
一般降温0.04~0.06 Kw/m2一般恒温 0.08~0.10 Kw/m2
一般降温150~200 W/m2一般恒温200~250 W/m2
单向流400~600次/h非单向流15~60次/h
单向流5000~15000元/m2非单向流 1500~3000元/m2 单向流0.9~1.35 Kw/m2非单向流0.13~0.33 Kw/m2 单向流800~1500 W/m2非单向流350~700 W/m2
施工验收规范JGJ71和设计规范GB50073的比较
内容
测定断面的 选取
测点的布置 最少测点数 测定仪器
洁净无尘室之定义标准和设备要求
洁净无尘室之定义标准和设备要求公司标准化编码 [QQX96QT-XQQB89Q8-NQQJ6Q8-MQM9N]洁净无尘室之定义(一)洁净室之定义（供大家参考）洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、、、M3…..依此行推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=(m之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以、、….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以(m微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目 1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
无尘室洁净室介绍
式中： β=40
关于静压
对于大部分洁净室，为了防止外界污染侵入，需保持室内 压力（静压）高于外部的压力（静压），压力差的维持一 般应符合以下原则： 1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。 2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别 低的空间的压力。
《洁净厂房设计规范》中规定：生产工艺无温、湿度要求时，洁 净室温度为20~26℃，湿度为70%
关于噪声
洁净室内的噪声级，应符合下列要求： 一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过70分贝。 二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝；层流洁净室的噪声级不应大于 65分贝。
◎ 20dB >> 寂静、树叶声、耳语声 >>讲电话非常清楚 >>高标准环境 ◎ 30dB >> 安静的小树林、小河边 >> 讲电话非常清楚 >> 优良环境 ◎ 40dB >> VIP室,会议室,教堂,安静的小区>> 讲电话良好 >> 满意环境 ◎ 50dB >> 一般的办公室 >> 讲电话可以接受 >> 不太满意的环境 ◎ 60dB >> 打字室,一般生产区域 >> 计算能力下降 >> 讲电话比较困难 ◎ 70dB >> 大声讲话 >> 血管收缩,注意力降低 ◎ 80dB >> 繁忙的道路 >> 几乎难以讲电话 ◎ 90dB >> 高速行驶之巴士 >> 错误大大增加,反映变得有些迟缓 ◎ 100dB >>繁忙高架桥下 >> 很难受 ◎ 110dB >> 防空警报声 ◎ 120dB >> 修马路 ◎ 130dB >> 喷射飞机起飞 >> 耳朵会痛 ◎ 140dB >>距喷射引擎 25cm >> 耳膜会破
万级无尘室标准
万级无尘室标准无尘室是一种具有特殊环境要求的洁净室，通常用于对空气洁净度要求较高的生产和实验场所。
万级无尘室是指其空气洁净度达到万级标准的无尘室，是一种非常重要的洁净环境设施。
本文将就万级无尘室的标准进行详细介绍，以便相关从业人员了解其要求和规范。
首先，万级无尘室的空气洁净度要求达到万级标准，即每立方米空气中的颗粒物数量不得超过10000个。
这一要求是为了保证在无尘室内的生产和实验过程中，空气中的颗粒物对产品或实验结果不会产生影响。
为了达到这一标准，无尘室需要配备高效过滤器和空气净化设备，确保空气中的颗粒物得到有效控制。
其次，万级无尘室的温度和湿度控制也是非常重要的标准之一。
通常情况下，无尘室内的温度要求在20-24摄氏度之间，湿度要求在45%-65%之间。
这样的温湿度条件有利于保持无尘室内空气的稳定性，避免因温度和湿度变化而引起的颗粒物扩散和沉积。
此外，无尘室的洁净度要求还包括空气流速、静压差、洁净室内部装修材料等方面的规定。
空气流速要求是指无尘室内空气的流动速度，通常要求在0.3-0.5m/s之间，以确保空气中的颗粒物能够被有效带走。
静压差是指无尘室内外的气压差异，要求在5-15Pa之间，以防止外部空气中的颗粒物进入无尘室。
此外，无尘室内部装修材料也要求具有抗静电、易清洁、不产生颗粒物等特性，以保证无尘室内的洁净度符合标准要求。
最后，万级无尘室的运行和维护也是保证其洁净度标准的重要环节。
无尘室的运行需要有专门的操作规程和管理制度，确保人员在进入无尘室前进行必要的净化和防护，避免外部空气中的颗粒物进入无尘室。
同时，对无尘室的设备和设施需要进行定期的维护和保养，以确保其正常运行和洁净度标准的持续达标。
综上所述，万级无尘室标准是对无尘室空气洁净度、温湿度控制、空气流速、静压差、装修材料等方面的要求和规范。
只有严格按照标准要求建设和管理无尘室，才能保证其在生产和实验过程中达到预期的洁净环境效果，为相关行业的发展和进步提供有力的保障。
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无尘室/洁净室详细介绍
无尘室/洁净室就是就是车间经过空气净化后所形成的一个无灰尘的生产环境，等级可分为ISO 1- ISO 9级。
无尘室/洁净室主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。
它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
一、气流流型的设计，应符合下列要求:
1 气流流型应满足空气洁净度等级的要求。
空气洁净度等级要求为 1～4 级时，应采用垂直单向流；空气洁净度要求为 5 级时，应采用垂直单向流或水平单向
流。
2 空气洁净度要求为 6～9 级时，宜采用非单向流。
3 洁净室工作区的气流分布应均匀。
4 洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺要求。
5 洁净室的送风量，应取下列三项中的最大值:
1) 为保证空气洁净度等级的送风量。
2) 根据热、湿负荷计算确定的送风量。
3) 向洁净室内供给的新鲜空气量。
（一）单向流无尘室/洁净室（1-5级）
1-5级的洁净室，均采用单向流的气流组织送风方式，即洁净室内的气流在同一截面的任意一点，气流的方向和速度均保持一致，这样可以使清洁空气象“活塞”一样，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
要实现“活塞”的效果，高效过滤器需要布满率在80%以上，才可实现单向流的气流组织方式。
（二）非单向流无尘室/洁净室（6-9万级）
6-9级无尘室/洁净室的气流组织方向和5级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动的，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。
不同的净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现的。
（三）无尘室/洁净室基本工作原理：
1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、
刚性强。
圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造
2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防
静电型。
3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果良好的阻燃型胶塑保温棉。
4.高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，
宜清洁
5。
净化参数
A换气次数：为保证空气洁净度等级的送风量，按表 6.3.3 中有关数据进行计
算或按室内发尘量进行计算。
B洁净室温度20-26℃，相对湿度45－65％；GMP粉剂车间湿度在50％左右为宜；
电子车间湿度略高以免产生静电。
C洁净室的噪声≤65dB（A）；
D洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:
1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。
2 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于 40m3/h。
E洁净室的照明配电照度一般采用350LX
F净化原理
气流→粗效过滤→中效过滤→风机送风→管道→高效过滤→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→粗效过滤重复以上过程，即可达到净化目的。