硅片碱液清洗机技术方案

硅片碱液清洗设备技术方案书

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原料加工部：综合计划部：安环部：

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质量检验部：人事行政部：财务部：

批准日期年月日呼和浩特市欧通能源科技有限公司

目录

一、系统要求： (3)

二、清洗原理 (3)

三、设备结构组成 (3)

四、流程总述 (4)

五、清洗工艺流程 (4)

六、设备主要技术参数 (5)

1、热水压力喷淋清洗工位 (5)

2、碱液刷洗工位 (5)

3、压力喷淋漂洗工位 (5)

4、吸水辊吸水工位 (6)

5、风刀切液工位 (6)

七、系统描述 (6)

1、上、下料装置 (6)

2、热水压力喷淋清洗工位、压力喷淋漂洗工位 (6)

3、碱液刷洗工位 (7)

4、吸水辊吸水工位 (7)

5、风刀切液工位 (7)

八、安全防护 (7)

九、清洁要求 (7)

十、整机参数： (7)

十一、设备配送技术资料： (7)

十二、售后服务： (8)

一、系统要求：

a)清洗对象：硅片；

b)线速度：0-4米/分；

c)清洗介质：自来水、碱性硅片清洗剂；

d)产量：2吨/8小时

二、清洗原理

采用托辊双动力输送，上压辊利用机械高速辊刷法加碱性清洗剂将硅片上下表面的油墨及杂质去除，然后利用高压水喷洗硅片表面，将硅片表面残留的杂质及碱性清洗剂冲洗干净。

三、设备结构组成

该设备至少由上料工位、热水压力喷淋清洗工位、碱液刷洗工位、压力喷淋漂洗工位、吸水辊吸水工位、风刀切液工位、下料工位、加热温控系统、托辊输送系统、压辊定位系统、储液槽、无纺布过滤系统、机体框架及电气控制系统等组成。示意图如下：

四、流程总述

首先人工将硅片摆在上料工位，由托辊输送系统将硅片输送至设备内部，在托辊和定位辊的输送下依次进入热水压力喷淋清洗工位、碱液刷洗工位、压力喷淋漂洗工位，硅片漂洗完成后通过吸水辊工位将硅片表面大部分的水分吸走，然后由托辊输入风刀切液工位，风刀切液工位将硅片表面残留的水气吹干，最后由托辊输送至下料工位的滑板上，硅片自动掉入下一工序的上料位。至此完成一个完整的清洗烘干流程。

五、清洗工艺流程

上料工位→热水压力喷淋清洗工位→碱液刷洗工位→压力喷淋漂洗工位→吸水辊吸水工位→风刀切液工位→下料工位

序号工序有效尺寸约清洗方式温度控制清洗介质传送方式

1 上料工位L500×W600mm ---- ---- ---- 人工上料

2 热水压力喷

淋清洗工位

L420×W600mm 高压喷淋40-50℃自来水托辊传输

3 碱液刷洗工

位

L1400×

W600mm

毛刷刷洗40-50℃

市水+碱性

清洗剂

托辊传输

4 压力喷淋漂

洗工位

L420×W600mm 高压喷淋常温市水托辊传输

5 吸水辊吸水

工位

L350×W600mm ---- ---- ---- 托辊传输

6 风刀切液工

位

L500×W600mm ---- ---- ---- 托辊传输

7 下料工位L200×W600mm ---- ---- ---- 滑板下料

六、设备主要技术参数

1、热水压力喷淋清洗工位

有效尺寸约L420mm×W600mm；

材质采用非金属材料，如PVC材质，厚度10mm；

结构形式上下各设三道喷淋装置；

配储液槽一个，喷淋泵一台，喷淋泵功率1.5KW，储液槽上方配无纺布用于拦截杂质；

工件通过的上方设压辊定位系统；

温度控制储液槽内置加热管，加热功率约6KW，加热温度约50℃左右；

液体流向储液槽中的市水由循环泵分别注入三道喷淋装置，喷淋后的水溶液经过无纺布过滤后流回储液槽；

2、碱液刷洗工位

有效尺寸约L1400mm×W600mm；

材质槽体采用非金属材料，如PVC材质，厚度10mm；

结构形式设上下两道刷洗装置，共4组刷辊，每组刷辊电机功率1.5KW；

配储液槽一个，循环泵一台，循环泵功率1.5KW，储液槽上方配无纺布用于拦截杂质；

工件通过上方设压辊定位系统；

温度控制储液槽内设加热管，加热功率约6KW，加热温度40-50℃；

液体流向储液槽中的清洗液经循环泵抽取进入碱液刷洗工位，碱液刷洗工位中的液体经无纺布过滤后流回储液槽；

3、压力喷淋漂洗工位

有效尺寸约L420mm×W600mm；

材质采用非金属材料，如PVC材质，厚度10mm；

结构形式上下各设三道喷淋装置；

配储液槽一个，喷淋泵一台，喷淋泵功率 1.5KW，储液槽上方配无纺布用于拦截杂质；

工件通过的上方设压辊定位系统；

液体流向自来水直接注入第三道喷淋装置，经第三道喷淋后的水溶液经无纺布过滤后直接流进储液槽，储液槽中的水溶液由循环泵抽取后分别注入第一道和第二道喷淋装置，第一道和第二道喷淋后的水溶液由无纺布过滤后流回储液槽；储液槽中多余的水溶液通过溢流口直接排进废液管道。

4、吸水辊吸水工位

有效尺寸约L350×W600mm；

材质采用非金属材料，如PVC材质，厚度10mm；

结构形式共设三道吸水辊；

5、风刀切液工位

有效尺寸约L500×W600mm；

材质采用非金属材料，如PVC材质，厚度10mm；

结构形式封闭风刀室，高压风刀切液工位，上下风刀吹水，槽内设导风板，底部设集水盘，收集切下的清洗液；

风机配风机1台，风机功率4KW；

七、系统描述

1、上、下料装置

上料和下料均采用双动力传输辊，传动电机功率0.75KW。下料端设计为带有一定坡度的滑板，以保证硅片能够自动滑落至下一工序。

2、热水压力喷淋清洗工位、压力喷淋漂洗工位