洁净度等级的划分标准及比较
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洁净度等级标准
洁净度等级标准ISO 14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准)
空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996(中国标准)
美国联邦标准 209D 洁净室分级:(已停用)
英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级:
各种国际标准的比较:
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