纯水处理系统流程与施工要点说明

1.2.原水水质指标、纯水水质标准
常规原水水质监测指标
序号 1 2 3 4 5 6 7 名称 温度 色度 浊度 硬度 碱度 电导率 PH值 单位 摄氏度 度 度 毫克/升 毫克/升 微西门子/厘米 序号 8 9 10 11 12 13 14 名称 重碳酸根 氯离子 硫酸根 钙离子 镁离子 总铁 总有机碳 单位 毫克/升 毫克/升 毫克/升 毫克/升 毫克/升 毫克/升 毫克/升
L
指标值 0.5～0.25 18.2 0.03 2 1 0.5
1000 500 50 500 300 50 20 4 1 1 0.5 0.1 0.02 0.02
L
100mL样品 1L样品 μg/L μg/L μg/L μg/L
项目 铵 溴化物 氯化物 氟化物 硝酸盐 亚硝酸盐 磷酸盐 铝 钡 硼 铬 铜 铁 铅 锂 镁 锰 镍 钠 锶 钾 硫酸盐
美国计量测试学会纯水水质标准（ASTMD5127-99）
指标项目 线宽 电阻率 内毒素 总有机碳 溶解氧 蒸发残余物 显微镜测微粒 0.1～0.2 0.2～0.5 0.5～0.1 在线测微粒 0.05～0.1 0.1～0.2 0.2～0.3 0.3～0.5 >0.5
细菌 总硅 溶硅 钙 锌
单位 μm 25℃ EU/Ml μg/L μg/L μg/L
液晶显示器件（TFT-LCD）项目超纯水水质指标
指标项目 电阻率 微粒数 细菌个数 总有机碳 溶解氧 单位 MΩ.cm@25℃ 个/ml （>1μm） 个/100ml μg/L μg/L 指标值 18 10 5 30 50
总硅 Na/K Cu Fe/Zn Cl
μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L
阳床填充树脂去除水中阳离子
阴床填充树脂去除水中阴离子
热交换器调节系统水温，确保 反应效果
紫外杀菌器254nm紫外线 用来 降低进水的有机物 。 保安过滤器用来除去水中的微粒 及前面过滤器中未处理掉的杂质 从而保护RO 膜不受杂质的破坏。 保安过滤器能够连续有效地去除 大于5、10 微米的杂质。
电渗析在直流电作用下离子从 EDI 进水中被分离出来，通过 EDI 中满载的树脂可以使低电导 率水中的离子迅速迁移，以达到 对微量离子的去除。
1.5 各个单元处理功能
砂滤器内填充多层过滤介质： 大颗粒砂石、粗砂、细砂、无 烟煤。多介质过滤器能有效地 去除原水中的悬浮物、各种大 小的颗粒物，降低浊度，提高 原水的透明度，理论上可使水 中大的悬浮物含量降到40μm。 碳滤器内填充活性炭，该装置 能有效地去除水中的游离氯、 有机物、气味和砂滤产水中的 悬浮物。 脱碳酸塔去除水中的二氧化碳。
纯水处理系统流程及施工要点
报告人：田宇鸣 2011.02.14
主要内容
工艺流程简介
◆概念
◆原水水质指标、纯Байду номын сангаас水质标准 ◆工艺原理 ◆典型工艺流程 ◆各个处理单元功能 ◆发展趋势
施工要点
◆设备部分 ◆管道部分 ◆电气部分
1.1. 概念
20世纪70年代以来，美国科技界为了研制超纯材料（半导 体元件材料、纳米精细陶瓷材料等），最早提出并制备了纯水。 纯水可定义为：运用过滤、脱碳除盐、离子交换、紫外线 杀菌、超滤等技术，去除自然水体中的悬浮物、溶解物、细菌 等杂质后制备的水，其特点是除水分子外，其他物质的含量为 ppm级或ppb级。 随着电子业、生物制药业的不断发展，纯水的应用领域越 来越广泛。
单位 μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L
指标值 0.1 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.05
国标GB/T11446.1-1997，EW-Ⅱ标准 国标GB/T11446.1-1997，EW-Ⅰ标准
目级 别
EWⅠ EWⅡ
>1μ 比电阻 总有 m 微 细菌 MΩ.cm@2 粒数 个数 硝酸 磷酸 硫酸 机碳 ≤ 5℃ 硅≤ <个 <个 铜≤ 锌≤ 镍≤ 钠≤ 钾≤ 氧≤ 根≤ 根≤ 根≤ μg/L /ml /ml μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L μg/L 18（95%的 0.00 2 0.1 0.2 0.2 0.1 0.5 0.5 1 1 1 1 20 时间不低 1 于17） 15（95%的 5 0.1 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100 时间不低 10 于13）
5 0.5 0.5 1 1
1.3 工艺原理 物理反应：过滤、超滤 化学反应：吸附、电渗析、反渗透、离 子交换
1.4 典型工艺流程
系统组成
预处理系统(Pre-treatment System)： 砂滤、碳滤、阳床、阴床、脱碳酸塔、热交换器 制程系统(Make-up System)： 紫外线杀菌、保安过滤器、一级反渗透系统、二级反渗透、混床（电渗析系统） 抛光系统(Polishing System)： 热交换器、紫外线杀菌、抛光混床、超滤、膜脱气 循环系统(Distribution System) ： 加药系统(Chemical System)： HCl、NaOH、NaClO、PAC 反洗、再生、清洗系统(Backwash, Regeneration, Clean System) 回收系统(Reclaim System)： 回收预处理系统，回收制程系统
一级、二级反渗透系统反渗透分 离技术是通过膜组件的半渗透性 去除水中的溶解性杂质。半渗透 膜允许水通过，但是会阻止溶解 盐类、无机分子及分子量大于 100 的有机分子通过。 混床填充树脂去除水中阴、阳 离子
热交换器调节系统水温，确保 反应效果
紫外杀菌紫外杀菌器能产生 185nm 的紫外线，该紫外线会 彻底破坏微生物的DNA 以致微 生物无法进行新陈代谢和繁殖。 膜脱气膜分离技术去除水中 溶解性气体