中微公司：2020年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单(截止至授予日)
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中微半导体设备（上海）股份有限公司
2020年限制性股票激励计划激励对象名单
（截止至授予日）
注：1.预留部分激励对象名单将在2020年限制性股票激励计划经公司股东大会审议通过后一年内确定。
2.上表中部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上如有差异，是由于四舍五入所造成。
二、董事会认为需要激励的其他人员情况
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2020年6月30日