微电子工业用湿化学品的生产和发展
中国湿电子化学品行业发展概况及市场需求分析
中国湿电子化学品行业发展概况及市场需求分析一、湿电子化学品种类多，辅助功能强，技术差异大湿电子化学品是指电子工业使用的专用化学品和化工材料，其主体成分纯度大于99.99%，杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂。
按用途分类，主要分为通用性超净高纯试剂与功能性材料，其中通用湿电子化学品是指在集成电路、液晶显示器、太阳能电池、LED制造工艺中被大量使用的液体化学品，主要包括过氧化氢、氢氟酸、硫酸、磷酸、盐酸、硝酸、氢氧化铵等；功能湿电子化学品是指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的配方类或复配类化学品，主要包括显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液等。
以上可以看出：电子化学品具有品种多、质量要求高、用量小、对环境洁净度要求苛刻、产品更新换代快、资金投入量大、产品附加值较高等特点，这些特点随着微细加工技术的发展越来愈明显。
《2020-2026年中国湿电子化学品行业市场需求潜力及未来前景规划报告》数据显示：从产品结构来看，超净高纯试剂需求量占比达88%，功能性材料占比达12%。
其中，超净高纯试剂中，占比较大的依次是，双氧水19%、电子硫酸18%、氢氟酸18%、硝酸16%以及磷酸10%；功能性材料中，占比较大的依次是极性溶液27%、半导体用显影液23%、半导体刻蚀液19%、面板用显影液13%、半导体剥离液10%以及缓冲刻蚀液8%。
超净高纯化学试剂制约半导体等微电子微细加工技术发展的瓶颈。
以半导体生产为例，大规模集成电路在其生产过程中有几十道工序，工艺制造过程中的空气、水、各种气体、化学试剂、工作环境、电磁环境噪声以及微振动、操作人员、使用的工具、器具等各种因素都可能带来污染物，污染物数量超过一定限度时，就会使集成电路产品发生表面擦伤、图形断线、短路、针孔、剥离等现象。
这会导致漏电、电特性异常等情况，轻者影响电路使用寿命，严重时可导致电路报废。
而这些污染物都需要相关的超净高纯试剂去除。
集成电路集成度越高，对高纯试剂颗粒控制的要求越严格。
微电子化学品的应用和发展趋势
微电子化学品的应用和发展趋势摘要：文章阐述了微电子技术及其化学品的国内外现状、发展趋势,同时对目前微电子化学品的国际标准进行了详细的描述和分析。
关键词：微电子技术;集成电路;电子化学品;微电子技术是电子微细加工技术,主要指用于半导体器件和集成电路(简称IC)加工制作的一系列蚀刻及处理技术。
其中IC(特别是超大规模的IC)制造技术又是它的核心,是电子信息产业最重要的基础。
其发展速度之快,是其他任何行业都无法比拟的,据预测,大致每3年就有新的一代IC产品问世。
微电子化学品是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键基础化工材料之一,主要品种有潮电子化学品、光酸，光刻胶等几大类。
主要用于芯片的清洗和腐蚀,它的清洁度和纯度对IC产品的成品率、电性能及可靠性等都有着十分重要的影响,微电子化学品在制造现代微型芯片的过程中起着日益重要的作用,它基于微电子技术的发展而产生,同时又制约着微电子技术的发展。
所以,它的研究及开发必须与微电子技术的发展及应用需求相结合才具有现实意义。
1微电子技术未来发展的突破口纵观21世纪微电子技术发展的整个历程, 一共有延续、扩展、跨越摩尔定律三个历程, 第一, 延续摩尔定律:就是指继续对CMOS器件的结构进行改进, 缩小其尺寸范围, 使其集成度增加。
第二, 扩展摩尔定律:其所追求的不仅是其尺寸的缩小, 能要实现功能的多样化。
1.1器件特征尺寸继续缩小器件的尺寸缩小了其集成度就会增加, 所以会使得该产品性能增加, 这是微电子发展的必然趋势。
不过尺寸的缩小也会带来一系列的技术方面挑战和其他的困难。
1.2新材料的应用我国目前用于制造晶体管的主要材料是硅, 如果器件的尺寸要想不断的缩小, 就需要不断突破材料在物理性能方面的限制, 因此就需要探索新型的材料。
从下图中可以分析得知在未来用于制作芯片的材料将会变成金属材料而不再是硅材料。
同时, 在未来“高K珊介质”取代使用了二十多年的氧化硅作为材料已经成为必然的发展趋势, 因为这种材料比起硅材料有一个明显的优点, 就是可以避免硅材料使用过程中漏电的毛病。
2024年湿电子化学品市场调研报告
2024年湿电子化学品市场调研报告1. 引言1.1 背景湿电子化学品是一种广泛应用于电子工业以及其他高科技领域的化学品。
其特点是在湿润环境下使用，能够提供优异的电子性能和稳定性。
近年来，随着电子产业的快速发展，湿电子化学品市场也得到了极大的推动和发展。
1.2 目的本报告旨在对湿电子化学品市场进行全面调研，分析其市场规模、发展趋势、竞争格局以及面临的挑战，为相关企业和投资者提供市场参考。
2. 方法本调研报告主要基于市场调查和大量的次生资料分析。
通过收集与湿电子化学品市场相关的数据、统计报告及行业分析，结合市场专家观点和企业访谈，得出本报告的结论和分析结果。
3. 市场概述3.1 市场定义湿电子化学品市场指的是供应湿电子化学品的生产商和供应商所组成的市场。
这些化学品通常包括湿敏胶黏剂、湿敏阻焊膜、湿敏材料等。
3.2 市场规模根据调研数据显示，湿电子化学品市场在过去五年中保持一个稳定的增长率，在2019年达到了X亿美元。
预计在未来五年内，湿电子化学品市场将保持稳定增长，预计到2024年将达到XX亿美元。
3.3 市场动态•技术创新：湿电子化学品行业一直处在技术革新的前沿，新的产品和技术不断涌现，为市场增长注入了新动力。
•增长驱动因素：电子产业的不断扩张、电子设备的普及以及半导体制造业的发展等因素推动了湿电子化学品市场的增长。
•竞争格局：湿电子化学品市场竞争激烈，目前市场上主要有几家大型的全球性供应商占据主导地位。
4. 市场分析4.1 市场细分湿电子化学品市场可以根据产品类型和应用领域进行细分。
根据产品类型，市场主要可以分为湿敏胶黏剂、湿敏阻焊膜、湿敏材料等。
根据应用领域，市场可分为电子制造业、半导体制造业、光电子工业等。
4.2 市场竞争格局目前湿电子化学品市场竞争激烈，主要的竞争者包括公司A、公司B和公司C等。
这些公司凭借其规模优势、技术实力以及广泛的客户群体，占据着市场的主导地位。
4.3 市场趋势•绿色环保：随着环保意识的提高，市场对绿色、环保型的湿电子化学品的需求将不断增加。
湿电子化学品项目实施方案
湿电子化学品项目实施方案规划设计/投资方案/产业运营湿电子化学品项目实施方案湿电子化学品是电子工业中的关键性基础化工材料，也是重要支撑材料之一，其质量的好坏，直接影响到电子产品的成品率、电性能及可靠性，也对微电子制造技术的产业化有重大影响。
该湿电子化学品项目计划总投资9389.04万元，其中：固定资产投资6792.98万元，占项目总投资的72.35%；流动资金2596.06万元，占项目总投资的27.65%。
达产年营业收入22116.00万元，总成本费用16841.02万元，税金及附加182.40万元，利润总额5274.98万元，利税总额6184.96万元，税后净利润3956.23万元，达产年纳税总额2228.72万元；达产年投资利润率56.18%，投资利税率65.87%，投资回报率42.14%，全部投资回收期3.87年，提供就业职位362个。
报告针对项目的特点，分析投资项目能源消费情况，计算能源消费量并提出节能措施；分析项目的环境污染、安全卫生情况，提出建设与运营过程中拟采取的环境保护和安全防护措施。
......湿电子化学品项目实施方案目录第一章申报单位及项目概况一、项目申报单位概况二、项目概况第二章发展规划、产业政策和行业准入分析一、发展规划分析二、产业政策分析三、行业准入分析第三章资源开发及综合利用分析一、资源开发方案。
二、资源利用方案三、资源节约措施第四章节能方案分析一、用能标准和节能规范。
二、能耗状况和能耗指标分析三、节能措施和节能效果分析第五章建设用地、征地拆迁及移民安置分析一、项目选址及用地方案二、土地利用合理性分析三、征地拆迁和移民安置规划方案第六章环境和生态影响分析一、环境和生态现状二、生态环境影响分析三、生态环境保护措施四、地质灾害影响分析五、特殊环境影响第七章经济影响分析一、经济费用效益或费用效果分析二、行业影响分析三、区域经济影响分析四、宏观经济影响分析第八章社会影响分析一、社会影响效果分析二、社会适应性分析三、社会风险及对策分析附表1：主要经济指标一览表附表2：土建工程投资一览表附表3：节能分析一览表附表4：项目建设进度一览表附表5：人力资源配置一览表附表6：固定资产投资估算表附表7：流动资金投资估算表附表8：总投资构成估算表附表9：营业收入税金及附加和增值税估算表附表10：折旧及摊销一览表附表11：总成本费用估算一览表附表12：利润及利润分配表附表13：盈利能力分析一览表第一章申报单位及项目概况一、项目申报单位概况（一）项目单位名称xxx科技公司（二）法定代表人覃xx（三）项目单位简介公司是一家集研发、生产、销售为一体的高新技术企业，专注于产品，致力于产品的设计与开发，各种生产流水线工艺的自动化智能化改造，为客户设计开发各种产品生产线。
电子化学品系列报告之湿电子化学品
电子化学品系列报告之湿电子化学品湿电子化学品是指在潮湿环境下使用的化学产品。
由于潮湿环境会影响化学品的性能和稳定性，湿电子化学品需要具备特殊的配方和包装，以确保其在潮湿环境下的有效性和安全性。
湿电子化学品广泛应用于许多领域，包括电子制造、半导体工业、光学设备、食品包装、医药和化妆品等行业。
在这些领域中，潮湿环境常常无法避免，因此湿电子化学品的需求十分迫切。
湿电子化学品在电子制造和半导体工业中扮演着重要的角色。
例如，湿化学药剂在半导体制造过程中用于清洗和去除工件表面的污染物和杂质。
这些湿电子化学品能够通过化学反应或物理作用与污染物结合，并将其从工件表面彻底清除，以确保产品的质量和性能。
在光学设备和食品包装行业中，湿电子化学品的应用主要集中在防潮剂和干燥剂上。
防潮剂能够吸收潮湿空气中的水分，防止湿气对光学设备和食品包装材料的损害。
干燥剂则能够吸收已经进入器件或包装内的水分，保持器件和包装的干燥状态，并防止湿气对产品的性能和质量造成影响。
在医药和化妆品行业中，湿电子化学品主要应用于药品的保鲜和稳定性改善。
在制药过程中，药品经常需要与一定量的湿气接触，以便更好地溶解或释放药物。
然而，湿气也可能导致药品的降解和损失。
因此，湿电子化学品可用于调节湿气的含量和质量，以确保药品的稳定性和长久的有效性。
总结而言，湿电子化学品是为潮湿环境下使用而设计的化学产品。
它们在许多行业中扮演着重要角色，通过吸收湿气、清洗污染物和提高产品稳定性等方式，确保产品在潮湿环境下的性能和质量。
未来，随着科技的不断发展，湿电子化学品的需求将会更加广泛，其配方和包装技术也将不断创新和改进，以满足不同行业和应用的需求。
湿电子化学品行业市场调研与发展趋势分析报告
湿电子化学品行业市场调研与发展趋势分析报告一、市场调研：1.市场规模：湿电子化学品市场规模呈持续增长趋势。
随着电子产品制造业的快速发展，对湿电子化学品的需求也在不断增加。
据统计，全球湿电子化学品市场规模预计在未来几年内将保持10%左右的年复合增长率。
2.市场细分：湿电子化学品市场主要可以分为清洗剂、刻蚀剂、脱脂剂等几大类别。
其中，清洗剂是最主要的产品，占据市场份额的一半以上。
3.地区分布：目前，亚太地区是湿电子化学品市场规模最大的地区，主要由于该地区的电子制造业相对发达。
欧洲和北美地区也是湿电子化学品市场的重要消费地区。
二、发展趋势分析：1.环保趋势：随着环保意识的增强，对环保型湿电子化学品的需求正在逐渐增加。
传统的湿电子化学品在使用过程中可能产生废水和废气等污染物，而环保型湿电子化学品具有更低的环境影响，因此更受市场欢迎。
2.高效性趋势：制造业对湿电子化学品的要求越来越高效。
市场上出现了一系列具有高效清洗能力的湿电子化学品，以满足制造业对产品质量和生产效率的要求。
3.自动化趋势：随着工业自动化程度的提高，对自动化湿电子化学品的需求也在逐渐增加。
自动化湿电子化学品可以实现自动供应、自动混合和自动清洗等功能，有效提高生产效率。
4.新材料趋势：随着电子产品的不断进步，对湿电子化学品的材料也提出了更高的要求。
一些新型材料如金属有机框架材料、石墨烯等被应用于湿电子化学品中，使产品的性能得到了进一步提升。
综上所述，湿电子化学品行业市场规模正在不断增长，并且呈现出环保、高效、自动化和新材料等发展趋势。
随着电子制造业的持续发展，湿电子化学品行业有望继续保持快速增长，并且在技术和产品创新方面取得更大突破。
2024年显示面板湿电子化学品市场环境分析
2024年显示面板湿电子化学品市场环境分析在全球电子消费品市场高速发展的背景下，显示面板湿电子化学品作为关键材料和技术之一，呈现着强大的增长势头。
本文将对显示面板湿电子化学品市场环境进行分析。
1. 市场概述显示面板湿电子化学品是一种关键的材料，广泛应用于液晶显示器（LCD）和有机发光二极管（OLED）等产品的制造过程中。
这些化学品包括液晶材料、有机发光材料、包封材料等。
随着消费电子市场的扩大，显示面板湿电子化学品市场也不断壮大。
根据市场研究公司的数据，预计显示面板湿电子化学品市场规模将在未来几年保持稳定的增长。
2. 市场驱动因素显示面板湿电子化学品市场的增长受到多个因素的驱动。
2.1 技术进步随着技术的不断进步，显示面板湿电子化学品的性能得到了显著提升，包括色彩鲜艳度、能耗降低、响应速度提升等。
这些技术进步推动了显示面板湿电子化学品市场的发展，提高了产品的竞争力。
2.2 日益增长的消费电子市场消费电子市场的快速增长是显示面板湿电子化学品市场的重要动力。
随着人们对高品质显示器的需求不断增加，显示面板湿电子化学品的需求也在增加。
尤其是智能手机、平板电脑和电视等产品的普及，进一步推动了显示面板湿电子化学品市场的发展。
2.3 政府政策支持一些国家和地区的政府对电子消费品产业给予了政策支持，鼓励本土企业开发和生产显示面板湿电子化学品。
这些政策支持促进了市场的增长，并推动了创新和技术进步。
3. 市场挑战显示面板湿电子化学品市场也面临一些挑战。
3.1 竞争激烈当前，显示面板湿电子化学品市场竞争激烈，存在着较多的供应商和产品。
这导致市场价格下降、毛利率下滑等问题。
在这种激烈的竞争环境下，企业需要不断提升产品质量和技术创新，以保持竞争优势。
3.2 环境和安全问题显示面板湿电子化学品的生产和使用过程中存在一些环境和安全问题。
例如，废弃物处理、有害物质排放等。
这些问题需要企业采取一系列环保和安全措施，以符合相关法规和标准。
中国湿电子化学品行业发展现状、市场竞争格局、市场供求状况及影响行业发展的主要因素分析
中国湿电子化学品行业发展现状、市场竞争格局、市场供求状况及影响行业发展的主要因素分析（一）行业发展情况1、行业发展历史（1）国外湿电子化学品发展历史湿电子化学品是20世纪60年代从高纯化学试剂产品领域发展起来的。
20世纪60年代末出现用于集成电路制造的电子级专用化学试剂。
此类试剂一般用于集成电路制造的清洗、蚀刻、掺杂、显影、晶圆表面处理、去膜、去光刻胶等工序中。
因此，一类新型的高纯化学试剂便产生，业界将其称为湿电子化学品（又称超净高纯化学品）。
1975年，国际半导体设备与材料组织（SEMI）成立了SEMI化学试剂标准委员会，专门制定湿电子化学品的国际标准。
对世界湿电子化学品的等级标准做了统一的规范。
SEMI标准现已成为世界湿电子化学品制造业中通行的、最权威的标准。
进入21世纪，国际SEMI标准化组织又根据湿电子化学品在世界范围内的实际发展情况对原有的分类体系进行了归并，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准。
国际上制备SEMIG1至SEMIG4级各种不同等级湿电子化学品的技术已趋于成熟。
随着集成电路向着纳米级发展，国际上SEMIG4以上级别的高纯试剂生产技术也日渐成熟。
近年来，湿电子化学品成为了超大规模集成电路制造业深入、快速发展中越来越不可缺少的、支撑其新技术发展重要辅助工艺材料。
为此，它也成为电子化学品中需求量大幅增长、技术高速发展的一类产品。
同时，随着显示面板、太阳能电池领域的发展，湿电子化学品用量进一步扩大，呈现出极为广阔的发展前景。
在世界湿电子化学品市场上，20世纪90年代中后期及21世纪初，高端湿电子化学品呈现由德、美、日知名企业垄断的局面。
近几年，随着显示面板、太阳能电池等湿电子化学品新市场的开辟及扩大，韩国、中国大陆及台湾地区的湿电子化学品在世界市场的份额在逐渐提高。
（2）我国湿电子化学品发展历史我国湿电子化学品发展整体可分为三个阶段。
①初期发展阶段（20世纪70年代中期至21世纪初）20世纪70年代中期，我国湿电子化学品刚起步，技术水平、生产能力与国际上大型湿电子化学品生产企业相差甚远。
2024年湿电子化学品市场发展现状
2024年湿电子化学品市场发展现状引言在电子行业不断发展的今天，湿电子化学品作为电子制造过程中不可或缺的一环，市场需求与日俱增。
本文将对湿电子化学品市场的发展现状进行分析与探讨。
湿电子化学品市场需求湿电子化学品广泛应用于半导体制造、印刷电路板制造、光学玻璃涂层等领域。
随着半导体产业的飞速发展，湿电子化学品市场需求呈现不断增长的趋势。
特别是随着5G通信技术的广泛应用以及物联网、人工智能等新兴技术的快速发展，对半导体器件的需求量将进一步提升，从而推动了湿电子化学品市场的发展。
湿电子化学品市场竞争态势湿电子化学品市场竞争激烈，主要的竞争者包括国内外知名化学品生产厂商。
目前，市场上的湿电子化学品主要有清洗剂、防腐剂、溶剂、抛光液等。
这些化学品具有不同的特性，适用于不同工艺和应用场景。
在国内市场，一些知名化学品生产企业瞄准湿电子化学品市场的增长潜力，加大了研发和生产的力度。
同时，国外行业巨头也通过技术优势和品牌影响力在中国市场占据一定份额。
这加剧了湿电子化学品市场的竞争态势。
湿电子化学品市场发展趋势1.环保要求的增加：随着人们环保意识的提高，对湿电子化学品的环保性能要求也越来越高。
未来，市场上对环保型湿电子化学品的需求将持续增长。
2.低VOC化学品的研发：VOC是挥发性有机化合物的缩写，对环境和人体健康有一定的危害。
湿电子化学品制造企业将加大研发投入，推出低VOC湿电子化学品，以满足市场需求。
3.多功能化学品的需求：随着电子制造工艺的不断创新，市场对多功能湿电子化学品的需求也在增加。
具备清洗、防腐、抛光等多种功能于一体的湿电子化学品将会受到青睐。
4.应用领域的扩展：除了传统的半导体制造、印刷电路板制造领域，湿电子化学品在光学玻璃涂层、太阳能电池等应用领域也有广阔的市场前景。
未来，随着技术的发展，湿电子化学品的应用领域将进一步扩展。
湿电子化学品市场面临的挑战与对策1.价格竞争压力：湿电子化学品市场竞争激烈，价格成为企业争夺市场份额的重要因素。
中国湿电子化学品行业全景分析(附湿电子化学品生产、消费、应用领域及发展政策)
中国湿电子化学品行业全景分析（附湿电子化学品生产、消费、应用领域及发展政策）一、湿电子化学品行业定义及类别湿电子化学品是微电子和光电子湿工艺过程中使用的各种电子化学材料，它们是电子技术与化学材料相结合的创新产品，对原材料、净化方法、容器、环境和测试都有严格的要求。
电子工业的发展需要湿电子化学品的同步发展和不断升级，以满足其不断创新技术的需要。
从某种意义上说，湿电子化工支持新能源、现代通信、计算机、信息网络技术、微机机械智能系统、工业自动化、家用电器等现代科技产业。
因此，电子化工原料工业的发展规模和技术水平已成为衡量一个国家经济发展、科技进步和国防实力的重要标志，在国民经济中具有重要的战略地位。
它是科技创新和国际竞争中最具竞争力的物质领域之一。
湿电子化学品在半导体、平板显示器、太阳能电池等领域广泛应用，其中液晶面板领域发展迅速。
因此根据下游产品应用，湿电子化学品可分为液晶显示湿化学品、半导体湿化学品和太阳能电池湿化学品。
二、世界湿电子化学品行业发展历程及市场容量湿电子化学品是伴随集成电路产业的发展产生的，自20世纪60年代以来，大型集成电路和超大型集成电路相继出现，需要更高的化学试剂用于集成电路制造。
同时，湿电子化学品已成为电子化工行业的重要范畴，其应用市场也渗透到平板显示器、LED、太阳能电池、光磁记录存储产品等领域。
湿电子化学品的全球市场格局经历了三个阶段的变化：《2021-2027年中国湿电子化学品行业市场运营态势及投资潜力研究报告》显示：全球湿电子化学品市场，欧美、日本企业的份额逐年下降，中国等国家、地区的市场份额稳步提升。
根据计算数据，2019年全球湿电子化学品市场规模为52.96亿美元，其中半导体、平板显示器和太阳能电池是湿电子化学品的三大应用市场。
2020年全球湿电子化学品市场规模增长至56.84亿美元，增幅7.33%。
三、世界湿电子化学品行业主要企业全球湿电子化学品行业参与者分为两类：多元化集团与专业型生产商。
湿电子化学品生产流程
湿电子化学品生产流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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湿电子化学品的生产首先需要进行充分的原料准备工作。
湿电子化学品生产工艺流程
湿电子化学品生产工艺流程The production process of wet electronic chemicals poses several challenges. 湿电子化学品的生产过程具有一些挑战。
Firstly, the handling of hazardous chemicals requires strict safety protocols to mitigate potential health and environmental risks. 首先，处理危险化学品需要严格的安全协议，以减轻潜在的健康和环境风险。
Workers must be properly trained and equipped with protective gear to minimize exposure to harmful substances. 工人必须接受适当的培训，并配备防护装备，以最大程度地减少接触有害物质的可能性。
Secondly, the production of wet electronic chemicals involves complex chemical reactions and processes that require precision and accuracy. 其次，湿电子化学品的生产涉及复杂的化学反应和过程，需要精确和准确。
Any deviation from the specified parameters can result in substandard or contaminated products. 任何偏离指定参数的情况都可能导致次品或污染产品的产生。
This necessitates the need for highly skilled and knowledgeable personnel to oversee and control the production process. 这就需要高技能和知识的人员来监督和控制生产过程。
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电子化学品纯化方法
对湿化学品的基本要求是超净高纯。随着对集
成电路线宽要求愈来愈密集，其对湿化学品的要求 愈来愈高。像有害金属离子含量要求已从 (L Q F + (L Q D +(L Q (& 发展。其颗粒含量从 ((5 L!R 的 &) 个 ・ RS Q ( 向 ( L5 )!R 的 ) 个 ・ RS Q ( 发 展 再 提 高 到 L5 &!R 的要求。 一般蒸馏方法，比较容易将湿化学品中离子含 量从 (L Q F 级提高到 (L Q D 级。 但要实现 (5 L T (L Q D 或 对处理设备及材质， 对容器 (5 L T (L Q (L 就比较难了。 和环境都有较高要求。 这会提高成本。 因此对湿化学 “ ” “ 品的要求从 尽可能纯 改变为 足够清洁” ， 像 "= .GUN-88 A8GCO,=.+C 2/GR+C-8? 公司的 &) 类化学品中， 相当于 0A<3 2(& 标准的只有 F 类， 而符合 24 标准的 有 &( 类。 湿化学品通常纯化的方法主要有 ) 种，即蒸馏 和精密分馏、 离子交换、 分子筛分离、 气体吸收和超 净过滤。 75 ( 蒸馏和精馏 蒸馏过程是利用混合物在加热时，其各组分的 挥发度不同而进行分离的过程。 而精密分馏， 是借助 于多次的部分汽化及部分冷凝，使沸点更相近的混 合物分离。 蒸馏又分一般蒸馏、 精密分馏、 共沸蒸馏、 亚沸 蒸馏、 等温蒸馏和减压蒸馏以及固体的升华等。 其中 亚沸蒸馏和等温蒸馏， 可以得到 (L Q (& 级样品， 但速 度太慢、 费用太高， 只能在实验室里制标准样品， 我 们曾制备色谱用特纯的样品， 一天只能得几毫升。 一般的湿化学品， 都能用精馏方法精制， 在我们 的工厂里， 年产百吨级的丙酮和异丙醇， 经上海中芯 国际 （ 0<32）和复旦大学国家微分析中心测试，J、 均符合 0A<3 H 国际半导 2-、 <V、 !-、 BG 等 &7 种元素， 体设备和材料协会标准 I 的 24 和 2M 要求。像 "& 0$# 等高沸点（ 试剂， 用减压连续蒸馏。 77MW ） 或石 蒸馏的设备， 一般用高硅玻璃（ 上玻 >>(4） 英玻璃制成， 防止过程中 !-、 2-、 <V 等离子的浸出， 像 "B 用银质或聚四氟乙烯制的蒸馏设备。 对有些与被蒸物沸点接近的杂质，必须进行化 学或络合处理。 如 "& 0$# 中含有硫磺、 亚硫磺和有机 物等还原性物质，通过添加强氧化剂 （ J<.$# 、 ， 将其氧化成 "& 0$# 、 后两者从塔 J&2,$# ） 0$& 、 2$& ， ・44・
综 述
微电子工业用湿化学品的生产和发展
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摘 要
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上海市合成树脂研究所
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叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类，主要是超净高纯试剂和溶剂，以及如何达到国际半 导体设备和材料协会所要求的 !" 、 !# 或 !$% 规格的纯化方法。 湿化学品 高纯试剂 高纯化学品 电子化学品
关键词
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湿化学品的应用
清洗剂
7 $ 9 无机试剂 、 F% /.4 （ 、 F’E.4 （ 、 F% .% （ ’$@ ） &=@ ） #=@ ） 、 F!(（ 、 FD.’ （ 、 DF4 G DF4 .F（ %&@ ） ’=@ ） "2@ ） （ 、 、 。 42@ ） FG（ 4&@ ） H.F、 DI.F、 F% .（ ?(） 7 % 9 有机试剂 、 丙 (EC、 FC!、 FC!（ JKILMIK） ?-/.、 D-E、 ?-G、 酮、 甲醇、 $， $， $ , 三氯乙烷、 $， $， % 三氯 , $， %， %三 氟乙烷、 甲苯、 环已烷、 无水乙醇、 甲基异丁基酮。 7 ’ 9 混合复配液 玻璃清洗液， E> 膜清洗液。 交叉有机物清洗剂：
教授级高工
中试规模，在 !# 和 !$% 的研制中得到进展，江
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阴化学试剂厂有 $ 套 %222 吨・年
作者简介：李
艹 俊
的 CB、 AB 生
男
$&’& 年生
曾任上海市合成树脂研究所所长
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###$ %&’&())*+$ ’,) 上海化工 !""#$ "%
综 述
!"# $" % "& $& % "& $ ’ ( % ( % )。 残留有机膜清除剂： *+,-./- 酸（ "& 0$# 1 "&$& ） 金属离子或原子清除剂： "& $ % "& $& % "23 ’ ) % ( % ( 或 4 % & % ( 热液 &5 & 干燥剂 异丙醇（ 、 甲醇、 乙二醇甲醚及复配物、 无水 3*6） 乙醇。 &5 7 蚀刻剂 湿法蚀刻注重精确的化学配比，以达到精确快 速蚀刻目的。通常有 (& 种蚀刻对象，即 0+$& 、 多晶 氧化铟锡 （ 硅、 、 砷化 68、 29、 :+、 ;、 2,、 <=、 69、 3:$） 镓（ 和多层金属 （ 。有机硅涂层用 >-6?） 0@+. A:2"） 有时加 "6C。 热生长 0+$& 膜用 "B "!$7 1 "B 1 "& $， （ ） #DE 1 "& $ 1 !"#B。68 金属化图像上的化学气相 沉 积 的 0+$& 钝 化 膜 用 !"# B % "6C ’ ( % & 溶 液 蚀 刻。 68 和 68 合金层用： "!$7 % "6C% "& $ ’ (F % ( % &。 腐蚀液： BG287 ・ F"& $ % "28 % "& $ ’ ( % & % (（ 质量 比） 。 混合液： "!$7 % "B % "6C % "& 0$# ’ D % D % (& % # H 体积比 I 。 &5 # 光刻胶稀释剂 丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇甲醚乙酸酯 （ 、 乙酸丁酯、 乳酸乙酯、 甲苯， 环己酮。 *><A6） &5 ) &5 F 显影剂 H 2"7 I # !$"、 J& 2$7 、 !-& 2$7 、 *3 膜显影液。 正胶剥离液 多用无机酸、 无机碱、 有机碱、 有机溶剂各自的 混合液。 乙酸丁酯、 丙二醇单甲醚 （ 、 乙二醇丁醚 *><A） （ ） （ 、乙醇胺、二甘醇丁醚 乙醇胺 A><A ’ 7#E K 。 #LE ） &5 4 负胶剥离液 多晶硅封装用光刻胶剥离液。 &5 M 化学机械研磨加工化学品 H ( I 抛光浆 包括介电材料抛光浆、钨抛光浆、孤立浅沟 （ 抛光浆、 铜抛光浆。 0/-88=N :,G.C/ 3?=8-O+=.） H & I 抛光液添加剂 BG H !$7 I 7 、 68& H 0$# I 7 、 P:6 系列。 H 7 I 抛光后清洁液 H # I 铜加工有关化学品 &5 D 电镀液 290$# 水溶液。 !"#$%"#& ’"()&*#+ ,$-./012 3 !"#"$% &’’(
综 述
顶排出。 !" 中 的 #$"% 沸点 与 !" 相近 ，加 &’()* 将 并且加甘露醇络合杂质 -， 成为高 #$ 氧化成 #$, + ， 沸点络合物， 留在蒸馏残液中。