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等离子体物理学科硕士研究生培养方案

学科代码070204

一、学科简介

本学科研究主要分为二个方面：空间等离子体探测技术与信息处理和低温等离子体技术及其应用。

空间等离子体探测技术：开展空间电磁波传播、空间目标散射，电离层短波传播、闪烁，各种大气水凝物的电波衰减、雷达回波特性，地空路径电波传播及对电子系统信道的影响，散射通信等方面研究。涉及短波到毫米波各波段以及射电频段。针对空间等离子体层严重影响星载SAR的分辨力，导致其成像质量和测量精度下降等问题，开展空间等离子体探测技术与信息处理研究，研究简单体和复杂目标等离子体隐身RCS理论和实验研究;研究利用时间矩方法和双频、双点互相干函数，研究电磁脉冲穿过等离子体层随机介质传播的时间特性；利用双频、双点互相干函数研究卫星信号穿过随机介质后的二阶统计特性和随机信道特性，讨论接收信号的相干距离、相干带宽和相干时间等，以及它们随不规则性参数和电波频率的变化情况。对现有含等离子体电离层对星载SAR成像质量影响的模型中部分问题进行了的改进。结合天波超视距雷达系统，研究短波电离层斜向返回传播，地海面散射影响，电离层扰动与异常的影响，以及研究返回散射电离图自动判读技术。在空间等离子体对星载无线电系统性能影响的研究及信息处理，包括对星-地链路传播和导航系统的影响及对星载SAR的影响问题，如图像偏移、几何畸变和分辨率（距离向、方位向和高程）的降低及空间目标的等离子体隐身机理和实验研究。由于空间等离子体对星载无线电系统的影响是空间天气对信息系统影响与对策研究的重要组成部分，此方面研究对包括电离层在内的空间环境监测和技术保障，对现代高科技信息化战争，尤其是以空间技术为基础的各种信息化作战平台和武器装备的信息获取、传输和使用有重要意义。对各种新体制的无线电系统中有关等离子体介质特性与电波传播、随机介质波传播及其效应评估和补偿技术方面的问题研究有一定指导作用。对复杂环境中电波传播、星载遥感、SAR图像目标特征控制均有广泛的应用价值和技术指导作用。

在空间等离子体探测技术与信息处理，特别是等离子体中电波传播与闪烁及天波超视距雷达和SAR中应用研究领域处于国内领先地位，本学科目前承担国家和省部委项目及其他项目18项，科研经费350万元。此方面的研究成果已在国际、国内著名学术刊物，如Phys. Review, J. Opt. Soc. Am.、中国科学上发表论文100余篇。“分形结构的波传播和散射研究”获陕西省科技进步三等奖，多篇论文已被SCI和EI收录。

低温等离子体技术及其应用：等离子体物理与微电子学、材料学等学科交叉融合，形成了等离子体技术这一新兴学科。等离子体工艺是实现超大规模集成电路的关健技术和基础工艺，本学科的特色是将等离子体的产生、控制与应用紧密结合，使之直接形成微电子学学科领域急需的工艺装备和工艺技术。在系统研究等离子体中的微波能量吸收与的粒子输运的基础上,研究等离子体增强化学气相淀积（PECVD ）多层复合膜、稀土永磁型电子回旋共振等离子体源、电子回旋共振化学气相淀积（ECRCVD）、电子回旋共振反应离子刻蚀（ECRRIE）等工艺和设备，并应用于集成电路生产和国防重点工程。

本学科方向近年来先后承担了国家自然科学基金、国家973、863计划，国防科技预研等国家及部委重点项目20余项。研制成功了国内第一台大面积分布式ECR等离子体源，等离子体密度达到1010cm-3,直径达到300mm。研制了国内第一台ECRVCD和ECRRIE工艺设备，加工精度达到0.1微米，在等离子体的形成、先进等离子体源、等离子体与固体材料的相互作用、硅基器件材料的等离子体刻蚀、等离子体化学气相淀积、新材料制备等诸多方面取得了一批研究成果处于国内领先水

二2、

3、

4、 三

平。在Sensors and Actuators 物理学报、电子学报、真空科 学与技术学报等国内外重要学术刊物上发表研究论文40余篇，28篇被SCI 、EL ISTP 三大索引检索，在国内具有重要的学术地位。DZ80型ECRCVD 设备获得 国家重点新产品奖并应用于国防9711工程。“微波电子回旋共振化学气相淀积 技术''获国家科技进步奖三等奖、“ECR 等离子体刻蚀技术及碳化硅高温半导体器 件技术”获陕西省科技进步奖二等奖，部分研究成果居国内领先水平。

培养目标

掌握马克思主义、毛泽东思想、邓小平理论的基本原理；拥护中同共产党 的领导，热爱祖国；遵守宪法、法律和学校的各项规章制度；具有良好的 道德品质和文明礼貌风尚；积极为社会主义现代化建设服务。

必须在本门学科上掌握坚实的基础理论和系统的专门知识，具有独立从事 科学研究工作、教学工作或

担负专门技术工作的能力。

掌握一门外国语，具有较熟练的阅读能力，一定的读写、译的能力和基本 的听、说能力。能够以英语

为工具进行专业的学习和科学研究。

积极参加体育锻炼，具有健康的体魄。

学科研究方向

1、 低温等离子体的应用技术；

2、 等离子体中的电磁波传播与散射；

3、 空间等离子体与波相互作用，电离层电波传播及模化技术；

4、 激光等离子体物理

5、 等离子体诊断

四、 学制与学分

1、 学制 全日制攻读硕士学位的学习年限一般为二年半，非全日制攻读硕士 学位的学习年限一般不超过四年

品学兼优的硕士生提前完成学习任务的可以申请提前进行学位论文答辩，申 请条件见《西安电子科技大学硕士学位授予工作的实施细则》；硕士生一般不能 推退毕业，但若有特殊情况原因，例如休学、在职攻读论文课题任务较重等原因, 本人申请并经导师和领导批准，一般可延长至第六学期末，最长不超过一年（第 七学期必须提交论文），否则按结业处理。 2、 课程政治理论课程和外国语课程的设置按国家有关规定执行。硕士生应较 为熟练地掌握一门外国语，能阅读本专业的外文资料，具有一定的写作能力和交 流能力。

硕士研究生课程分学位课、限选课和任选课。学位课定为六门，共19学分,