GAS系统材料认知和施工规范

特气种类 5
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3．晶圆厂所需之化学物质及其特性
序号
化学式
1
H2SO4
2
H3PO4
3
HNO3
4
HCL
5
BOE 50:1
6
BOE 100:1
7
BOE 200:1
8
DEV
9
NH4OH
10
H2O2
11
M1
12
49% HF
13
1% HF
14
Thinner
15
EKC270
16
A515
17
NMP
Specialty Gas
类别 易燃性气体 低压性气体 毒性气体 腐蚀性气体 窒息性气体 自燃性气体
气体名称 SiH4 、SiH2CL、PH3 等
DCS、CLF3、WF6 等 NF3,PH3 等
HCL、CL2、SiH2CL2、BCL3BF3、SiF4、WF6、NH3 等 CO2、CF4、C2F6 等 SiH4、PH3、B2H6 等
18
IPA
19
C260
3-3化学特性
中文名称
硫酸 磷酸 硝酸 盐酸 蚀刻液 蚀刻液 蚀刻液 显影剂 氨水 双氧水 硝酸氢氟酸混合液 氢氟酸水溶液 氢氟酸水溶液 晶边清洗液 光阻去除液 显影液 正甲基比喀酮 异丙醇 润湿液
化学特性
强腐蚀性液体 腐蚀性液体 强腐蚀性液体 强腐蚀性刺激性液体 腐蚀性、毒性液体 腐蚀性、毒性液体 腐蚀性、毒性液体 腐蚀性液体 强刺激性液体 刺激性、腐蚀性液体 强腐蚀性液体 腐蚀性剧毒液体 腐蚀性剧毒液体 易燃液体 腐蚀性、刺激性液体 易燃性、刺激性液体 可燃性、刺激性液体 易燃性、强毒性液体 易燃性、刺激性液体
厂房及气体功能介绍 3
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2-1-1大宗气体的种类
大宗气体
中文名称 干燥压缩空气
普通氮气 高纯氮气 高纯氩气 高纯氧气 高纯氢气 高纯氦气
英文名称 CDA GN2 PN2 PAR PO2 PH2 Phe
大宗气体种类 4
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2-2 Specialty Gas 半导体厂所使用的Specialty Gas种类繁多，约有四、五十种，依危险性可分 为以下数类：
南京中电熊猫平版显示科技有限公司
新一代超高分辨率液晶面板项目 (G108)
GAS系统施工简介和规范
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工作特点 一． 液晶面板厂生产简介 二． 液晶面板厂所需气体之特性与功能 三． 液晶面板厂所需化学物质及其特性 四． 工作内容
目录 2
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1． 液晶面板厂简介 液晶面板厂是生产液晶面板显示器的现代化厂房，其主要工作场所为无尘室。 无尘室是恒温恒湿的，温度为21°C。相对湿度为65%。 2． 液晶面板厂所需气体之特性及功能 由于制程上的需要，工厂使用了许多种类的气体。一般我们皆以气体特性来 区分。可分为特殊气体及一般气体两大类。前者为使用量较小之气体。如 SiH4、NF3等。后者为使用量较大之气体。如N2、CDA等。因用量较大；一 般气体常以“大宗气体”称之。即Bulk Gas。特气—Specialty Gas。 2-1 Bulk Gas在半导体制程中，需提供各种高纯度的一般气体使用于气动设 备动力、化学品输送压力介质或用作惰性环境，或参与反应或去除杂质度等 不同功能。 目前由于半导体制程日益精进，其所要求气体纯度亦日益提并。以下将简述 半导体厂一般气体之品质要求及所需配合之设备及功能。
材料认知 8
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1-4.依厚度来区分： 一般厚度之规格有SCH5S、SCH10S、SCH20S、SCH40S 1-5．管材又可分为有缝、无缝两种 2． About Fittings 2-1.材质同管件。(EP/BA…) 2-2.常用种类： <1>Nut+Gland+Gasket <2>Elbow、Tee、Reducer <3>Cap、Plug <4>Connector 接头 一般可分为VCR (1/8圈)/SWG (1¼圈) /Welding（焊接）/螺牙街头/Flange 尺寸从1/8”-1”(VCR/SWG)及1/4”—300A(Welding/Flange)皆有 又分短接头SCM(micro) or 长接头SCL(long)&SCF 2-4.常用厂牌： KITZ/HAM-LET/IHARA/SWAGELOK/FUJIKIN
工作内容及材料认知 7
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1． About Pipe&Tube（关于管材） 1-1.依材质分类管材可分为：<1>SUS 304 <2>SUS 316 <3>SUS 316L 其差异在于SUS316增加钼（Mo）金属，改善其机械性质。 L则表示材料降低含C量，增加含镍（Ni）量。 1-2.依规格分类可分为： <1>日规（JIS）：PIPE SIZE <2>美规（ASTM）：TUBE SIZE 其中须注意： <1>1”之尺寸在PIPE SIZE=25A,其外径OD为34.4mm,在TUBE SIZE其OD为25.4mm <2>在PIPE SIZE中25A又称1”,50A又称2”,80A又称3”,100A又称4” <3>TUBE SIZE（一般使用在1”以下之Gas配管）,常用尺寸为1/8”（一分）、2/8” （二分）、3/8”（三分）、4/8”（四分）、5/8”（五分）、6/8”（六分）、1”。 1-3．依表面处理方法分类： 一般分为三种 <1>AP（Annealed and pickled）级（素管）：酸洗管 <2>BA (Bright-annealed)级：光辉退火管 <3>EP (Electrolytic polished)级：电解抛光管 注意：影响管子价格之因素最为重要之决定因素在表面处理之方法，其价格之高低顺 序EP>BA>AP。
化学品种类 6
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4． 工作内容 我们所做的工作就是利用自动焊机、弯管器等工具。由气瓶柜（或气罐）一 端架设管路至FAB内机台附近并开设预留阀即TAKE OFF点（此段工作称为 一次配）。然后再由TAKE OFF点配制管线至机台接点即二次配（HOOK UP）。 配管材料及阀件简介 1. 管件---Pipe&Tube 2. 连接配件---Fittings 3. 阀件---Ultra Clean Valves 4. 调压阀---Pressure Regulator 5. 压力侦测器---Pressure Gauge&Transducer 6. 过滤器---Gas Filter 7. 选用材料依据 8. 二次阀盘组之形式