设备可靠性、有效性与可维护性管理测试规范制度

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实验室设施设备的监测、检测和维护制度(3篇)

实验室设施设备的监测、检测和维护制度(3篇)

实验室设施设备的监测、检测和维护制度实验室设施设备是科研实验和技术活动的重要基础,对实验室工作的开展和实验结果的准确性具有重要影响。

为确保实验室设施设备的正常运行,保证实验室工作的顺利进行,必须建立一套完善的监测、检测和维护制度。

本文将详细介绍实验室设施设备的监测、检测和维护制度的内容和要求。

一、监测制度1. 设备运行监测实验室设施设备的运行监测是指对设备的正常运行状态进行定期监测和记录。

监测包括设备的启动、运行、停机和维修等环节,对设备的工作状态、运行参数和故障信息等进行记录和分析。

监测可以通过手工记录、设备传感器、远程监控等方式进行。

2. 设备安全监测实验室设施设备的安全监测是指对设备的安全性能进行检测和评估。

监测内容包括设备的接地情况、电气安全、防爆性能、压力容器安全性等方面。

通过定期检测和评估,及时发现存在的安全隐患并采取相应的措施进行修复,确保设备的安全运行。

二、检测制度1. 设备完好性检测实验室设施设备的完好性检测是指对设备的各项功能和性能进行定期检测和评估。

检测内容包括设备的机械结构、电气接线、气体管道、控制系统等方面。

通过检测和评估,及时发现设备存在的故障、损坏或性能下降的问题,进行维修和更换,确保设备的正常运行。

2. 设备精度检测实验室设施设备的精度检测是指对设备的测量准确度进行定期检测和校准。

检测内容包括设备的测量范围、精度、稳定性等方面。

通过检测和校准,确保设备的测量结果准确可靠,提高实验数据的可信度和可重复性。

三、维护制度1. 定期保养实验室设施设备的定期保养是指对设备进行常规的清洁和保养工作。

保养内容包括设备的清洁、润滑、紧固等方面。

定期保养可以延长设备的使用寿命,提高设备的可靠性和稳定性。

2. 预防性维修实验室设施设备的预防性维修是指对设备进行定期检修和更换关键零部件的工作。

维修内容包括设备的关键部件的检修和更换,预防设备发生故障和损坏,提高设备的可靠性和稳定性。

3. 故障维修实验室设施设备的故障维修是指对设备发生故障后进行修复和恢复正常工作的工作。

设备可靠性、有效性和可维护性测试规范.docx

设备可靠性、有效性和可维护性测试规范.docx

设备可靠性、有效性和可维护性测试规范1.目的1.1这份文献通过供应测试半导体制造设备在制造环境中的三性(牢靠性、有效性、可维护性)的标准,为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。

2. 范围2.1这份文献定义了设备的6种基本状态。

它包括了设备的任何时间全部可能的状态。

设备的状态由其功能状况打算,而不管操作者是谁。

在这里所做的对设备牢靠性的测试强调的是对正在使用中的设备的突然中断,而不是对设备的全部时间。

2.2本文献第三节(设备状态)定义了如何对设备时间分类。

第六节(三性测试)定义了测试设备状态的公式。

第七节(不确定测试)另外给出方法用来评估所得数据的统计意义。

2.3有效的应用这份规范需要设备的工作遵循它的周期及或时间。

自动监测设备状态是标准SEMIE58中的内容, 并不在本规范中。

设备使用者与供应商之间清楚有效的沟通将持续提高设备的工作状况。

2.4在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。

三性指数可以适用于子系统水平(例如过程模块)的多路径组工具。

达到基本压力,芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃烧、来源达到特定压力。

)c校正运行:在转变后为确认设备按规定正常运作而建立的单元流程和评估。

5.8.3转变化学材料及消耗品-指计划外的为补充半导体流程中的原材料时打断生产运行。

它包括转变气瓶、酸、目标、来源等等以及任何与转变相关的充、洗、清洁。

但不包括在得到化学材料、消耗品补给之前的延误时间。

5. 8. 4不合规范的输入-由于不合规范的输入或错误输入而造成一些问题使设备不能正常运行的时间。

这些输入包括:c辅助工具(例弯曲的密封盒或芯片运输器、错误的数据解释或输入)C产品(例逆流的流程或产品问题,弯曲的芯片,受污染的芯片,弯曲的铅框)C测试数据(例未经校正的计量工具,误读的图表,错误的数据解释或输入)C消耗品及化学材料(例如受污染的酸,有渗漏的焊接,衰变的光阻,品质低劣的铸造物)5.8.4. 1任何由于以上各项造成的停工时间包括在不含规范的输入之停工时间范围内。

实验室设备使用与维护规范

实验室设备使用与维护规范

实验室设备使用与维护规范在科学研究、教学实验以及各类检测工作中,实验室设备扮演着至关重要的角色。

正确使用和精心维护实验室设备,不仅能够确保实验结果的准确性和可靠性,还能延长设备的使用寿命,降低维修成本,提高工作效率。

为了保障实验室工作的顺利进行,特制定以下实验室设备使用与维护规范。

一、设备使用规范1、培训与授权在使用任何实验室设备之前,操作人员必须接受相关的培训。

培训内容应包括设备的基本原理、操作方法、安全注意事项等。

只有通过培训并获得授权的人员,方可独立操作设备。

2、设备检查在每次使用设备之前,操作人员应进行设备检查。

检查内容包括设备外观是否完好、电源连接是否正常、仪器仪表显示是否正常、各部件是否松动等。

如发现异常情况,应及时报告并联系维修人员进行处理,切勿自行拆卸或修理。

3、操作规程严格按照设备的操作规程进行操作。

操作规程应张贴在设备附近显眼的位置,以便操作人员随时查阅。

在操作过程中,不得随意更改操作步骤或参数设置,以免影响实验结果或损坏设备。

4、环境要求不同的实验室设备对环境有不同的要求。

例如,某些精密仪器需要在恒温、恒湿、无尘的环境中工作;某些化学实验设备需要良好的通风条件。

操作人员应确保设备的工作环境符合要求,以保证设备的正常运行和实验结果的准确性。

5、样品处理在使用设备进行实验时,应正确处理样品。

按照实验要求对样品进行制备、计量和加载,避免因样品处理不当而影响实验结果或损坏设备。

6、数据记录在使用设备的过程中,应及时、准确地记录实验数据。

数据记录应包括实验日期、操作人员、实验条件、设备参数、实验结果等。

数据记录应清晰、完整,便于后续的分析和查阅。

7、设备使用时间避免长时间连续使用设备,以免设备过热或过度磨损。

对于一些需要间歇使用的设备,应按照规定的时间间隔进行休息和冷却。

二、设备维护规范1、日常维护操作人员应负责设备的日常维护工作。

每天工作结束后,对设备进行清洁、整理,清除设备表面的灰尘、杂物和污渍。

设备质量与可靠性管理制度

设备质量与可靠性管理制度

设备质量与可靠性管理制度一、引言设备质量与可靠性管理制度是企业运营过程中至关重要的一环,它直接关系到企业产品质量和生产效率的稳定性。

良好的设备质量与可靠性管理制度能够帮助企业减少设备故障率,提高设备利用率,降低维修成本和停工时间,保证产品质量的稳定性。

本文将从四个方面对设备质量与可靠性管理制度进行详细分析和说明:质量策划、质量控制、设备维护与保养、数据分析与改进。

二、质量策划1. 目标设定设备质量与可靠性管理制度的目标设定是确保设备的质量和可靠性,提高设备的使用寿命和性能。

目标设定需要考虑企业的实际情况和生产需求,根据设备的特点和关键指标来确定质量和可靠性的目标。

2. 策略制定制定设备质量与可靠性管理的策略是实现目标的关键。

策略制定需要根据设备使用环境、维修需求、设备使用人员的技能水平等因素进行综合考虑,确定合理的保养计划、维修周期和维修方法。

三、质量控制1. 设备检验设备检验是质量控制的重要环节,通过检验能够及时发现设备存在的质量问题,从而采取相应的措施进行修复和改进。

设备检验需要根据设备的特点和使用要求,制定相应的检验计划和标准。

2. 过程控制过程控制是指在设备的使用和维护过程中,通过监控和记录设备的运行状态和性能指标,及时掌握设备的健康状况,及时发现潜在的故障风险和问题,并采取相应的措施进行调整和改进。

四、设备维护与保养1. 预防性维护预防性维护是设备维护和保养的基本方式之一,它通过定期检查和保养设备,预防设备的故障和损坏,延长设备的使用寿命。

预防性维护需要建立合理的维护计划和流程,确保每一个环节都得到有效的执行。

2. 故障维修故障维修是设备维护与保养的重要内容,它通过及时修复设备故障,恢复设备的正常运行,减少设备故障对生产的影响。

故障维修需要建立相应的应急维修队伍和配备必要的备品备件,确保故障能够及时修复。

五、数据分析与改进1. 数据收集数据收集是设备质量与可靠性管理的重要环节,通过收集设备运行数据和故障数据,能够全面了解设备的运行状况和存在的问题。

六性管理规范

六性管理规范

六性管理规范标题:六性管理规范引言概述:六性管理是指企业在管理过程中要遵循的六项基本原则,包括:性能、安全、可靠性、可维护性、可测试性和可扩展性。

遵循六性管理规范可以提高企业管理效率,降低风险,确保产品质量。

一、性能管理1.1 确定明确的性能指标:在产品设计阶段就要确定产品的性能指标,包括速度、功耗、响应时间等。

1.2 进行性能测试:在产品开发过程中要进行性能测试,确保产品性能符合标准。

1.3 持续改进:及时收集用户反馈,不断改进产品性能,保持竞争力。

二、安全管理2.1 制定安全规范:建立安全管理制度,明确员工在工作中的安全责任和义务。

2.2 定期安全培训:定期对员工进行安全培训,提高员工的安全意识和应急处理能力。

2.3 安全监控:建立安全监控系统,及时发现和处理安全隐患,确保员工和产品的安全。

三、可靠性管理3.1 设计可靠性:在产品设计阶段考虑产品的可靠性,采用可靠的零部件和材料。

3.2 进行可靠性测试:在产品测试阶段进行可靠性测试,模拟产品在不同环境下的使用情况。

3.3 建立可靠性数据库:建立可靠性数据库,记录产品的故障率和维修情况,为产品改进提供数据支持。

四、可维护性管理4.1 设计可维护性:在产品设计阶段考虑产品的可维护性,易于维修和更换零部件。

4.2 建立维护流程:建立维护流程和维修手册,指导员工进行维护和维修工作。

4.3 定期维护检查:定期对产品进行维护检查,预防故障的发生,延长产品的使用寿命。

五、可测试性管理5.1 设计可测试性:在产品设计阶段考虑产品的可测试性,易于进行功能测试和性能测试。

5.2 进行测试计划:制定详细的测试计划,包括测试目标、测试方法和测试环境。

5.3 定期测试评估:定期对产品进行测试评估,发现并解决潜在的问题,确保产品质量。

结论:遵循六性管理规范可以帮助企业提高管理效率,降低风险,确保产品质量,从而提升企业竞争力和市场份额。

企业应该重视六性管理,将其融入到企业的管理体系中,实现可持续发展。

设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范

设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范

设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范1. 引言设备可靠性、有效性和可维护性是评估和测试设备性能的重要指标。

在现代技术和工程领域,这些指标对于确保设备的正常运行以及用户满意度至关重要。

本文将讨论设备可靠性、有效性和可维护性的定义,并提供测试规范以确保设备的高质量和可靠性。

2. 设备可靠性定义设备可靠性是指设备在特定时间内正常运行的能力。

可靠性依赖于设备的设计、制造和维护。

设备可靠性是一个统计概念,通常使用故障率来衡量。

常见的可靠性指标包括平均无故障时间(MTBF)和失效率(FIT)。

MTBF是指设备连续工作的平均时间,FIT是指设备在连续运行一百万小时内出现故障的数量。

3. 设备有效性定义设备有效性是指设备在执行其预定功能时的效率和性能。

有效性与设备的设计和功能紧密相关。

一个有效的设备能够以高性能、低能耗的方式完成预定的任务。

常用的设备有效性指标包括吞吐量、响应时间和资源利用率。

吞吐量是设备在一定时间内处理的请求数量,响应时间是设备处理请求所花费的时间,资源利用率是设备在执行任务时所使用的资源的百分比。

4. 设备可维护性定义设备可维护性是指设备在出现故障时进行修复、保养或更换所需的时间和资源。

设备的可维护性直接影响设备的可靠性和有效性。

可维护性良好的设备能够快速修复,减少停机时间,提高设备的可靠性。

常见的设备可维护性指标包括平均维修时间(MTTR)和平均修复时间(MRT)。

MTTR是设备从故障发生到恢复正常工作所需的平均时间,MRT是设备从故障发生到完全修复所需的平均时间。

5. 设备可靠性、有效性和可维护性的测试规范为了确保设备具有高可靠性、有效性和可维护性,以下是一些常见的测试规范:5.1 可靠性测试规范•进行长时间连续运行测试,记录设备的MTBF和FIT。

•通过加速寿命测试,模拟设备在其设计寿命内所经历的环境和使用条件。

•进行故障分析和故障树分析,以确定设备的故障原因和潜在故障模式。

•进行可靠性地理位置测试,测试设备在不同的物理环境下的可靠性。

消防设施维护保养检测设备管理制度(4篇)

消防设施维护保养检测设备管理制度(4篇)

消防设施维护保养检测设备管理制度第一章总则第一条为规范消防设施维护保养检测设备管理,确保消防设施始终处于良好的工作状态,提高消防安全的可靠性和有效性,制定本管理制度。

第二条本制度适用于本单位所有的消防设施维护保养检测设备管理工作,包括但不限于消防设备的维护、保养、检测、维修等工作。

第三条本制度所称的消防设施维护保养检测设备包括但不限于消防水系统、消防报警系统、消防防烟系统、消防通风系统等。

第四条本制度的内容包括消防设施维护保养检测设备的排定、维护保养计划的制定、设备维护保养记录的填写、设备维修的手续等。

第五条本制度的制定、解释和修改由本单位的消防安全管理部门负责。

第二章消防设施维护保养检测设备的排定第六条消防设施维护保养检测设备应根据其不同的性质和使用情况进行分类,并进行相应的排定。

排定的依据是国家相关法规和标准,包括但不限于《消防设施维护保养检测设备管理规定》等。

第七条消防设施维护保养检测设备的排定应有明确的责任部门和责任人,并由消防安全管理部门进行备案。

第三章维护保养计划的制定第八条消防设施维护保养检测设备的维护保养计划应根据设备排定的不同类别和消防安全需要,并结合实际情况制定。

第九条维护保养计划的制定应考虑以下因素:设备的使用频次、设备的工作状态、设备的寿命等。

第十条维护保养计划应包括设备维护保养的时间、地点、内容和方法等。

第十一条维护保养计划的制定应有明确的责任部门和责任人,并经消防安全管理部门批准。

第四章维护保养记录的填写第十二条每次进行设备维护保养时,应填写维护保养记录。

维护保养记录应包括:设备名称、设备编号、维护保养时间、维护保养地点、维护保养内容、维护保养人员等。

第十三条维护保养记录应有相关人员签字,并经消防安全管理部门审核。

第五章设备维修的手续第十四条凡设备发生故障或有需要维修的情况,由责任部门负责人向消防安全管理部门提交维修申请。

第十五条维修申请应包括设备的名称、编号、故障现象、故障原因等。

检验和测量设备管理制度(4篇)

检验和测量设备管理制度(4篇)

检验和测量设备管理制度一、目的和范围为了保证检验和测量设备的准确性和可靠性,提高检验和测量结果的准确性和可靠性,制定本管理制度。

二、管理机构检验和测量设备管理委员会是本制度的管理机构,负责制定和执行检验和测量设备管理相关规定。

三、责任和权限管理委员会负责制定检验和测量设备的选型、采购、校准、验证、维护和报废等相关制度,并监督和检查其实施情况。

管理委员会成员在本制度的范围内负有监督、协调、检查的责任和权力。

四、检验和测量设备的选型和采购1. 检验和测量设备的选型应根据实际需求和技术要求进行,应提前编制设备选型方案,并经管理委员会审核和批准后方可购买。

2. 购买的检验和测量设备应具备所需的技术指标和性能要求,同时应有相关的国家标准和技术规范,以保证设备的准确性和可靠性。

3. 设备采购应采取公开招标、询价或委托代购等方式进行,并应与供应商签订购买合同,并按合同要求进行验收。

4. 购买的设备应具备合法的生产、销售和使用许可证明,同时应做好设备档案记录,包括设备购买日期、厂家和供应商、设备型号和规格、价格和合同等相关信息。

五、检验和测量设备的校准和验证1. 检验和测量设备的校准和验证应按照相关国家标准和技术规范进行,定期进行,并及时做好校准证书和验证报告的记录和归档工作。

2. 校准和验证工作应由具备相应资质和技术能力的单位进行,校准和验证结果应与标准值进行比对,具备法定计量单位出具的证书。

3. 对于经校准或验证结果不合格的设备,应及时进行维修或更换,并重新进行校准或验证,直到符合要求为止。

六、检验和测量设备的维护和保养1. 检验和测量设备应有专门的操作人员进行操作,操作人员应经过专业培训和考核合格后方可操作。

2. 设备的使用过程中应严格按照设备操作说明和使用规程进行,防止误操作和错误使用,避免对设备造成损害。

3. 设备的维护和保养应定期进行,包括设备的清洁、润滑、调试、检查等工作,发现设备故障或异常应及时报修。

检验和测量设备管理制度模版

检验和测量设备管理制度模版

检验和测量设备管理制度模版一、总则1. 为了加强对检验和测量设备的管理,确保其正常运行和使用,提高测试准确性和可靠性,制定本管理制度。

2. 本管理制度适用于本单位所有的检验和测量设备的管理,包括设备的选购、鉴定、验收、入库、使用、维护和报废等各个环节。

3. 本管理制度的实施目标是规范设备管理流程,提高设备使用效率,保证检验和测量结果的准确性和可靠性。

二、设备的选购1. 设备选购应根据本单位的检验和测量需要进行,且符合相关的国家和行业标准。

2. 在选购前,需进行充分的市场调研和供应商比较,选择性价比最高的设备。

3. 设备选购需经过审批程序,并由专业人员进行技术评估和决策。

三、设备的鉴定和验收1. 鉴定设备应由专业的鉴定机构进行,确保设备的符合性和可靠性。

2. 对新购设备的验收应包括外观检查、功能测试、性能验证等多个方面,确保设备的正常运行。

3. 对于验收不合格或存在问题的设备,需按照相关规定进行处理,要求供应商进行修复或更换。

四、设备的入库和领用1. 设备入库应进行细致的登记和记录,包括设备的基本信息、购买日期、保修期限等。

2. 设备入库后,应安排专人负责设备的存放和管理,确保设备的完好和安全。

3. 设备领用需经过申请并获得主管部门批准,同时需填写领用单,并及时更新设备信息。

五、设备的使用和维护1. 设备的使用应在专业人员的指导下进行,遵循操作规范和安全操作规程。

2. 定期对设备进行维护、校验和保养,确保其正常运行和准确测试。

3. 对设备的维修需委托专业的维修单位进行,维修记录和报告应做好备案。

六、设备的报废1. 设备报废应按照相关规定进行,达到报废标准的设备必须及时报废。

2. 设备报废前应进行彻底的设备检查和记录,确保所有信息和记录的完整性。

3. 报废设备应安全处理,包括拆卸、销毁、注销等程序,同时做好报废记录和报告。

七、责任与监督1. 设备管理责任由本单位设备管理岗位负责人负责,负责设备管理的每个环节的落实和执行。

实验室测试质量保证规定确保实验室测试过程中的准确性和结果可靠性

实验室测试质量保证规定确保实验室测试过程中的准确性和结果可靠性

实验室测试质量保证规定确保实验室测试过程中的准确性和结果可靠性实验室测试是科学研究和工程实践中至关重要的一环,准确性和可靠性是保证实验结果有效性的关键。

为了确保实验室测试过程中的准确性和结果可靠性,制定和遵守一系列质量保证规定是至关重要的。

本文将介绍一些常见的实验室测试质量保证规定,并说明其在确保实验室测试质量方面的重要性。

一、实验室设备校准和维护保养实验室测试所使用的设备是实验结果准确性和可靠性的基础。

因此,确保实验室设备的准确性和正常运行是非常重要的。

为了做到这一点,实验室应建立设备校准和维护保养的规范制度,以确保设备始终处于良好状态。

首先,实验室应定期对测试设备进行校准,以验证其准确性。

校准的频率应根据设备类型和使用情况进行调整。

其次,实验室应制定相应的设备维护保养计划,并确保设备维修人员按照计划进行维护保养工作。

此外,实验室还应提供设备使用说明,告知实验人员正确使用和保养设备的方法。

二、样品标识和管理实验室测试中,样品的标识和管理是确保实验结果准确性和可靠性的重要环节。

合理的样品标识和管理可以避免样品混淆或丢失,确保实验员对样品的追踪和管理。

为了实现样品标识和管理的要求,实验室应建立一套完善的样品管理制度。

首先,每个样品应按照一定的标识方法进行标记,包括样品编号、标签、记录等。

其次,实验室应建立样品登记和交接记录,记录样品的来源、去向、保存条件等信息。

此外,实验室还应制定相应的样品保存时间和处理方法,以避免样品过期或受损对实验结果造成影响。

三、实验室测试方法和流程规定实验室测试方法和流程的规定对于实验结果的准确性和可靠性非常重要。

规范的测试方法和流程可以确保实验员按照统一的标准进行测试,降低实验误差和不确定度。

为了确保实验室测试方法和流程的准确性和可靠性,实验室应制定和保持一套标准的测试方法和流程规定。

这包括实验室测试的步骤、操作要求、数据记录和处理方法等。

同时,实验室还应对实验人员进行培训,确保他们掌握并按照规定的方法和流程进行测试。

设备可靠性有效性和可维护性的定义和测试规范

设备可靠性有效性和可维护性的定义和测试规范

设备可靠性有效性和可维护性的定义和测试规范设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范一、设备可靠性的定义设备可靠性指的是设备在规定的条件下和规定的时间内,完成规定功能的能力。

简单来说,就是设备在使用过程中不出故障、稳定运行的程度。

可靠性是设备质量的重要特性之一,它直接关系到设备的使用寿命、安全性以及用户的满意度。

一个可靠的设备应该能够在预期的工作环境中,经受住各种应力和干扰,如温度、湿度、振动、电磁干扰等,并且在规定的时间内保持正常的工作状态。

例如,一台汽车发动机,如果能够在正常的保养和使用条件下,行驶数十万甚至上百万公里而无需大修,就可以被认为是具有较高可靠性的。

二、设备有效性的定义设备有效性,又称设备利用率或设备工作效率,是指设备在实际运行过程中,实际产出与理论最大产出的比值。

它反映了设备在单位时间内能够产生的有效成果的能力。

例如,一台数控机床,如果在一天的工作时间内,能够加工出预定数量的合格零件,并且没有因为故障、调整等原因而浪费过多的时间,那么这台机床就具有较高的有效性。

有效性不仅取决于设备本身的性能,还受到操作人员的技能水平、生产计划的合理性、原材料的供应等多种因素的影响。

三、设备可维护性的定义设备可维护性是指设备在发生故障或性能下降时,能够被迅速、方便、经济地修复或维护,恢复到正常工作状态的能力。

一个具有良好可维护性的设备,应该具备易于诊断故障、易于拆卸和更换零部件、维修工具和备件易于获取、维修手册清晰易懂等特点。

例如,一款智能手机,如果其电池可以方便地更换,软件系统能够通过简单的操作进行升级和修复,那么它就具有较好的可维护性。

四、设备可靠性的测试规范1、环境应力测试将设备置于各种极端的环境条件下,如高温、低温、高湿度、低气压等,观察设备是否能够正常工作。

通过这种测试,可以发现设备在不同环境下的可靠性问题。

2、寿命测试对设备进行长时间的连续运行测试,以模拟设备在实际使用中的寿命情况。

设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范

设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范

设备可靠性、有效性和可维护性的界说和测试范例这个尺度在技能上已被全球公制委员会批准,并由北美公制委员会直接卖力。

目前的版本在2001年3月1日被北美地域尺度委员会批准通过。

2001年6月将在国际半导体设备和质料协会试行,之后同月宣布。

其第一版宣布于1986年,上一版宣布于1999年6月。

1.目的1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造情况中的三性(可靠性、有效性、可维护性)的尺度,为设备的使用者和供给商之间的相同创建了一个通用底子。

2.范畴2.1 这份文献界说了设备的6种根本状态。

它包罗了设备的任何时间所有可能的状态。

设备的状态由其成果状况决定,而不管操纵者是谁。

在这里所做的对设备可靠性的测试强调的是对正在使用中的设备的突然中断,而不是对设备的所有时间。

2.2 本文献第三节(设备状态)界说了如何对设备时间分类。

第六节(三性测试)界说了测试设备状态的公式。

第七节(不确定测试)另外给出要领用来评估所得数据的统计意义。

2.3 有效的应用这份范例需要设备的事情遵循它的周期及或时间。

自动监测设备状态是尺度SEMI E58中的内容,并不在本范例中。

设备使用者与供给商之间清晰有效的相同将连续提高设备的事情状况。

2.4 在这份范例中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套东西和子系统水平级。

三性指数可以适用于子系统水平(例如历程模块)的多路径组东西。

2.5 这份尺度虽然有提到宁静事宜,但目的并不旨在追求这个方面。

它将是这个尺度使用者的责任来创建符合的宁静和康健条款,以及在使用前决定限制章程的运用。

3.参考尺度SEMI E58 —自动化的可靠性、有效性和可维护性的尺度注释1:本文列出的所有文献都使用其最新的适应版本。

4.术语4.1 帮助—在一个设备周期中设备事情突然中断时产生,它有以下三种情况:●通过外部干涉干与使中断的设备周期继承。

(好比通过操纵工和使用者的干涉干与,无论它是人或电脑。

)●除了一些特殊的消耗品,零件不可替换。

设备检查试验制度(二篇)

设备检查试验制度(二篇)

设备检查试验制度第一章总则第一条为了规范设备检查试验工作,确保设备的安全可靠运行,保证设备的有效使用,落实全面质量管理要求,根据相关法律、法规和标准,制定本制度。

第二条本制度适用于本单位内所有涉及设备的检查试验工作。

第三条设备检查试验是指对设备进行定期检查和试验,以确认其性能指标是否满足要求,掌握设备的工作状态和存在的问题,以及对设备进行维护和改进的过程。

第四条设备检查试验应严格按照标准操作程序进行,确保试验结果的准确性和可靠性。

第五条设备检查试验由设备管理部门负责组织实施,并得到其他相关部门的配合。

第六条设备检查试验应优先保证安全、经济、科学、合理,确保设备的正常运行。

第七条设备检查试验应建立完善的记录和档案,方便追溯和维护。

第二章设备检查试验内容第八条设备检查试验的内容根据设备的类型、用途、重要性和使用环境的不同,具体确定试验项目。

第九条设备检查试验的内容包括但不限于以下方面:1.设备的外观检查,包括检查设备的外部清洁度、表面状况、连接件是否松动、腐蚀情况等。

2.设备的运行状态检查,包括检查设备的启动、停机、运行、停滞等状态是否正常,是否存在异常振动、异常噪声等。

3.设备的性能指标检查,包括检查设备的工作效率、能耗、温度、压力等指标是否符合要求。

4.设备的安全保护装置检查,包括检查设备的安全阀、过载保护装置、温度传感器等是否工作正常。

5.设备的传动系统检查,包括检查设备的传动齿轮、传动带、连杆等传动部件是否有磨损、松动等情况。

6.设备的润滑系统检查,包括检查设备的润滑油、润滑脂等润滑剂是否充足、是否污秽。

7.设备的维护和保养情况检查,包括检查设备的维修记录、保养记录是否完整、是否按规定操作。

8.设备的改进和更新情况检查,包括检查设备的改造、更新计划是否得到落实。

第十条设备检查试验的具体项目由设备管理部门根据设备的实际情况制定,经本单位质量管理部门审核批准后执行。

第三章设备检查试验周期第十一条设备检查试验周期根据设备的种类、使用年限、工作状况和重要性等确定。

设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范

设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范

设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范设备可靠性是指设备在规定条件下能够正常运行的能力。

为了测试设备的可靠性,可以采用以下测试规范:1. 使用寿命测试:在规定条件下对设备进行长时间运行,以测试设备的耐久性和稳定性。

2. 环境适应性测试:将设备置于不同的环境条件下进行测试,包括温度、湿度、振动等,以测试设备在不同环境下的稳定性和可靠性。

3. 故障模拟测试:通过模拟设备可能出现的故障情况,对设备的应对能力和恢复能力进行测试。

设备有效性是指设备能够按照预期的要求和标准完成工作的能力。

为了测试设备的有效性,可以采用以下测试规范:1. 功能测试:测试设备各项功能是否按照要求正常运作,包括输入输出、控制功能、传感器检测等。

2. 性能测试:测试设备在不同工作条件下的性能表现,如速度、精度、响应时间等。

3. 负载测试:测试设备在不同负载条件下的性能表现,以测试设备的工作效率和稳定性。

设备可维护性是指设备在需要进行维护时能够快速、方便、低成本地进行维护和修理的能力。

为了测试设备的可维护性,可以采用以下测试规范:1. 维修性测试:测试设备在需要维护时,是否能够方便地进行拆卸和更换零部件。

2. 故障诊断测试:测试设备在出现故障时,是否能够快速、准确地诊断出问题所在。

3. 零部件可替换性测试:测试设备的零部件是否容易获取,并且能够方便地进行更换。

通过以上定义和测试规范,可以有效地评估设备的可靠性、有效性和可维护性,以确保产品的质量和性能,满足客户的需求和期望。

设备可靠性、有效性和可维护性是任何制造业公司产品质量的重要特性,这些特性对于客户的满意度和公司的声誉具有关键性影响。

因此,测试规范的制定和实施对于确保产品质量和性能至关重要。

在本文中,我们将继续探讨设备可靠性、有效性和可维护性的测试规范,以及测试方法的选择和实施。

设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范是由公司内部的质量保障和研发团队共同制定的,并应该基于行业标准和最佳实践。

可靠性、有效性-、可维护性和安全性(RAMS)

可靠性、有效性-、可维护性和安全性(RAMS)

可靠性、有效性-、可维护性和安全性(RAMS)1 目的为确保产品在使用寿命周期内的可靠性、有效性、可维护性和安全性(以下简称RAMS),建立执行可靠性分析的典型方法,更好地满足顾客要求,保证顾客满意,特制定本程序。

2 适用范围适用于本集团产品的设计、开发、试验、使用全过程RAMS的策划和控制。

3 定义RAMS:可靠性、有效性、可维护性和安全性。

R——Reliability可靠性:产品在规定的条件下和规定的时间内,完成规定功能的能力。

可靠性的概率度量亦称可靠度。

A——Availability有效性:是指产品在特定条件下能够令人满意地发挥功能的概率。

M——Maintainability可维护性:是指产品在规定的条件下和规定的时间内,按规定的程序和方法进行维修时,保持或恢复到规定状态的能力。

维修性的概率度量亦称维修度。

S——Safety安全性:是指保证产品能够可靠地完成其规定功能,同时保证操作和维护人员的人身安全。

FME(C)A:Failure Mode and Effect(Criticality)Analysis 故障模式和影响(危险)分析。

MTBF平均故障间隔时间:指可修复产品(部件)的连续发生故障的平均时间。

MTTR平均修复时间:指检修员修理和测试机组,使之恢复到正常服务中的平均故障维修时间。

数据库:为解决特定的任务,以一定的组织方式存储在一起的相关的数据的集合。

4 职责4.1 销售公司负责获取顾客RAMS要求并传递至相关部门;组织对顾客进行产品正确使用和维护的培训;负责产品交付后RAMS数据的收集和反馈。

4.2 技术研究院各技术职能部门负责确定RAMS目标,确定对所用元器件、材料、工艺的可靠性要求,进行可靠性分配和预测,负责建立RAMS数据库。

4.3 工程技术部负责确定能保证实现设计可靠性的工艺方法。

4.4 采购部负责将相关资料和外包(外协)配件的RAMS要求传递给供方,并督促供方实现这些要求。

设备可靠性有效性和可维护性的定义和测试规范

设备可靠性有效性和可维护性的定义和测试规范

设备可靠性有效性和可维护性的定义和测试规范这个规范在技术上已被全球公制委员会核准,并由北美公制委员会直接担任。

目前的版本在2001年3月1日被北美地域规范委员会核准经过。

2001年6月将在国际半导体设备和资料协会试行,之后同月发布。

其第一版发布于1986年,上一版发布于1999年6月。

1.目的1.1 这份文献经过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性〔牢靠性、有效性、可维护性〕的规范,为设备的运用者和供应商之间的沟通树立了一个通用基础。

2.范围2.1 这份文献定义了设备的6种基本形状。

它包括了设备的任何时间一切能够的形状。

设备的形状由其功用状况决议,而不论操作者是谁。

在这里所做的对设备牢靠性的测试强调的是对正在运用中的设备的突然中缀,而不是对设备的一切时间。

2.2 本文献第三节〔设备形状〕定义了如何对设备时间分类。

第六节〔三性测试〕定义了测试设备形状的公式。

第七节〔不确定测试〕另外给出方法用来评价所得数据的统计意义。

2.3 有效的运用这份规范需求设备的任务遵照它的周期及或时间。

自动监测设备形状是规范SEMI E58中的内容,并不在本规范中。

设备运用者与供应商之间明晰有效的沟通将继续提高设备的任务状况。

2.4 在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。

三性指数可以适用于子系统水平〔例如进程模块〕的多途径组工具。

2.5 这份规范虽然有提到平安事宜,但目的并不旨在追求这个方面。

它将是这个规范运用者的责任来树立适宜的平安和安康条款,以及在运用前决议限制章程的运用。

3.参考规范SEMI E58 —自动化的牢靠性、有效性和可维护性的规范注释1:本文列出的一切文献都运用其最新的顺应版本。

4.术语4.1 辅佐—在一个设备周期中设备任务突然中缀时发作,它有以下三种状况:●经过外部干预使中缀的设备周期继续。

〔比如经过操作工和运用者的干预,无论它是人或电脑。

〕●除了一些特殊的消耗品,零件不可交流。

检验和测量设备管理制度范本

检验和测量设备管理制度范本

检验和测量设备管理制度范本一、概述本制度旨在规范和管理公司内部所有检验和测量设备的使用和维护,以确保设备的正常运行和准确性,提升检验和测量工作的质量和效率。

二、适用范围本制度适用于公司内部所有检验和测量设备的使用和管理。

三、设备分类与登记1. 所有检验和测量设备应根据其功能和特点进行分类,并编制设备清单。

2. 每个设备应有唯一的设备编号,并进行登记和记录。

四、设备的购置和验收1. 设备购置应符合公司的采购流程和规定。

2. 设备验收应由专门的验收人员进行,并记录验收结果。

3. 验收合格的设备方可投入使用。

五、设备的使用1. 检验和测量设备的使用必须操作规范、准确、安全。

2. 设备使用前,操作人员应检查设备的工作状态和准确性,并记录检查结果。

3. 设备使用完成后,操作人员应及时清理设备,并做好设备的保养工作。

六、设备的保养和维修1. 设备保养工作应定期进行,具体周期由设备管理人员根据设备的实际情况确定,并记录保养内容和时间。

2. 设备出现故障需要维修时,应由设备管理人员及时联系专业维修人员,并记录维修过程和结果。

七、设备的检定和校准1. 检验和测量设备应定期进行检定和校准,具体周期由设备管理人员根据设备的实际情况和相关法规确定,并记录检定和校准结果。

2. 检定和校准工作应由具备相应资质和能力的检定机构进行。

八、设备的报废和淘汰1. 设备达到使用寿命或无法继续使用时,应及时进行报废和淘汰处理。

2. 报废和淘汰的设备应进行清理和登记,并做好设备资产的处置工作。

九、设备管理人员的责任1. 设备管理人员应负责设备的日常管理和维护工作。

2. 设备管理人员应制定设备管理制度和相关工作流程,并进行宣传和培训。

3. 设备管理人员应监督设备的使用和维护,落实相关规定和要求。

十、违规处理1. 对违反本制度的行为,将依据公司相关规定进行处理。

2. 对于因设备管理不当导致的损失,责任人将承担相应的经济责任。

十一、附则根据公司的实际情况和需要,可对本制度进行相应的调整和完善。

公司测试机管理制度范文

公司测试机管理制度范文

公司测试机管理制度范文一、目的和范围为了规范公司内测试机的使用与维护,确保测试数据的准确性和测试工作的高效性,特制定本管理制度。

本制度适用于公司所有使用测试机的部门及员工。

二、管理原则1. 统一管理:由专门的设备管理部门负责测试机的统一管理,包括采购、分配、维护、校准等。

2. 责任到人:指定专职人员负责日常的测试工作,并对测试结果负责。

3. 定期维护:定期对测试机进行维护保养,确保设备的稳定运行。

4. 精确校准:定期对测试机进行校准,保证测试数据的准确性。

三、使用规定1. 使用前需进行设备检查,确认测试机处于良好状态。

2. 严格按照操作手册进行操作,不得违规使用。

3. 使用后需做好相关记录,包括使用时间、测试项目、测试结果等。

4. 如遇设备故障,应立即停机并报告设备管理部门。

四、维护与保养1. 定期清洁测试机,保持设备干净整洁。

2. 对于易损耗部件,应做好更换计划,及时更换。

3. 对于复杂的设备故障,应由专业技术人员进行维修。

五、校准与验证1. 根据国家相关标准和行业要求,定期对测试机进行校准。

2. 校准工作应由有资质的第三方机构或内部专业人员完成。

3. 校准后应出具校准报告,并保存备查。

六、安全管理1. 严格遵守安全操作规程,防止安全事故的发生。

2. 对于可能产生危险的测试项目,应采取相应的安全防护措施。

3. 定期进行安全培训,提高员工的安全意识。

七、监督与考核1. 设备管理部门应对测试机的使用情况进行定期检查和不定期抽查。

2. 对于违反管理制度的行为,应进行相应的处理和责任追究。

3. 通过考核机制激励员工合理使用和维护测试机。

八、附则本管理制度自发布之日起实施,如有变更,以最新发布的制度为准。

对于本制度的解释权归公司管理层所有。

检验、测量设备管理制度范文

检验、测量设备管理制度范文

检验、测量设备管理制度范文一、总则1. 为规范检验、测量设备的管理,提高设备使用率和效益,保证检验、测量工作的准确性和可靠性,制定本管理制度。

2. 适用范围:本管理制度适用于公司所有检验、测量设备的管理。

3. 主管部门:设备管理部门负责检验、测量设备的管理工作。

二、设备的购置与登记1. 设备购置:根据需要和预算,由设备管理部门负责组织采购合适的检验、测量设备。

2. 设备登记:设备管理部门应对购置的设备进行登记,并做好设备的编号、名称、型号、规格、使用部门、购置时间等信息的记录。

三、设备的验收与验收标准1. 设备验收:设备管理部门对购置的设备进行验收,确保设备的质量和性能满足工作需求。

2. 验收标准:设备的验收标准应符合国家相关标准或行业标准,并与供应商达成共识。

四、设备的保管与维护1. 设备保管:设备管理部门负责设备的安全保管,设备存放的地点应符合安全、整洁、防潮、通风的要求。

2. 设备维护:设备管理部门制定设备维护计划,并负责具体实施。

维护任务包括定期检查、清洁、调校、润滑等,确保设备的正常运行。

五、设备的使用与借用1. 设备使用:设备管理部门应根据工作需要,安排设备的使用,确保设备的合理利用和高效运转。

2. 设备借用:其他部门需要借用设备时,应提前向设备管理部门提出申请,并经批准后方可借用。

借用时间原则上不超过3个工作日。

六、设备的台账与清查1. 设备台账:设备管理部门应建立设备台账,记录设备使用情况、维修记录、报废情况等。

2. 设备清查:设备管理部门定期组织对设备进行清查,确保设备的数量和状态与台账一致。

七、设备的报废与处置1. 设备报废:设备管理部门应对因设备老化、损坏等无法修复的设备进行报废处理,报废程序应符合相关规定,并办理报废手续。

2. 设备处置:设备管理部门负责对报废设备进行处置,包括设备的拆解、回收、销毁等环节,并做好相关记录。

八、设备的统计与分析设备管理部门应定期对设备的使用情况进行统计分析,及时发现存在的问题并提出改进措施。

可靠性、有效性 、可维护性和安全性(RAMS)

可靠性、有效性 、可维护性和安全性(RAMS)

1 目的为确保产品在使用寿命周期内的可靠性、有效性、可维护性和安全性(以下简称RAMS),建立执行可靠性分析的典型方法,更好地满足顾客要求,保证顾客满意,特制定本程序.2 适用范围适用于本集团产品的设计、开发、试验、使用全过程RAMS的策划和控制.3 定义RAMS:可靠性、有效性、可维护性和安全性.R——Reliability可靠性:产品在规定的条件下和规定的时间内,完成规定功能的能力.可靠性的概率度量亦称可靠度。

A——Availability有效性:是指产品在特定条件下能够令人满意地发挥功能的概率.M—-Maintainability可维护性:是指产品在规定的条件下和规定的时间内,按规定的程序和方法进行维修时,保持或恢复到规定状态的能力。

维修性的概率度量亦称维修度.S——Safety安全性:是指保证产品能够可靠地完成其规定功能,同时保证操作和维护人员的人身安全。

FME(C)A:Failure Mode and Effect(Criticality)Analysis 故障模式和影响(危险)分析。

MTBF平均故障间隔时间:指可修复产品(部件)的连续发生故障的平均时间。

MTTR平均修复时间:指检修员修理和测试机组,使之恢复到正常服务中的平均故障维修时间。

数据库:为解决特定的任务,以一定的组织方式存储在一起的相关的数据的集合。

4 职责4.1 销售公司负责获取顾客RAMS要求并传递至相关部门;组织对顾客进行产品正确使用和维护的培训;负责产品交付后RAMS数据的收集和反馈。

4。

2 技术研究院各技术职能部门负责确定RAMS目标,确定对所用元器件、材料、工艺的可靠性要求,进行可靠性分配和预测,负责建立RAMS数据库。

4。

3 工程技术部负责确定能保证实现设计可靠性的工艺方法。

4.4 采购部负责将相关资料和外包(外协)配件的RAMS要求传递给供方,并督促供方实现这些要求。

4。

5制造部负责严格按产品图样、工艺文件组织生产.4.6动能保障部负责制定工装设备、计量测试设备的维修计划并实施,保证其处于完好状态。

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设备可靠性、有效性和可维护性管理测试规范制度
1. 目的
1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性(可靠性、有效性、可维护性)的标准,为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。

2. 范围
2.1 这份文献定义了设备的6种基本状态。

它包括了设备的任何时间所有可能的状态。

设备的状态由其功能状况决定,而不管操作者是谁。

在这里所做的对设备可靠性的测试强调的是对正在使用中的设备的突然中断,而不是对设备的所有时间。

2.2 本文献第三节(设备状态)定义了如何对设备时间分类。

第六节(三性测试)定义了测试设备状态的公式。

第七节(不确定测试)另外给出方法用来评估所得数据的统计意义。

2.3 有效的应用这份规范需要设备的工作遵循它的周期及或时间。

自动监测设备状态是标准SEMIE58中的内容,并不在本规范中。

设备使用者与供应商之间清晰有效的沟通将持续提高设备的工作状况。

2.4 在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。

三性指数可以适用于子系统水平(例如过程模块)的多路径组工具。

2.5 这份标准虽然有提到安全事宜,但目的并不旨在追求这个方面。

它将是这个标准使用者的责任来建立合适的安全和健康条款,以及在使用前决定限制章程的运用。

3. 参考标准
SEMIE58-自动化的可靠性、有效性和可维护性的标准
注释1:本文列出的所有文献都使用其最新的适应版本。

4. 术语
4.1 辅助 - 在一个设备周期中设备工作突然中断时发生,它有以下三种情况:
c 通过外部干涉使中断的设备周期继续。

(比如通过操作工和使用者的干涉,无论它是人或电脑。


c 除了一些特殊的消耗品,零件不可替换。

c 在设备操作规范方面没有进一步改变。

4.2 成组工具 - 由机械地连接在一起的集成过程模块组成的制造系统。

(这些模块可能来自于同一或不同供应商)
4.2.1 单路径成组工具 - 只有一条流水线的成组工具。

4.2.2 多路径成组工具 - 超过一条独立流水线的成组工具。

(比如,多负荷闸、同样型号的多流程单元室)
4.3 周期(设备周期) - 一个设备系统或子系统的完全操作过程(包括装卸产品),有流程、制造、测试步骤。

在一个单元流程系统中,周期数等于流经的单元数。

在多批系统中,周期数等于批量数。

4.4 停工时间(设备停工时间)- 设备不在工作状态或没有执行到它应有水平的时间,不包括任何不在计划安排上的时间。

4.5 故障(设备故障)- 在没有外来干涉下发生的意外故障或偏离。

注释2:正确分类设备故障对于方便解决问题和提高设备能力是非常重要的。

4.6 宿主 - 联系设备的智能系统,作用相当于代表工厂领导下属的制造主任。

(比如,一个非植入的计算机或单元控制器)
4.7 中断-任何干预和故障
注释3:中断=干预之和+故障之和
4.8 维修-保证设备在预定功能状态下工作。

在本文献中,维修的目的是功能不是设备结构;不论是谁来维修,它都包括调整、材料变化、软件开放、修理、预定检测等等。

4.9 制造时间-所有生产产品的时间及相应停留等待时间。

4.10 非计划时间-计划中设备不在用于生产的时间。

4.11 生产时间-总时间减非计划时间。

4.12 操作工-在设备旁通过设备控制面板操作设备的人员。

4.13 产品-可以成为有功效的半导体装置的一个单元,包括功能的工程装置。

4.14 断工-为使设备能继续工作的一段维修时间,包括冲洗、冷却、加热、软件备份、储存、动态数据(包括参数、方法)、断工发生在计划内和计划外的停工时间内。

4.15 复工-在断工维修后,使设备恢复正常功能工作的一段维修时间。

包括冲气、加热、标准化时间、初始化常数、载入软件、重贮数据(例参数、方法)、控制系统再建等等。

但不包括设备及流水线检测时间。

复工也发生在计划内外的停工时间内。

4.16 关机-当设备有计划外状态时,让设备回到安全状态的时间。

它包括为了达到安全状态所做的任何过程。

关机仅出现在计划外时间中。

4.17 规范(设备操作)-文献中所写的在使用者与供应商之间在设备操作的规定条件下的功能所达成的一致条款。

4.18 开始-设备从计划状态到达成预期功能所需的时间。

包括冲气、加热、冷却、标准化时间、初始化常数、载入软件、重贮数据(例参数、方法)、控制系统再建等等,开始包括于计划外时间中。

4.19 辅助工具-不属于生产设备,但是在正常操作中必需的设备。

(比如,密封盖、运载机、探测卡片、电脑控制器)
4.20 总时间-一周7天,1天24小时的所有检测时间。

为了正确表达总时间,设备的所有6种基本状态必须正确记录。

4.21 培训(工作外)-在工作外时间对设备操作和维修进行的指导。

它包括于计划外时间。

4.22 培训(线上)-在正常工作时对个人操作和维修进行的指导。

线上培训一般不会打断正常的操作和维修活动,所以它可以不被区别的包括在任何设备状态中(除等待与计划外时间)
4.23 单元-任何芯片,模,成套设备或单位零件。

4.24 工作时间-设备处于正常功能状态的时间,包括有效生产的、等待的和策划时间,不包括任何计划外时间。

4.25 使用者-动作于设备的实体,无论是在设备旁的操作者或在远处遥控的自动界面。

从设备的角度出发,操作者和宿主都是使用者。

4.26 校正运行-设备的一次循环(使用产品单元,非产品单元或不成单元的)以用来引导设备进入规范中的预定状态。

5. 设备状态
5.1 为了清楚地检测设备地表现,本文献定义了所有设备状况和时期必须遵循地6种基本状态。

5.2 设备状态是由功能决定而不是由设备结构决定。

例如任何维护过程都是这样分类,而不论谁是操作者、操作工、技术人员或流程工程师。

5.3 关键的时间块在后文的等式中将会特别用到。

这些基本的设备状态又可以分成许多子状态,以满足生产运转所需的追踪解决。

SEMIE10并没有列出所有的子状态,但是给出了许多例子用以指导。

5.4 有效状态-设备按预定功能工作的时间。

有效状态包括:
c 常规生产(包括装卸产品)
c 为第三方工作
c 返工
c 与生产结合的操纵。

可能是或不是产品单元(比如,分批和新运用)。

5.5 等待状态-在这段时间内,设备是在正常功能状态下,基础设施和化学材料都准备好了,但是不在生产。

它不是计划外的。

等待状态包括:
c 没有操作工(包括休息、午餐和会议)
c 没有产品(包括由于缺乏辅助设备比如计量工具造成的缺少产品)
c 没有辅助工具(例如密封盒、芯片传输器、探测卡)
c 没有从自动系统来的输入信号(例宿主)
5.6 工程状态-设备处在正常功能状态下(没有设备和流程问题存在),但是用于工程实验的时间。

包括:
c 过程工程(过程塑造)
c 设备过程(设备评估)
c 软件工程(例限定软件)。

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